MOCVD SUSSCECTOR பற்றி உங்களுக்குத் தெரியுமா?

உலோக-ஆர்கானிக் வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD) செயல்பாட்டில், செதப்பை ஆதரிப்பதற்கும், படிவு செயல்முறையின் சீரான தன்மை மற்றும் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்வதற்கும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். அதன் பொருள் தேர்வு மற்றும் தயாரிப்பு பண்புகள் எபிடாக்சியல் செயல்முறையின் நிலைத்தன்மையையும் உற்பத்தியின் தரத்தையும் நேரடியாக பாதிக்கின்றன.

MOCVD ஆதரவு(உலோக-கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு) குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய செயல்முறை கூறு ஆகும். இது முக்கியமாக MOCVD (உலோக-ஆர்கானிக் வேதியியல் நீராவி படிவு) செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது மெல்லிய திரைப்பட படிவுக்கான செதுவை ஆதரிக்கவும் வெப்பப்படுத்தவும். இறுதி உற்பத்தியின் சீரான தன்மை, செயல்திறன் மற்றும் தரத்திற்கு SEMECECTER இன் வடிவமைப்பு மற்றும் பொருள் தேர்வு முக்கியமானது.

தயாரிப்பு வகை மற்றும் பொருள் தேர்வு:

MOCVD SUSSCECTOR இன் வடிவமைப்பு மற்றும் பொருள் தேர்வு மாறுபட்டவை, பொதுவாக செயல்முறை தேவைகள் மற்றும் எதிர்வினை நிலைமைகளால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது.பின்வருபவை பொதுவான தயாரிப்பு வகைகள் மற்றும் அவற்றின் பொருட்கள்:

Sic பூசப்பட்ட SUSSCECTOR(சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சசெப்டர்):

விளக்கம்: எஸ்.ஐ.சி பூச்சுடன் சசெப்டர், கிராஃபைட் அல்லது பிற உயர் வெப்பநிலை பொருட்களுடன் அடி மூலக்கூறாக, மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு (சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு) அதன் உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்துவதற்காக மேற்பரப்பில்.

பயன்பாடு: அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக அரிக்கும் வாயு சூழல்களில் MOCVD செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பாக சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி மற்றும் கூட்டு குறைக்கடத்தி படிவு.

TAC பூசப்பட்ட SUBERS:

விளக்கம்: முக்கிய பொருள் மிக உயர்ந்த கடினத்தன்மை மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் மிகவும் அரிக்கும் சூழல்களில் பயன்படுத்த ஏற்றது.

பயன்பாடு: அதிக அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமை தேவைப்படும் MOCVD செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அதாவது காலியம் நைட்ரைடு (GAN) மற்றும் காலியம் ஆர்சனைடு (GAAS) ஆகியவற்றின் படிவு.

MOCVD க்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சசெப்டர்:

விளக்கம்: அடி மூலக்கூறு கிராஃபைட், மற்றும் மேற்பரப்பு சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடுக்குடன் மூடப்பட்டிருக்கும், அதிக வெப்பநிலையில் நிலைத்தன்மையையும் நீண்ட ஆயுளையும் உறுதி செய்கிறது.

பயன்பாடு: உயர்தர கூட்டு குறைக்கடத்தி பொருட்களை உற்பத்தி செய்ய Aixtron Mocvd உலைகள் போன்ற சாதனங்களில் பயன்படுத்த ஏற்றது.

ஈபிஐ ஆதரவு (எபிடாக்ஸி ஆதரவாளர்):

விளக்கம்: எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட சசெப்டர், வழக்கமாக அதன் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் ஆயுள் ஆகியவற்றை மேம்படுத்த SIC பூச்சு அல்லது TAC பூச்சு.

பயன்பாடு: சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி மற்றும் கூட்டு செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸியில், சீரான வெப்பம் மற்றும் செதில்களின் படிவுகளை உறுதிப்படுத்த இது பயன்படுத்தப்படுகிறது.

குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் MOCVD க்கான SUSSCECTOR இன் முக்கிய பங்கு:

செதில் ஆதரவு மற்றும் சீரான வெப்பமாக்கல்:

செயல்பாடு: MOCVD உலைகளில் செதில்களை ஆதரிப்பதற்கும், சீரான திரைப்பட படிவுகளை உறுதி செய்வதற்காக தூண்டல் வெப்பமாக்கல் அல்லது பிற முறைகள் மூலம் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை வழங்குவதற்கும் SUSSCECTOR பயன்படுத்தப்படுகிறது.

வெப்ப கடத்தல் மற்றும் நிலைத்தன்மை:

செயல்பாடு: சசெப்டர் பொருட்களின் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை முக்கியமானது. எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட சசெப்டர் மற்றும் டிஏசி பூசப்பட்ட சசெப்டர் ஆகியவை அவற்றின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பின் காரணமாக உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் ஸ்திரத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும், சீரற்ற வெப்பநிலையால் ஏற்படும் திரைப்பட குறைபாடுகளைத் தவிர்க்கிறது.

அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட ஆயுள்:

செயல்பாடு: MOCVD செயல்பாட்டில், சசெப்டர் பல்வேறு வேதியியல் முன்னோடி வாயுக்களுக்கு வெளிப்படும். SIC பூச்சு மற்றும் TAC பூச்சு சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, பொருள் மேற்பரப்புக்கும் எதிர்வினை வாயுவுக்கும் இடையிலான தொடர்புகளை குறைக்கிறது, மேலும் SUSSECECTER இன் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கிறது.

எதிர்வினை சூழலின் தேர்வுமுறை:

செயல்பாடு: உயர்தர சுசெப்டர்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், MOCVD உலையில் வாயு ஓட்டம் மற்றும் வெப்பநிலை புலம் உகந்ததாக இருக்கும், இது ஒரு சீரான திரைப்பட படிவு செயல்முறையை உறுதிசெய்கிறது மற்றும் சாதனத்தின் மகசூல் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. இது வழக்கமாக MOCVD உலைகள் மற்றும் AIXTRON MOCVD கருவிகளுக்கான SUSSCEPECTORS இல் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

தயாரிப்பு அம்சங்கள் மற்றும் தொழில்நுட்ப நன்மைகள்：

அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை:

அம்சங்கள்: எஸ்.ஐ.சி மற்றும் டிஏசி பூசப்பட்ட சசெப்டர்கள் மிக அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளன, விரைவாகவும் சமமாகவும் வெப்பத்தை விநியோகிக்கலாம், மேலும் அதிக வெப்பநிலையில் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கலாம்.

நன்மைகள்: காலியம் நைட்ரைடு (GAN) மற்றும் காலியம் ஆர்சனைடு (GAAS) போன்ற கூட்டு குறைக்கடத்திகளின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி போன்ற துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் MOCVD செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது.

சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு:

அம்சங்கள்: சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு மற்றும் சி.வி.டி டிஏசி பூச்சு ஆகியவை மிக அதிக வேதியியல் செயலற்ற தன்மையைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் குளோரைடுகள் மற்றும் ஃவுளூரைடுகள் போன்ற அதிக அரிக்கும் வாயுக்களிலிருந்து அரிப்பை எதிர்க்கும், மேலும் சேதத்தின் அடி மூலக்கூறுகளை சேதத்திலிருந்து பாதுகாக்கின்றன.

நன்மைகள்: சசெப்டரின் சேவை வாழ்க்கையை விரிவுபடுத்துதல், பராமரிப்பு அதிர்வெண்ணைக் குறைத்தல் மற்றும் MOCVD செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்துதல்.

உயர் இயந்திர வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மை:

அம்சங்கள்: SIC மற்றும் TAC பூச்சுகளின் அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் இயந்திர வலிமை அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்த சூழல்களில் இயந்திர அழுத்தத்தைத் தாங்கி நீண்டகால நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியத்தை பராமரிக்க SUSSECECTOR க்கு உதவுகிறது.

நன்மைகள்: எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி மற்றும் வேதியியல் நீராவி படிவு போன்ற அதிக துல்லியமான தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு குறிப்பாக பொருத்தமானது.

சந்தை பயன்பாடு மற்றும் மேம்பாட்டு வாய்ப்புகள்

MOCVD SUSSCEPTORSஉயர் பிரகாசம் எல்.ஈ. அதிக செயல்திறன் மற்றும் குறைந்த மின் நுகர்வு குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால், MOCVD தொழில்நுட்பம் தொடர்ந்து முன்னேறி வருகிறது, சசெப்டர் பொருட்கள் மற்றும் வடிவமைப்புகளில் புதுமைகளை இயக்குகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, அதிக தூய்மை மற்றும் குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தியுடன் எஸ்.ஐ.சி பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை உருவாக்குதல், மற்றும் பெரிய செதில்கள் மற்றும் மிகவும் சிக்கலான பல அடுக்கு எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளுக்கு ஏற்ப சசெப்டரின் கட்டமைப்பு வடிவமைப்பை மேம்படுத்துதல்.

வெடெக் செமிகண்டக்டர் டெக்னாலஜி கோ, லிமிடெட் குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு மேம்பட்ட பூச்சு பொருட்களை வழங்கும் முன்னணி வழங்குநராகும். எங்கள் நிறுவனம் தொழில்துறைக்கு அதிநவீன தீர்வுகளை உருவாக்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறது.

எங்கள் முக்கிய தயாரிப்பு பிரசாதங்களில் சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்.ஐ.சி) பூச்சுகள், டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சுகள், மொத்த எஸ்.ஐ.சி, எஸ்.ஐ.சி பொடிகள் மற்றும் உயர் தூய்மை எஸ்.ஐ.சி பொருட்கள், எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் செசெஸ்டர், ப்ரீஹீட் மோதிரங்கள், டிஏசி பூசப்பட்ட டைவிங்ஸ், ஹாஃப்மூன் பாகங்கள், முதலியன, 5PPM க்கு கீழே உள்ளன.

வெடெக் குறைக்கடத்தி குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு அதிநவீன தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு மேம்பாட்டு தீர்வுகளை உருவாக்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறது. சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக மாறுவோம் என்று நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.