தொழில் செய்திகள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பொறித்தல் தொழில்நுட்பம், தயாரிப்பு தரத்தை பாதிக்கும் ஏற்றுதல் விளைவு, மைக்ரோ-க்ரூவ் விளைவு மற்றும் சார்ஜிங் விளைவு போன்ற சிக்கல்களை அடிக்கடி சந்திக்கிறது. பிளாஸ்மா அடர்த்தியை மேம்படுத்துதல், எதிர்வினை வாயு கலவையை சரிசெய்தல், வெற்றிட அமைப்பின் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல், நியாயமான லித்தோகிராஃபி அமைப்பை வடிவமைத்தல் மற்றும் பொருத்தமான எச்சிங் மாஸ்க் பொருட்கள் மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகளைத் தேர்ந்தெடுப்பது ஆகியவை மேம்பாட்டுத் தீர்வுகளில் அடங்கும்.

உயர் செயல்திறன் கொண்ட SIC மட்பாண்டங்களைத் தயாரிப்பதற்கான முக்கிய முறையாக ஹாட் பிரஸ்ஸிங் சின்தேரிங் உள்ளது. சூடான அழுத்தும் சின்தேரிங்கின் செயல்முறை பின்வருமாறு: உயர் தூய்மை SIC பொடியைத் தேர்ந்தெடுப்பது, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்தத்தின் கீழ் அழுத்தி வடிவமைத்தல், பின்னர் சின்தேரிங். இந்த முறையால் தயாரிக்கப்பட்ட SIC மட்பாண்டங்கள் அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக அடர்த்தியின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் அவை அரைக்கும் வட்டுகள் மற்றும் வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்களை செதில் செயலாக்கத்திற்கு பரவலாகப் பயன்படுத்துகின்றன.

சிலிக்கான் கார்பைடின் (SiC) முக்கிய வளர்ச்சி முறைகளில் PVT, TSSG மற்றும் HTCVD ஆகியவை அடங்கும், ஒவ்வொன்றும் தனித்துவமான நன்மைகள் மற்றும் சவால்களைக் கொண்டுள்ளன. கார்பன் அடிப்படையிலான வெப்பப் புலப் பொருட்களான இன்சுலேஷன் சிஸ்டம்ஸ், க்ரூசிபிள்கள், TaC பூச்சுகள் மற்றும் நுண்துளை கிராஃபைட் ஆகியவை SiC இன் துல்லியமான உருவாக்கம் மற்றும் பயன்பாட்டிற்கு அவசியமான நிலைத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் தூய்மை ஆகியவற்றை வழங்குவதன் மூலம் படிக வளர்ச்சியை மேம்படுத்துகின்றன.

எஸ்.ஐ.சி அதிக கடினத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு வேதியியல் நீராவி படிவு மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், வேதியியல் நிலைத்தன்மை மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு பொருந்தக்கூடிய லட்டு மாறிலி ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. அதன் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் அதிக கடினத்தன்மை ஆயுள் மற்றும் துல்லியத்தை உறுதி செய்கின்றன, இது செதில் கேரியர்கள், முன்கூட்டியே வளையங்கள் மற்றும் பல போன்ற பயன்பாடுகளில் அவசியமாக்குகிறது. வெடெக் செமிகண்டக்டர் பல்வேறு தொழில் தேவைகளுக்கான தனிப்பயன் எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளில் நிபுணத்துவம் பெற்றது.

சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) என்பது உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் இயந்திர வலிமை போன்ற சிறந்த பண்புகளுக்கு அறியப்பட்ட உயர் துல்லியமான குறைக்கடத்தி பொருள் ஆகும். இது 200 க்கும் மேற்பட்ட படிக கட்டமைப்புகளைக் கொண்டுள்ளது, 3C-SIC ஒரே கன வகை, மற்ற வகைகளுடன் ஒப்பிடும்போது சிறந்த இயற்கை கோளத்தையும் அடர்த்தியையும் வழங்குகிறது. 3 சி-எஸ்.ஐ.சி அதன் உயர் எலக்ட்ரான் இயக்கத்திற்கு தனித்து நிற்கிறது, இது பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸில் MOSFET களுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. கூடுதலாக, இது நானோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், நீல எல்.ஈ.டிக்கள் மற்றும் சென்சார்களில் பெரும் திறனைக் காட்டுகிறது.

டயமண்ட், நான்காவது தலைமுறை "இறுதி குறைக்கடத்தி", அதன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் மின் பண்புகள் காரணமாக குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுகளில் கவனத்தை ஈர்க்கிறது. அதன் அதிக விலை மற்றும் உற்பத்தி சவால்கள் அதன் பயன்பாட்டைக் கட்டுப்படுத்தும் அதே வேளையில், CVD என்பது விருப்பமான முறையாகும். ஊக்கமருந்து மற்றும் பெரிய பகுதி படிக சவால்கள் இருந்தபோதிலும், வைரம் வாக்குறுதியைக் கொண்டுள்ளது.

SiC மற்றும் GaN ஆகியவை பரந்த பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்திகள் ஆகும், அவை சிலிக்கானை விட நன்மைகள், அதிக முறிவு மின்னழுத்தங்கள், வேகமான மாறுதல் வேகம் மற்றும் சிறந்த செயல்திறன் போன்றவை. அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் காரணமாக உயர் மின்னழுத்தம், உயர்-பவர் பயன்பாடுகளுக்கு SiC சிறந்தது, அதே நேரத்தில் GaN உயர் அதிர்வெண் பயன்பாடுகளில் சிறந்து விளங்குகிறது.

எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் என்பது மின்தடை வெப்பமாக்கலுடன் ஒப்பிடும்போது மிகவும் திறமையான மற்றும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் பூச்சு முறையாகும், இது எலக்ட்ரான் கற்றை மூலம் ஆவியாதல் பொருளை வெப்பப்படுத்துகிறது, இதனால் அது ஆவியாகி மெல்லிய படலமாக ஒடுங்குகிறது.

வெற்றிட பூச்சுகளில் திரைப்பட பொருள் ஆவியாதல், வெற்றிட போக்குவரத்து மற்றும் மெல்லிய திரைப்பட வளர்ச்சி ஆகியவை அடங்கும். வெவ்வேறு திரைப்பட பொருள் ஆவியாதல் முறைகள் மற்றும் போக்குவரத்து செயல்முறைகளின்படி, வெற்றிட பூச்சு பி.வி.டி மற்றும் சி.வி.டி ஆகிய இரண்டு பிரிவுகளாக பிரிக்கப்படலாம்.

இந்த கட்டுரை VeTek செமிகண்டக்டரின் போரஸ் கிராஃபைட்டின் இயற்பியல் அளவுருக்கள் மற்றும் தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் அதன் குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளை விவரிக்கிறது.

இந்த கட்டுரை டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு ஆகியவற்றின் தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் பயன்பாட்டு காட்சிகளை பல கோணங்களில் பகுப்பாய்வு செய்கிறது.

சிஐபி உற்பத்தியில் மெல்லிய திரைப்பட படிவு மிக முக்கியமானது, சி.வி.டி, ஏ.எல்.டி அல்லது பி.வி.டி வழியாக 1 மைக்ரான் தடிமன் கொண்ட படங்களை வைப்பதன் மூலம் மைக்ரோ சாதனங்களை உருவாக்குகிறது. இந்த செயல்முறைகள் மாற்று கடத்தும் மற்றும் இன்சுலேடிங் திரைப்படங்கள் மூலம் குறைக்கடத்தி கூறுகளை உருவாக்குகின்றன.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறை எட்டு படிகளை உள்ளடக்கியது: செதில் செயலாக்கம், ஆக்சிஜனேற்றம், லித்தோகிராபி, பொறித்தல், மெல்லிய திரைப்பட படிவு, ஒன்றோடொன்று சோதனை, சோதனை மற்றும் பேக்கேஜிங். மணலில் இருந்து சிலிக்கான் செதில்களாக பதப்படுத்தப்பட்டு, ஆக்ஸிஜனேற்றப்பட்ட, வடிவமைக்கப்பட்ட மற்றும் அதிக துல்லியமான சுற்றுகளுக்கு பொறிக்கப்படுகிறது.

இந்த கட்டுரை எல்.ஈ.டி அடி மூலக்கூறு சபையரின் மிகப்பெரிய பயன்பாடு, அத்துடன் சபையர் படிகங்களைத் தயாரிப்பதற்கான முக்கிய முறைகள் என்று விவரிக்கிறது: செசோக்ரால்கி முறையால் சபையர் படிகங்களை வளர்ப்பது, கைரோப ou லோஸ் முறையால் சபையர் படிகங்களை வளர்ப்பது, வழிகாட்டப்பட்ட அச்சு முறையால் சபையர் படிகங்களை வளர்ப்பது மற்றும் வெப்ப பரிமாற்ற முறையால் திருட்டு படிகங்களை வளர்ப்பது.

ஒற்றை-படிக உலையில் வெப்பநிலை சாய்வை கட்டுரை விளக்குகிறது. இது படிக வளர்ச்சி, திட-திரவ இடைமுகம் மற்றும் திடப்படுத்துவதில் வெப்பநிலை சாய்வின் பங்கு ஆகியவற்றின் போது நிலையான மற்றும் மாறும் வெப்ப புலங்களை உள்ளடக்கியது.

டைகோ செயல்முறை அதன் கொள்கைகள், தொழில்நுட்ப நன்மைகள் மற்றும் செயல்முறை தோற்றம் ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்தி சிலிக்கான் செதில்களைக் குறைக்கிறது.