GTMS/CTMS சிறப்பு கிராஃபைட் பொருத்துதல் தனிப்பயனாக்கம்: மைக்ரோ-ஹோல் டீப் மெஷினிங் தீர்வு

ஜிடிஎம்எஸ் சிறப்பு கிராஃபைட் பொருத்துதல்கள் மைக்ரோன் மெஷினிங் மூலம் உடைக்கப்படுகின்றன: 1,500 மைக்ரோ-ஹோல்களுக்கான தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வு 0.01 ㎡ இல் துல்லியமாக வரிசைப்படுத்தப்பட்டுள்ளது

மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் பேக்கேஜிங்கில் GTMS/CTMS உயர்-வெப்பநிலை சின்டரிங் செயல்முறையின் போது, ​​சிறப்பு கிராஃபைட் சாதனங்கள் மைக்ரான்-நிலை பொருத்தத்தை உயர் வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் நிலைத்தன்மையுடன் இணைக்க வேண்டும். விளிம்பு சிப்பிங், அல்ட்ரா-ஃபாஸ்ட் டூல் உடைகள் மற்றும் சிறிய-அதிக-அதிக-அடர்த்தி நுண்ணிய துளைகளில் ஒட்டுமொத்த சகிப்புத்தன்மை ஆகியவற்றின் சவால்களை எதிர்கொள்ள, VeTek 10 மாதங்கள் தொடர்ந்து ஆழமான எந்திரத்தின் இடையூறுகளை உடைத்து கிட்டத்தட்ட 10,000 மைக்ரோ-துளைகளை மெட்டீரியல் தழுவல், வெட்டு, இயக்கவியல் மறுகட்டமைத்தல், மல்டிலூசிஸ் மறுகட்டமைத்தல். மிகவும் நம்பகமான ஒரு நிறுத்த டெலிவரி.

1. முக்கிய தரவு ஸ்னாப்ஷாட் & செயல்திறன் ஒப்பீடு

படம் 1 - ஜிடிஎம்எஸ்/சிடிஎம்எஸ் சிறப்பு கிராஃபைட் பொருத்துதல் தட்டு மற்றும் மைக்ரோ-ஹோல் எந்திர கட்டமைப்பு கூறுகள்

GTMS ஹெர்மீடிக் பேக்கேஜிங் செயல்பாட்டில், கிராஃபைட் பொருத்துதல் தட்டுகளின் துளை நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்ப சிதைவு எதிர்ப்பு ஆகியவை நேரடியாக பேக்கேஜிங் ஹெர்மெட்டிசிட்டி மற்றும் முடிக்கப்பட்ட தயாரிப்பு விளைச்சலை தீர்மானிக்கிறது. VeTek குழுவின் தொழில்நுட்ப முன்னேற்றத்திற்கு முன்னும் பின்னும் முக்கிய செயல்முறை மற்றும் செயல்திறன் குறிகாட்டிகள் பின்வருமாறு ஒப்பிடப்படுகின்றன:

2. வாடிக்கையாளர் பின்னணி & GTMS/CTMS ஹெர்மீடிக் பேக்கேஜிங் பயன்பாட்டு காட்சிகள்

இந்த ஒத்துழைப்பின் வாடிக்கையாளர் உயர் நம்பகத்தன்மை சென்சார்கள் மற்றும் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் பேக்கேஜிங் கூறுகளில் நிபுணத்துவம் பெற்ற ஒரு ஆர்&டி மற்றும் உற்பத்தி நிறுவனமாகும். அதன் முக்கிய உற்பத்தி வரிகள் GTMS/CTMS (கண்ணாடி/செராமிக்-டு-மெட்டல் சீல்) சின்டரிங் செயல்முறைகளை பரவலாகப் பயன்படுத்துகின்றன. உயர்-வெப்பநிலை சீல் உலைகளில், சிறப்பு கிராஃபைட் பொருத்துதல்கள் உயர்-துல்லியமான கேரியர் அச்சுகளாக செயல்படுகின்றன. இந்தத் திட்டத்தில் உள்ள ஒரு கிராஃபைட் பொருத்துதல் தகடு 0.01 சதுர மீட்டருக்கும் குறைவான அளவைக் கொண்டுள்ளது, இன்னும் துல்லியமாக கிட்டத்தட்ட 1,500 மைக்ரோ-துளைகளுக்கு இடமளிக்க வேண்டும் என்பதால், முழுமையான பொருத்துதல் தொகுப்பு கிட்டத்தட்ட 10,000 மைக்ரோ-துளைகளை துளைகளுக்கு இடையில் மிக மெல்லிய சுவர்களுடன் ஒருங்கிணைக்கிறது. 800°C–1000°C இல் உயர்-வெப்பநிலை சின்டரிங் செய்யும் போது, ​​எந்த சிறிய சகிப்புத்தன்மையற்ற துளை விட்டம், நிலை விலகல் அல்லது கிராஃபைட் தூசிப் பற்றின்மை நேரடியாக உலோக முள் சாய்வு, கண்ணாடி காப்பு விரிசல் அல்லது ஹெர்மெட்டிசிட்டியின் முழுமையான இழப்புக்கு வழிவகுக்கும்.

3. ஸ்பெஷல் கிராஃபைட் மைக்ரோ-ஹோல் மெஷினிங் பாட்டில்நெக்ஸ் & ஃபெயில்யர் மெக்கானிசம்கள்

VeTek தொழில்நுட்ப பணிக்குழுவைக் கொண்டுவருவதற்கு முன், வாடிக்கையாளர் சோதனை உற்பத்தி மற்றும் சிறிய தொகுதி செயலாக்கத்தின் போது கடுமையான தொழில்நுட்ப இடையூறுகளை எதிர்கொண்டார்: முதலில், மைக்ரோ-ஹோல் எட்ஜ் சிப்பிங் மற்றும் கிழித்தல்: கிராஃபைட் ஒரு நுண்துளை உடைய உடையக்கூடிய பொருள்; அதிக அடர்த்தி கொண்ட மைக்ரோ-துளைகளைத் தொடர்ந்து துளையிடும் போது, ​​நுண் துரப்பணம் உள்ளே நுழைந்து வெளியேறும் தருணத்தில் ஏற்படும் வெட்டு அழுத்தம், துளை வாயில் உடையக்கூடிய விளிம்பு சிப்பிங்கைத் தூண்டுகிறது. இரண்டாவதாக, டூல் மைக்ரோ-வேர்களால் ஏற்படும் சகிப்புத்தன்மை சறுக்கல்: ஆயிரக்கணக்கான மைக்ரோ-துளைகளைத் தொடர்ந்து செயலாக்கும் போது, ​​ஃபைன் ட்ரில் பிட்களில் அணிவது தீவிரமடைகிறது, இதனால் ஆழமான துளைகளில் துளை விட்டம் ஒரு குறுகலான சாய்வை வெளிப்படுத்துகிறது, அங்கு ஒரு சில மைக்ரான்களின் விலகல் தோல்விக்கு வழிவகுக்கிறது. மூன்றாவதாக, வெப்ப விரிவாக்கம் பொருந்தாமை மற்றும் தூசி மாசுபாடு: சாதாரண கிராஃபைட் பொருட்களின் உயர்-வெப்பநிலை CTE ஆனது உலோக ஊசிகளுடன் பொருந்தவில்லை, மேலும் நுண்ணிய தூசி எளிதில் குறைந்து, கண்ணாடி சின்டரிங் இடைமுகத்தை மாசுபடுத்துகிறது.

4. GTMS ஸ்பெஷல் கிராஃபைட் ஃபிக்சர்களுக்கான மைக்ரான்-லெவல் மைக்ரோ-ஹோல் எந்திரத்தை எவ்வாறு அடைவது?

 10,000 மைக்ரோ-துளைகளை ஆழமாகச் செயலாக்குவதில் உள்ள சிரமங்களைத் தீர்க்க, VeTek R&D குழு வெட்டு இயக்கவியல் மாதிரியை மறுகட்டமைத்து, முறையான செயல்முறைப் பொறியியலைச் செயல்படுத்தியது:

· டூல் பாத் அல்காரிதம் & ப்ளங் ஃபீட் புனரமைப்பு:ஆர்த்தோகனல் சோதனைகள் மூலம் உகந்த ஊட்ட வேகம் மற்றும் பிரிக்கப்பட்ட சுழற்சி வேகம், மைக்ரோ-ஃபீட் பல்ஸ்டு ப்ளஞ்ச் உத்தியைப் பின்பற்றி எந்திர தாக்கம் வெட்டு விசையை 45%க்கும் மேல் திறம்பட குறைக்கிறது, இது துளை வாய் சிப்பிங் குறைபாடுகளை முற்றிலும் நீக்குகிறது.

· ஆன்டி-சிப்பிங் மைக்ரோ-டிரில்ஸ் & சிப் ரிமூவல் ஃப்ளோ ஃபீல்ட் ஆப்டிமைசேஷன்:தனிப்பயனாக்கப்பட்ட அல்ட்ரா-ஃபைன் க்ரைன் வைரம்-கோடட் மைக்ரோ-டிரில்கள் ஒரு துடிப்பு நெகடிவ்-பிரஷர் மைக்ரோ-கூலிங் சிப் அகற்றும் அமைப்புடன் இணைந்து டூல் வார் ரெசிஸ்டன்ஸ் ஆயுட்காலத்தை 3 மடங்குக்கு மேல் அதிகரித்தது, ஒரு தட்டுக்கு 1,500 மைக்ரோ-துளைகளில் துளை விட்டம் ±0.002 மிமீக்கு கீழ் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.

5. உயர்-வெப்ப-கடத்துத்திறன் CTE-பொருந்திய சிறப்பு கிராஃபைட் பொருத்துதல் தட்டுகளுக்கான உற்பத்தி மற்றும் ஆய்வு நடைமுறைகள்

படம் 2 - பூஜ்ஜிய மேற்பரப்பு சிப்பிங் மற்றும் உயர்-துல்லியமான மைக்ரோ-ஹோல் அணியுடன் கூடிய சிறப்பு கிராஃபைட் ஃபிக்சர் பிளேட்டின் உண்மையான விவரங்கள்

· பொருள் தழுவல் தீர்வு:கண்டிப்பாக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் சிறப்பு கிராஃபைட் அடர்த்தியான நுண் கட்டமைப்பு மற்றும் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. அதன் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (CTE) கோவார் அலாய் உடன் மிகவும் பொருந்துகிறது, இது அதிக வெப்பநிலை சின்டெரிங் வெப்ப அழுத்தத்தையும் மைக்ரோ-டஸ்ட் பற்றின்மையையும் கணிசமாக அடக்குகிறது.

· கூட்டு ஆய்வு மற்றும் ஆழமான சுத்தம்:தரக்கட்டுப்பாட்டு வரியானது 'ஆப்டிகல் இமேஜ் மெஷரிங் இன்ஸ்ட்ரூமென்ட் + ஃபுல்லி ஆட்டோமேட்டட் கோர்டினேட் மெஷரிங் மெஷின் (சிஎம்எம்)' என்ற நிரப்பு அமைப்பை அறிமுகப்படுத்தியது. ஆப்டிகல் இமேஜிங் 10,000-துளை வரிசையின் இடைவெளியை விரைவாக ஸ்கேன் செய்கிறது, அதே நேரத்தில் CMM ஆழமான துளை செங்குத்தாக மற்றும் இடஞ்சார்ந்த பள்ளம் இடங்களை சரிபார்க்கிறது; இறுதியாக மைக்ரோ-பிளைண்ட் துளைகளுக்குள் ஆழமாக எஞ்சியிருக்கும் கிராஃபைட் அசுத்தங்களை முழுவதுமாக அகற்றுவதற்கு பல-நிலை சாய்வு மீயொலி சுத்தம் மூலம் நிரப்பப்பட்டது, குறைக்கடத்தி தர தூய்மையை அடைகிறது.

6. அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள் (FAQ)

படம் 3 - VeTek உயர் துல்லியமான CNC இயந்திர மையம்

கே: அதிக அடர்த்தி கொண்ட சிறப்பு கிராஃபைட் சாதனங்களின் மைக்ரோ-ஹோல் எந்திரத்திற்கான குறைந்தபட்ச துளை விட்டம் மற்றும் இறுதி சகிப்புத்தன்மை என்ன?
A:VeTek 0.2 மிமீக்கு குறைவான துளை விட்டம் கொண்ட மைக்ரோ-மெஷினிங் திறன்களைக் கொண்டுள்ளது. துளை விட்டம் சகிப்புத்தன்மையை ± 0.003 மிமீக்குள் நிலையானதாகக் கட்டுப்படுத்தலாம், மேலும் ஒரு தட்டில் 1,500 துளைகளுக்கான உண்மையான வட்டத்தன்மை மற்றும் நிலை சகிப்புத்தன்மை ± 0.005 மிமீ அடையும், இது அதிக அடர்த்தி கொண்ட பின் ஜிடிஎம்எஸ் பேக்கேஜிங் தேவைகளை முழுமையாக பூர்த்தி செய்கிறது.

கே: ஜிடிஎம்எஸ் ஹெர்மெடிக் சின்டரிங் சாதனங்கள் ஏன் கோவார் அலாய் CTE உடன் துல்லியமாக பொருந்த வேண்டும்?
A:800°C–1000°C சின்டரிங் சுழற்சியின் போது, ​​சாதனம் மற்றும் உலோக ஊசிகளின் CTE சீரற்றதாக இருந்தால், குளிரூட்டும் சுருக்கத்தால் உருவாகும் வெட்டு அழுத்தமானது முள் இடப்பெயர்ச்சி, கண்ணாடி உடல் விரிசல் அல்லது சீல் தோல்வியை ஏற்படுத்தும். துல்லியமான CTE பொருத்தம் ஒத்திசைக்கப்பட்ட விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்கத்தை உறுதிசெய்கிறது, ஹெர்மீடிக் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.

கே: மீயொலி துப்புரவு செயல்முறை ஆழமான மைக்ரோ துளைகளுக்குள் எஞ்சியிருக்கும் கிராஃபைட் தூசி எஞ்சியிருப்பதை எவ்வாறு உறுதி செய்கிறது?
A:டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட நீர் மற்றும் சிறப்பு துப்புரவு ஊடகத்துடன் இணைந்து பல அதிர்வெண் சாய்வு மீயொலி தலைமுறை அமைப்பை நாங்கள் பயன்படுத்துகிறோம். உயர் அதிர்வெண் குழிவுறுதல் விளைவுகளைப் பயன்படுத்தி, நுண்ணிய துளைகள் மற்றும் குருட்டுத் துளைகளுக்குள் ஆழமான நுண்ணிய கிராஃபைட் துகள்கள் முற்றிலும் அகற்றப்பட்டு, அதைத் தொடர்ந்து உயர்-தூய்மை நைட்ரஜன் ஊதுதல் மற்றும் வெற்றிட உலர்த்துதல் ஆகியவை குறைக்கடத்தி-நிலை சுத்தமான ஏற்றுமதியை அடைகின்றன.

7. சுருக்கம் & பொறியியல் ஆதரவு சேவைகள்

செமிகண்டக்டர் மற்றும் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் ஹெர்மீடிக் பேக்கேஜிங் துறையில், மைக்ரான்-நிலை எந்திர துல்லியம் மற்றும் கேரியர்களின் வெப்ப இயக்கவியல் நிலைத்தன்மை ஆகியவை பேக்கேஜிங் மகசூல் மற்றும் உபகரணங்களின் பயன்பாட்டை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது. உயர்-தூய்மை பொருட்கள், துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் முக்கியமான குறைக்கடத்தி கூறு உற்பத்தி ஆகியவற்றில் தொடர்ச்சியான திரட்சியை நம்பி, VeTek 0.01 இல் அடர்த்தியாக வரிசைப்படுத்தப்பட்ட 1,500 மைக்ரோ-துளைகளின் தொழில்-நிலை உற்பத்தி தடையை வெற்றிகரமாக முறியடித்தது.㎡ தட்டு, 10,000-துளை அளவிலான சிறப்பு கிராஃபைட் சாதனங்களின் மிகவும் நம்பகமான வெகுஜன-உற்பத்தி விநியோகத்தை உணர்தல்.

ஒரு உற்பத்தி நிறுவனமாக கவனம் செலுத்துகிறதுCVD SiC, TaC பூச்சுகள், திட SiC மற்றும் முக்கியமான குறைக்கடத்தி பொருட்கள் மற்றும் கூறுகளின் வளர்ச்சி, VeTek செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி, படிக வளர்ச்சி மற்றும் உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை துறைகளுக்கு உயர் செயல்திறன் பொருள் தீர்வுகளை தொடர்ந்து வழங்குகிறது.  அதே நேரத்தில், ஹெர்மீடிக் பேக்கேஜிங், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான பொருத்துதல் ஆகியவற்றில் பயன்பாட்டுத் தேவைகளை நிவர்த்தி செய்வது, VeTek உள்ளிட்ட பொறியியல் சேவைகளை வழங்குகிறது.உயர் தூய்மை கிராஃபைட் பொருள் தேர்வு, துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட உற்பத்தி ஆதரவு. 

GTMS/CTMS ஹெர்மீடிக் சீல் செயல்முறைகளுக்கு ஏற்ற உயர் துல்லியமான கிராஃபைட் கூறுகளை நீங்கள் தேடுகிறீர்களானால் அல்லது பொருள் பொருத்தம், கட்டமைப்பு மேம்படுத்தல் மற்றும் மாதிரி சரிபார்ப்பு தேவைப்பட்டால், VeTek பொறியியல் குழுவைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம். பொருள் தேர்வு முதல் துல்லியமான உற்பத்தி வரையிலான தொழில்நுட்ப ஆதரவை நாங்கள் உங்களுக்கு வழங்குவோம்.

படம் 4 - VeTek சிறப்புப் பொருட்கள் R&D மற்றும் துல்லியமான உற்பத்தித் தளத்தின் பரந்த பார்வை