தொழில் செய்திகள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி பெருகிய முறையில் மேம்பட்ட செயல்முறை முனைகளை நோக்கி நகரும் போது, ​​பொருள் தூய்மை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவை முன்னெப்போதையும் விட மிகவும் முக்கியமானதாகிவிட்டன. படிக வளர்ச்சி உலைகள், எபிடாக்சியல் உலைகள், சிலிக்கான் கார்பைடு உற்பத்தி அமைப்புகள் மற்றும் பிற உயர்-வெப்பநிலைப் பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் நம்பகமான காப்புப் பொருட்களில் ஒன்றாக ஹைப்பர்ப்யூர் கிராஃபைட் ரிஜிட் ஃபீல் உருவாகியுள்ளது.

SiC பரவல் உலை குழாய் அதன் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை ஆகியவற்றின் காரணமாக நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக மாறியுள்ளது. பரவல் உலை செயல்திறனை மேம்படுத்தும், செதில் தரத்தை மேம்படுத்தும் மற்றும் ஒட்டுமொத்த உற்பத்திச் செலவுகளைக் குறைக்கும் மேம்பட்ட SiC தீர்வுகளை VeTek எவ்வாறு வழங்குகிறது என்பதை இந்தக் கட்டுரை ஆராய்கிறது. அதன் அமைப்பு, நன்மைகள், பயன்பாடுகள், தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் மற்றும் அலுமினா குழாய்களை ஏன் அதிகளவில் மாற்றுகிறது என்பதை நீங்கள் அறிந்து கொள்வீர்கள்.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, படிக வளர்ச்சி தொழில்நுட்பம் மற்றும் மேம்பட்ட பொருள் செயலாக்கம் தொடர்ந்து உருவாகி வருவதால், அதி-சுத்தமான மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை கொண்ட கூறுகளுக்கான தேவை கணிசமாக அதிகரித்துள்ளது. இந்த முக்கியமான கூறுகளில், கிளாஸி கார்பன் கோடட் கிராஃபைட் க்ரூசிபிள் உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் உயர்-தூய்மை சூழல்களுக்கு மிகவும் நம்பகமான தீர்வுகளில் ஒன்றாக வெளிப்பட்டுள்ளது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி அதிக துல்லியம், தூய்மை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை நோக்கி தொடர்ந்து உருவாகி வருவதால், மேம்பட்ட பூச்சு பொருட்கள் செயல்முறை உபகரணங்களில் முக்கியமான கூறுகளாக மாறியுள்ளன. அவற்றில், டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம் அதிக வெப்பநிலை, அரிப்பு, பிளாஸ்மா அரிப்பு மற்றும் துகள் மாசுபாட்டிற்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பிற்காக தனித்து நிற்கிறது.

கிடைக்கக்கூடிய தொழில்நுட்பங்களில், பெரிய அளவிலான எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் SiC படிக வளர்ச்சி உலை மேம்பட்ட நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனுடன் பெரிய விட்டம், குறைந்த குறைபாடுள்ள SiC படிகங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கான ஒரு முக்கியமான தீர்வாக வெளிப்பட்டுள்ளது. இந்தத் தொழில்நுட்பம் எவ்வாறு செயல்படுகிறது, அதன் நன்மைகள், பயன்பாடுகள் மற்றும் தொழில்துறை தலைவர்கள் Veteksemi இன் புதுமையான தீர்வுகளை ஏன் நம்புகிறார்கள் என்பதை இந்தக் கட்டுரை ஆராய்கிறது.

ASMக்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் என்பது எபிடாக்ஸி அமைப்பினுள் ஒரு மாற்றுப் பகுதி மட்டுமல்ல. இது ஒரு செயல்முறை-முக்கியமான கேரியர் ஆகும், இது வெப்ப சீரான தன்மை, செதில் தூய்மை, பூச்சு ஆயுள், அறை நிலைத்தன்மை மற்றும் நீண்ட கால உற்பத்தி செலவு ஆகியவற்றை பாதிக்கிறது.

ஒரு CVD TaC பூச்சு கவர் என்பது ஒரு பாதுகாப்பு மூடி அல்லது பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறு மட்டுமல்ல. உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில், இது அறையின் தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை, பகுதி வாழ்நாள் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை பாதிக்கலாம்.

PECVD உற்பத்தியில், பல பூச்சு மற்றும் படிவு சிக்கல்கள் பிளாஸ்மா சக்தி அல்லது வாயு வேதியியலில் தொடங்குவதில்லை. அவை செதில்களை வைத்திருக்கும் கேரியரில் தொடங்குகின்றன.

சரியான செமிகண்டக்டர் குவார்ட்ஸ் க்ரூசிபிளைத் தேர்ந்தெடுப்பது சிறிய கொள்முதல் விவரம் அல்ல. இது நேரடியாக உருகும் தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை, படிக இழுக்கும் நிலைத்தன்மை, மகசூல் கட்டுப்பாடு மற்றும் முழு வளர்ச்சிக் கோட்டின் சேவை தாளத்தையும் பாதிக்கிறது.

உயர் தூய்மை கிராஃபைட் தூள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்தி, மேம்பட்ட மட்பாண்டங்கள் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை தொழில்துறை செயல்முறைகள் முழுவதும் ஒரு முக்கியமான பொருளாக மாறியுள்ளது. ஆனால் உயர் தூய்மையான கிராஃபைட் பொடியை சரியாக என்ன வரையறுக்கிறது, மேலும் அது ஏன் கோரும் சூழல்களில் நிலையான கிராஃபைட் பொருட்களை விட சிறப்பாக செயல்படுகிறது?

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி அதிக துல்லியம், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக ஆக்கிரமிப்பு பிளாஸ்மா சூழல்களை நோக்கி முன்னேறும்போது, ​​முக்கியமான கூறுகளுக்கான பொருள் தேர்வு பெருகிய முறையில் முக்கியத்துவம் பெறுகிறது. டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம் அதன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக பிளாஸ்மா-முகம் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கான முக்கிய தீர்வாக வெளிப்பட்டுள்ளது. டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம் என்றால் என்ன, அது எப்படி வேலை செய்கிறது, பாரம்பரிய பொருட்களை விட இது ஏன் சிறப்பாக செயல்படுகிறது மற்றும் முன்னணி உற்பத்தியாளர்கள் VeTek குறைக்கடத்தியின் தீர்வுகளை ஏன் நம்புகிறார்கள் என்பது பற்றிய விரிவான, ஆழமான ஆய்வை இந்தக் கட்டுரை வழங்குகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மட்பாண்ட செதில் படகுகள் நவீன குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த புனையமைப்பு சூழல்களில் தவிர்க்க முடியாத கருவிகளாக வெளிவந்துள்ளன. இந்த மேம்பட்ட கூறுகள் ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு போன்ற செதில் செயலாக்க படிகளில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.

TaC (டாண்டலம் கார்பைடு) பூச்சு வளையங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒருங்கிணைந்த கூறுகளாகும், குறிப்பாக கடுமையான சூழல்களுக்கு வெளிப்படும் உபகரணங்களுக்கு. இந்த வலைப்பதிவு TaC பூச்சு வளையங்களைப் பயன்படுத்துவதன் நன்மைகள், குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் அவற்றின் பயன்பாடு மற்றும் ஏன் VeTek இன் TaC பூச்சு தீர்வுகள் தொழில் வல்லுநர்களுக்கு சிறந்த தேர்வாகும். அவற்றின் செயல்திறன், செலவு-செயல்திறன் மற்றும் ஆயுள் ஆகியவற்றில் மூழ்கி, குறைக்கடத்தி சாதனத்தின் தரத்தை மேம்படுத்துவதில் இந்த மேம்பட்ட பூச்சுகள் வகிக்கும் பங்கை இந்தக் கட்டுரை எடுத்துக்காட்டுகிறது.

செமிகண்டக்டர், சோலார் செல் மற்றும் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் உற்பத்தி, செதில் சுத்தம் செய்தல், பொறித்தல், மற்றும் மேற்பரப்பு தயாரிப்பு போன்ற துல்லியமான ஈரமான செயலாக்கத்தில் அதிக தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை உறுதி செய்யும் பொருட்கள் மற்றும் உபகரணங்கள் தேவை. உயர்-தூய்மை குவார்ட்ஸ் குளியல் இந்த பண்புகளை செயற்கை ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸ் கட்டுமானத்துடன் வழங்குகிறது, இது நவீன ஃபேப்ரிகேஷன் சூழல்களுக்கு ஒரு மூலக்கல்லாக அமைகிறது.

இரண்டு தசாப்தங்களாக தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்புகளின் முன்னணியில், கூறுகள் வந்து செல்வதை நான் பார்த்திருக்கிறேன். ஆனால் சிலர் உயர் தூய்மையான SiC பவுடர் போன்ற ஒரு சலசலப்பை உருவாக்கியுள்ளனர். இது மற்றொரு பொருள் மட்டுமல்ல; இது மின்சார வாகனங்களில் சாத்தியமானவற்றின் எல்லைகளைத் தள்ளுவதற்கான அடிப்படை உறுப்பு.

VeTek செமிகண்டக்டரில், மேம்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் மூலம் சாத்தியமானவற்றின் எல்லைகளைத் தள்ளுவதில் நாங்கள் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம், மற்ற பொருட்கள் குறையும் இடங்களில் செழிக்க வடிவமைக்கப்பட்ட தரங்களை உருவாக்குகிறோம்.