தொழில் செய்திகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) PVT வளர்ச்சியானது கடுமையான வெப்ப சுழற்சியை உள்ளடக்கியது (அறை வெப்பநிலை 2200 ℃ க்கு மேல்). வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகங்களில் (CTE) பொருந்தாததன் காரணமாக பூச்சுக்கும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையே உருவாகும் மிகப்பெரிய வெப்ப அழுத்தமானது பூச்சு வாழ்நாள் மற்றும் பயன்பாட்டின் நம்பகத்தன்மையை நிர்ணயிக்கும் முக்கிய சவாலாகும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) PVT படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டில், வெப்பப் புலத்தின் நிலைத்தன்மையும் சீரான தன்மையும் நேரடியாக படிக வளர்ச்சி விகிதம், குறைபாடு அடர்த்தி மற்றும் பொருள் சீரான தன்மையை தீர்மானிக்கிறது. அமைப்பின் எல்லையாக, வெப்ப-புல கூறுகள் மேற்பரப்பு தெர்மோபிசிகல் பண்புகளை வெளிப்படுத்துகின்றன, அதன் சிறிய ஏற்ற இறக்கங்கள் அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் வியத்தகு முறையில் பெருக்கப்படுகின்றன, இறுதியில் வளர்ச்சி இடைமுகத்தில் உறுதியற்ற தன்மைக்கு வழிவகுக்கும்.

இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT) முறையின் மூலம் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிகங்களை வளர்க்கும் செயல்பாட்டில், 2000-2500 °C என்ற தீவிர உயர் வெப்பநிலையானது "இரட்டை முனைகள் கொண்ட வாள்" ஆகும் - இது மூலப்பொருட்களின் பதங்கமாதல் மற்றும் போக்குவரத்துக்கு உந்துகிறது, இது வியத்தகு முறையில் தீவிரப்படுத்துகிறது வழக்கமான கிராஃபைட் வெப்ப மண்டல கூறுகள். இந்த அசுத்தங்கள் வளர்ச்சி இடைமுகத்தில் நுழைந்தவுடன், அவை நேரடியாக படிகத்தின் முக்கிய தரத்தை சேதப்படுத்தும். டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள் PVT படிக வளர்ச்சிக்கான "விருப்பத் தேர்வு" என்பதை விட "கட்டாய விருப்பமாக" மாறியதற்கு இதுவே அடிப்படைக் காரணம்.