எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் என்பது மின்தடை வெப்பமாக்கலுடன் ஒப்பிடும்போது மிகவும் திறமையான மற்றும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் பூச்சு முறையாகும், இது எலக்ட்ரான் கற்றை மூலம் ஆவியாதல் பொருளை வெப்பப்படுத்துகிறது, இதனால் அது ஆவியாகி மெல்லிய படலமாக ஒடுங்குகிறது.
வெற்றிட பூச்சுகளில் திரைப்பட பொருள் ஆவியாதல், வெற்றிட போக்குவரத்து மற்றும் மெல்லிய திரைப்பட வளர்ச்சி ஆகியவை அடங்கும். வெவ்வேறு திரைப்பட பொருள் ஆவியாதல் முறைகள் மற்றும் போக்குவரத்து செயல்முறைகளின்படி, வெற்றிட பூச்சு பி.வி.டி மற்றும் சி.வி.டி ஆகிய இரண்டு பிரிவுகளாக பிரிக்கப்படலாம்.
இந்த கட்டுரை வெடெக் குறைக்கடத்தியின் நுண்ணிய கிராஃபைட்டின் இயற்பியல் அளவுருக்கள் மற்றும் தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் அதன் குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளை விவரிக்கிறது.
இந்த கட்டுரை டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு ஆகியவற்றின் தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் பயன்பாட்டு காட்சிகளை பல கோணங்களில் பகுப்பாய்வு செய்கிறது.
சிஐபி உற்பத்தியில் மெல்லிய திரைப்பட படிவு மிக முக்கியமானது, சி.வி.டி, ஏ.எல்.டி அல்லது பி.வி.டி வழியாக 1 மைக்ரான் தடிமன் கொண்ட படங்களை வைப்பதன் மூலம் மைக்ரோ சாதனங்களை உருவாக்குகிறது. இந்த செயல்முறைகள் மாற்று கடத்தும் மற்றும் இன்சுலேடிங் திரைப்படங்கள் மூலம் குறைக்கடத்தி கூறுகளை உருவாக்குகின்றன.
குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறை எட்டு படிகளை உள்ளடக்கியது: செதில் செயலாக்கம், ஆக்சிஜனேற்றம், லித்தோகிராபி, பொறித்தல், மெல்லிய திரைப்பட படிவு, ஒன்றோடொன்று சோதனை, சோதனை மற்றும் பேக்கேஜிங். மணலில் இருந்து சிலிக்கான் செதில்களாக பதப்படுத்தப்பட்டு, ஆக்ஸிஜனேற்றப்பட்ட, வடிவமைக்கப்பட்ட மற்றும் அதிக துல்லியமான சுற்றுகளுக்கு பொறிக்கப்படுகிறது.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy