டாக் பூச்சு என்றால் என்ன? - வெடெக் குறைக்கடத்தி

டாக் பூச்சு (டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு) என்பது வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) செயல்முறையால் உற்பத்தி செய்யப்படும் உயர் செயல்திறன் பூச்சு பொருள். தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் TAC பூச்சின் சிறந்த பண்புகள் காரணமாக, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பாக அதிக வெப்பநிலை மற்றும் வலுவான அரிக்கும் சூழல் தேவைப்படும் உபகரணங்கள் மற்றும் கூறுகளில். அதிக வெப்பநிலை, அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் இயந்திர உடைகள் ஆகியவற்றால் சேதத்திலிருந்து அடி மூலக்கூறுகளை (கிராஃபைட் அல்லது மட்பாண்டங்கள் போன்றவை) பாதுகாக்க TAC பூச்சு பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

TAC பூச்சு இயற்பியல் பண்புகள்

தயாரிப்பு அம்சங்கள் மற்றும் நன்மைகள்

The மிக அதிக வெப்ப நிலைத்தன்மை:

அம்ச விளக்கம்: TAC பூச்சு 3880 ° C க்கும் அதிகமான உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் மிக அதிக வெப்பநிலை சூழலில் சிதைவு அல்லது சிதைவு இல்லாமல் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும்.

நன்மை: இது சி.வி.டி டிஏசி பூச்சு மற்றும் டிஏசி பூசப்பட்ட சுசெப்டர் போன்ற உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி கருவிகளில் ஒரு இன்றியமையாத பொருளாக அமைகிறது, குறிப்பாக Aixtron G5 உபகரணங்கள் போன்ற MOCVD உலைகளில் உள்ள பயன்பாடுகளுக்கு.

அரிப்பு எதிர்ப்பு:

அம்ச விளக்கம்: TAC மிகவும் வலுவான வேதியியல் செயலற்ற தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் குளோரைடுகள் மற்றும் ஃவுளூரைடுகள் போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களின் அரிப்பை திறம்பட எதிர்க்கும்.

நன்மைகள்: அதிக அரிக்கும் இரசாயனங்கள் சம்பந்தப்பட்ட குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில், டிஏசி பூச்சு வேதியியல் தாக்குதலில் இருந்து உபகரணக் கூறுகளைப் பாதுகாக்கிறது, சேவை வாழ்க்கையை நீடிக்கிறது மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது, குறிப்பாக சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகு மற்றும் பிற முக்கிய கூறுகளின் பயன்பாட்டில்.

Machine சிறந்த இயந்திர கடினத்தன்மை:

அம்ச விளக்கம்: TAC பூச்சுகளின் கடினத்தன்மை 9-10 MOHS வரை அதிகமாக உள்ளது, இது இயந்திர உடைகள் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை அழுத்தத்தை எதிர்க்கும்.

நன்மை: அதிக கடினத்தன்மை சொத்து TAC பூச்சு அதிக உடைகள் மற்றும் அதிக அழுத்த சூழல்களில் பயன்படுத்த மிகவும் பொருத்தமானது, கடுமையான நிலைமைகளின் கீழ் சாதனங்களின் நீண்டகால நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

● குறைந்த வேதியியல் வினைத்திறன்:

அம்ச விளக்கம்: அதன் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை காரணமாக, TAC பூச்சு அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் குறைந்த வினைத்திறனை பராமரிக்கலாம் மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களுடன் தேவையற்ற வேதியியல் எதிர்வினைகளைத் தவிர்க்கலாம்.

நன்மை: குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் இது மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் இது செயல்முறை சூழலின் தூய்மை மற்றும் பொருட்களின் உயர்தர படிவு ஆகியவற்றை உறுதி செய்கிறது.

குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் TAC பூச்சின் பங்கு

Tey முக்கிய உபகரண கூறுகளைப் பாதுகாத்தல்:

செயல்பாட்டு விளக்கம்: TAC பூச்சு குறைக்கடத்தி உற்பத்தி கருவிகளின் முக்கிய கூறுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அதாவது TAC பூசப்பட்ட SUSSCECTOR போன்றவை, அவை தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் செயல்பட வேண்டும். TAC உடன் பூச்சு செய்வதன் மூலம், இந்த கூறுகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயு சூழல்களில் நீண்ட நேரம் சேதமடையாமல் செயல்பட முடியும்.

உபகரணங்கள் ஆயுளை நீட்டிக்கவும்:

செயல்பாட்டு விளக்கம்: Aixtron G5 போன்ற MOCVD கருவிகளில், TAC பூச்சு உபகரணங்கள் கூறுகளின் ஆயுள் கணிசமாக மேம்படுத்தலாம் மற்றும் அரிப்பு மற்றும் உடைகள் காரணமாக உபகரணங்கள் பராமரிப்பு மற்றும் மாற்றீட்டின் தேவையை குறைக்கும்.

Process செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தவும்:

செயல்பாட்டு விளக்கம்: குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், டிஏசி பூச்சு ஒரு நிலையான உயர் வெப்பநிலை மற்றும் வேதியியல் சூழலை வழங்குவதன் மூலம் படிவு செயல்முறையின் சீரான தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி மற்றும் காலியம் நைட்ரைடு (GAN) போன்ற எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் இது மிகவும் முக்கியமானது.

Process செயல்முறை செயல்திறனை மேம்படுத்தவும்:

செயல்பாட்டு விளக்கம்: சாதனங்களின் மேற்பரப்பில் பூச்சுகளை மேம்படுத்துவதன் மூலம், TAC பூச்சு செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்தலாம், குறைபாடு வீதத்தைக் குறைக்கலாம் மற்றும் தயாரிப்பு விளைச்சலை அதிகரிக்கும். அதிக துல்லியமான, உயர் தூய்மை குறைக்கடத்தி பொருட்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு இது மிகவும் முக்கியமானது.

அதிக வெப்ப நிலைத்தன்மை, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு, இயந்திர கடினத்தன்மை மற்றும் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் போது TAC பூச்சு மூலம் காட்சிப்படுத்தப்பட்ட குறைந்த வேதியியல் வினைத்திறன் ஆகியவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணக் கூறுகளைப் பாதுகாப்பதற்கான சிறந்த தேர்வாக அமைகின்றன. அதிக வெப்பநிலைக்கான குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் தேவை, அதிக தூய்மை மற்றும் திறமையான உற்பத்தி செயல்முறைகள் தொடர்ந்து அதிகரித்து வருவதால், டிஏசி பூச்சு பரந்த பயன்பாட்டு வாய்ப்புகளைக் கொண்டுள்ளது, குறிப்பாக சி.வி.டி டிஏசி பூச்சு, டிஏசி பூசப்பட்ட சசெப்டர் மற்றும் ஐக்ஸ்ட்ரான் ஜி 5 சம்பந்தப்பட்ட உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறைகளில்.

வெடெக் செமிகண்டக்டர் டெக்னாலஜி கோ, லிமிடெட் குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு மேம்பட்ட பூச்சு பொருட்களை வழங்கும் முன்னணி வழங்குநராகும். எங்கள் நிறுவனம் தொழில்துறைக்கு அதிநவீன தீர்வுகளை உருவாக்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறது.

எங்கள் முக்கிய தயாரிப்பு சலுகைகள் அடங்கும்சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) பூச்சுகள், டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சுகள்.

வெடெக் குறைக்கடத்தி குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு அதிநவீன தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு மேம்பாட்டு தீர்வுகளை உருவாக்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறது.சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக மாறுவோம் என்று நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.