செய்தி

அலுமினா மட்பாண்டங்கள் பீங்கான் கூறுகளை உற்பத்தி செய்வதற்கான "வொர்க்ஹார்ஸ்" ஆகும். அவை சிறந்த இயந்திர பண்புகள், அதி-உயர் உருகும் புள்ளிகள் மற்றும் கடினத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு, வலுவான வேதியியல் நிலைத்தன்மை, அதிக எதிர்ப்பு மற்றும் உயர்ந்த மின் காப்பீடு ஆகியவற்றை வெளிப்படுத்துகின்றன. மெருகூட்டல் தகடுகள், வெற்றிட சக்ஸ், பீங்கான் ஆயுதங்கள் மற்றும் ஒத்த பகுதிகளை உருவாக்க அவை பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

குறைக்கடத்தி பொருட்களை காலவரிசைப்படி மூன்று தலைமுறைகளாக வகைப்படுத்தலாம். முதல் தலைமுறை ஜெர்மானியம் மற்றும் சிலிக்கான் போன்ற பொதுவான அடிப்படை பொருட்களைக் கொண்டுள்ளது, அவை வசதியான மாறுதலால் வகைப்படுத்தப்படுகின்றன மற்றும் பொதுவாக ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. காலியம் ஆர்சனைடு மற்றும் இண்டியம் பாஸ்பைடு போன்ற இரண்டாம் தலைமுறை கலவை குறைக்கடத்திகள் முக்கியமாக ஒளிரும் மற்றும் தகவல்தொடர்பு பொருட்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

சூரிய மின்கல உற்பத்தியில் குவார்ட்ஸ் சாதனங்கள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன, விதிவிலக்கான வெப்ப எதிர்ப்பு, வேதியியல் தூய்மை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் தேவைப்படும் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை வழங்குகின்றன. குவார்ட்ஸ் பரவல் குழாய்கள் மற்றும் சிலுவை முதல் குவார்ட்ஸ் படகுகள் மற்றும் உலை கூறுகள் வரை, பரவல், சி.வி.டி மற்றும் ஈரமான பொறித்தல் படிகளில் உகந்த செயல்திறனை அடைய இந்த உயர் தூய்மை பொருட்கள் அவசியம்.

கிராஃபைட் க்ரூசிபிள் மற்றும் எஸ்ஐசி உருகலுக்கு இடையிலான நேரடி தொடர்பை தனிமைப்படுத்துவதன் மூலம் கார்பன் இணைத்தல் நிகழ்வை டிஏசி பூச்சு கிட்டத்தட்ட முற்றிலுமாக நீக்குகிறது, மைக்ரோடூப்களின் குறைபாடு அடர்த்தியை கணிசமாகக் குறைக்கிறது

SIC பீங்கான் என்பது சிலிக்கான் (SI) மற்றும் கார்பன் (சி) உறுப்புகளின் எதிர்வினையால் உற்பத்தி செய்யப்படும் ஒரு பீங்கான் பொருள், இதில் மிக அதிக கடினத்தன்மை, வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மை ஆகியவை உள்ளன

குறைக்கடத்தி புனையலின் உயர்நிலை உலகில், துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மை எல்லாமே ஆகும்-அங்குதான் மின்னாற்பகுப்பு சக் (ஈ.எஸ்.சி) படிகள் உள்ளன. ஒரு ஹோல்டிங் கருவியை விட, ஈ.எஸ்.சி எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்திகளைப் பயன்படுத்துகிறது, பொறித்தல், படிவு மற்றும் அயன் உள்வைப்பு போன்ற முக்கியமான செயல்முறைகளின் போது செதில்களை பாதுகாப்பாக கட்டுப்படுத்துகிறது. ஆனால் அது உண்மையில் எவ்வாறு செயல்படுகிறது? பாரம்பரிய மெக்கானிக்கல் கிளாம்பிங்கை விட இது ஏன் உயர்ந்தது? நானோ அளவிலான துல்லியம் மற்றும் செயல்திறன் செயல்திறனை அடைவதில் இது என்ன பங்கு வகிக்கிறது? படிக்க வருக.

எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்கின் டெக்கக் கொள்கை அதன் பணிப்பாய்வுகளின் முக்கிய பகுதியாகும், இது மின்னியல் சக்தி நீக்குதல் மற்றும் செதில் வெளியீட்டு வழிமுறைகளை உள்ளடக்கியது.

கண்ணாடி கார்பன் என்பது கண்ணாடி மற்றும் மட்பாண்டங்களின் பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கும் ஒரு கிராஃபிட் செய்யப்படாத கார்பன் ஆகும். இது உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, நல்ல மின் கடத்துத்திறன் போன்ற பல பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த வலைப்பதிவு ஆராய்ச்சி வரலாறு மற்றும் கண்ணாடி கார்பனின் எதிர்கால மேம்பாட்டு போக்கை பகுப்பாய்வு செய்கிறது, இது படிக்கத்தக்கது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், பல்வேறு வகையான குறைக்கடத்தி பீங்கான் கூறுகள் தயாரிப்புகள் தேவை. இந்த தயாரிப்புகள் அவற்றின் வெவ்வேறு பண்புகள் காரணமாக வெவ்வேறு உற்பத்தி காட்சிகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இதனால் அவற்றின் தொடர்புடைய செயல்பாடுகளை இயக்க. அவை குறைக்கடத்தி செயலாக்கத் துறையில் இன்றியமையாத தயாரிப்புகள்.

டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) என்பது மிக உயர்ந்த கடினத்தன்மை, அதிக உருகும் புள்ளி மற்றும் சிறந்த வேதியியல் நிலைத்தன்மைக்கு அறியப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் பொருள். இது குறைக்கடத்தி, விண்வெளி மற்றும் தீவிர வெப்பம், உடைகள் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு தேவைப்படும் பிற தொழில்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த கட்டுரை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முடிக்கப்பட்ட உற்பத்தியின் கட்டமைப்பு, இயற்பியல் பண்புகள் மற்றும் குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளை விரிவாக பகுப்பாய்வு செய்யும்.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில் உள்ள முக்கிய பொருட்களில் போரஸ் எஸ்.ஐ.சி பீங்கான் தட்டு ஒன்றாகும். அதன் தனித்துவமான அமைப்பு மற்றும் சிறந்த இயற்பியல் பண்புகளுடன், நுண்ணிய SIC பீங்கான் வட்டு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் ஈடுசெய்ய முடியாத முக்கிய அங்கமாக மாறியுள்ளது. இந்த கட்டுரையில், அதன் இயற்பியல் பண்புகள், பயன்பாட்டு காட்சிகள் மற்றும் தேர்வு நன்மைகள் ஆகியவற்றை ஆழமாக பகுப்பாய்வு செய்வோம்.

குவார்ட்ஸ் படகு என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய சுமை தாங்கும் அங்கமாகும். இது முக்கியமாக பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் வருடாந்திர போன்ற செதில்களின் உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கத்திற்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதன் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, குறைந்த மாசு பண்புகள் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவை குறைக்கடத்தி துறையில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத பொருளாக அமைகின்றன. இந்த கட்டுரை குவார்ட்ஸ் படகின் பொருள், இயற்பியல் பண்புகள், வகைப்பாடு, பயன்பாட்டு காட்சிகள் மற்றும் பெக்க்விடி கிராஃபைட் படகில் இருந்து அதன் வேறுபாடுகள் குறித்து விரிவாகக் கூறும்.

பி.இ.சி.வி.டி கிராஃபைட் படகின் முக்கிய பொருள் உயர் தூய்மை ஐசோட்ரோபிக் கிராஃபைட் பொருள் (தூய்மை பொதுவாக ≥99.999%), இது சிறந்த மின் கடத்துத்திறன், வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அடர்த்தி ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. சாதாரண கிராஃபைட் படகுகளுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​பி.இ.சி.வி.டி கிராஃபைட் படகுகள் பல உடல் மற்றும் வேதியியல் சொத்து நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் அவை முக்கியமாக குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த தொழில்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, குறிப்பாக பி.இ.சி.வி.டி மற்றும் சி.வி.டி செயல்முறைகளில்.

எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில் MOCVD கிராஃபைட் தட்டுகள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. இந்த கட்டுரை பொருள் பண்புகள் மற்றும் பயன்பாட்டு காட்சிகளின் கண்ணோட்டத்தில் MOCVD கிராஃபைட் தட்டுகளைத் தேர்ந்தெடுப்பது குறித்து விரிவான பகுப்பாய்வை உருவாக்குகிறது.

கிராஃபைட் பொருட்கள் பரவலான பயன்பாட்டு காட்சிகளைக் கொண்டுள்ளன. அவற்றில், ஐசோட்ரோபிக் கிராஃபைட் மற்றும் சிலிகானைஸ் கிராஃபைட் ஆகியவை இரண்டு முக்கிய வெவ்வேறு வகையான கிராஃபைட் பொருட்கள் உள்ளன, அவற்றின் பண்புகள், பயன்பாட்டு காட்சிகள் மற்றும் நன்மைகள் கணிசமாக வேறுபட்டவை. இந்த வலைப்பதிவு மூன்று அம்சங்களிலிருந்து ஒரு ஒப்பீட்டு பகுப்பாய்வை நடத்தும்: கட்டமைப்பு பண்புகள், பயன்பாட்டு காட்சிகள் மற்றும் தயாரிப்பு நன்மைகள்.

சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள், பொதுவாக எஸ்.ஐ.சி மட்பாண்டங்கள் என அழைக்கப்படுகின்றன, அவை தனித்துவமான பண்புகள் மற்றும் பல்வேறு தொழில்களில் பரவலான பயன்பாடுகளைக் கொண்ட பல்துறை பொருள். பின்வருவது அதன் பொருள் அமைப்பு, இயற்பியல் பண்புகள், குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி பூச்சு செயல்முறைகளில் நன்மைகள் மற்றும் செயலாக்கத்தின் போது எதிர்கொள்ளும் பொதுவான சிக்கல்கள் பற்றிய விரிவான விவாதம்.