செய்தி

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) குறைக்கடத்திகளின் உலகில், பெரும்பாலான ஸ்பாட்லைட் 8-இன்ச் எபிடாக்சியல் ரியாக்டர்கள் அல்லது செதில் மெருகூட்டலின் நுணுக்கங்கள் மீது பிரகாசிக்கிறது. எவ்வாறாயினும், சப்ளை சங்கிலியை ஆரம்பத்திலிருந்தே கண்டுபிடித்தோம் - உடல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT) உலைக்குள் - ஒரு அடிப்படை "பொருள் புரட்சி" அமைதியாக நடைபெறுகிறது.

விரைவான MEMS (மைக்ரோ-எலக்ட்ரோமெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ்) பரிணாம வளர்ச்சியின் சகாப்தத்தில், சரியான பைசோ எலக்ட்ரிக் பொருளைத் தேர்ந்தெடுப்பது சாதனத்தின் செயல்திறனுக்கான ஒரு தயாரிப்பாக அல்லது உடைக்க முடிவாகும். PZT (Lead Zirconate Titanate) மெல்லிய-படச் செதில்கள் AlN (அலுமினியம் நைட்ரைடு) போன்ற மாற்றுகளை விட முதன்மையான தேர்வாக வெளிவந்துள்ளன, இது அதிநவீன சென்சார்கள் மற்றும் ஆக்சுவேட்டர்களுக்கு சிறந்த எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் இணைப்பை வழங்குகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியானது மேம்பட்ட செயல்முறை முனைகள், உயர் ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் சிக்கலான கட்டமைப்புகளை நோக்கி தொடர்ந்து உருவாகி வருவதால், செதில் விளைச்சலுக்கான தீர்க்கமான காரணிகள் நுட்பமான மாற்றத்திற்கு உட்பட்டுள்ளன. தனிப்பயனாக்கப்பட்ட குறைக்கடத்தி செதில் உற்பத்திக்கு, விளைச்சலுக்கான திருப்புமுனையானது லித்தோகிராபி அல்லது செதுக்கல் போன்ற முக்கிய செயல்முறைகளில் மட்டும் இருக்காது; உயர்-தூய்மை உறிஞ்சிகள் பெருகிய முறையில் செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை பாதிக்கும் அடிப்படை மாறி மாறி வருகின்றன.

பரந்த-பேண்ட்கேப் (WBG) குறைக்கடத்திகளின் உலகில், மேம்பட்ட உற்பத்தி செயல்முறை "ஆன்மா" என்றால், கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் "முதுகெலும்பு" மற்றும் அதன் மேற்பரப்பு பூச்சு முக்கியமான "தோல்" ஆகும்.

பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் உலகில், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மற்றும் காலியம் நைட்ரைடு (GaN) ஆகியவை மின்சார வாகனங்கள் (EVகள்) முதல் புதுப்பிக்கத்தக்க ஆற்றல் உள்கட்டமைப்பு வரை ஒரு புரட்சியை முன்னெடுத்து வருகின்றன. இருப்பினும், இந்த பொருட்களின் பழம்பெரும் கடினத்தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஒரு வலிமையான உற்பத்தி இடையூறாக உள்ளது.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில், இரசாயன மெக்கானிக்கல் பிளானரைசேஷன் (சிஎம்பி) செயல்முறையானது செதில் மேற்பரப்புத் திட்டமிடலை அடைவதற்கான முக்கிய கட்டமாகும், இது அடுத்தடுத்த லித்தோகிராஃபி படிகளின் வெற்றி அல்லது தோல்வியை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது. CMP இல் முக்கியமான நுகர்வுப் பொருளாக, பாலிஷிங் ஸ்லரியின் செயல்திறன் நீக்குதல் வீதத்தைக் (RR) கட்டுப்படுத்துதல், குறைபாடுகளைக் குறைத்தல் மற்றும் ஒட்டுமொத்த விளைச்சலை மேம்படுத்துதல் ஆகியவற்றில் இறுதிக் காரணியாகும்.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் உயர்-பங்கு உலகில், துல்லியமான மற்றும் தீவிர சூழல்கள் இணைந்திருக்கும், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஃபோகஸ் வளையங்கள் இன்றியமையாதவை. அவற்றின் விதிவிலக்கான வெப்ப எதிர்ப்பு, இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றிற்கு அறியப்பட்ட இந்த கூறுகள் மேம்பட்ட பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்முறைகளுக்கு முக்கியமானவை. அவற்றின் உயர் செயல்திறனுக்குப் பின்னால் உள்ள ரகசியம் சாலிட் சிவிடி (கெமிக்கல் வேப்பர் டெபாசிஷன்) தொழில்நுட்பத்தில் உள்ளது. இன்று, கடுமையான உற்பத்திப் பயணத்தை ஆராய உங்களை திரைக்குப் பின்னால் அழைத்துச் செல்கிறோம்—ஒரு மூல கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு முதல் ஃபேபின் உயர் துல்லியமான "கண்ணுக்கு தெரியாத ஹீரோ" வரை.

செமிகண்டக்டர் துறையில் உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் பொருட்கள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. அவற்றின் உயர்ந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் ஒளி பரிமாற்ற பண்புகள் அவற்றை முக்கியமான நுகர்பொருட்களாக ஆக்குகின்றன. குவார்ட்ஸ் தயாரிப்புகள் செதில் உற்பத்தியின் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை மண்டலங்களில் உள்ள கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இது உற்பத்தி செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது.

உலகளாவிய ஆற்றல் மாற்றம், AI புரட்சி மற்றும் புதிய தலைமுறை தகவல் தொழில்நுட்பங்களின் அலை ஆகியவற்றுடன், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அதன் விதிவிலக்கான இயற்பியல் பண்புகள் காரணமாக "சாத்தியமான பொருள்" என்பதிலிருந்து "மூலோபாய அடித்தளப் பொருள்" ஆக வேகமாக முன்னேறியுள்ளது.

குறைக்கடத்தி உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில், செதில்களின் கையாளுதல், துணைபுரிதல் மற்றும் வெப்ப சிகிச்சை ஆகியவை ஒரு சிறப்பு துணை கூறு-செதில் படகை சார்ந்துள்ளது. செயல்முறை வெப்பநிலை உயரும் மற்றும் தூய்மை மற்றும் துகள் கட்டுப்பாடு தேவைகள் அதிகரிக்கும் போது, ​​பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் செதில் படகுகள் படிப்படியாக குறுகிய சேவை வாழ்க்கை, அதிக சிதைவு விகிதங்கள் மற்றும் மோசமான அரிப்பு எதிர்ப்பு போன்ற சிக்கல்களை வெளிப்படுத்துகின்றன.

சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளின் தொழில்துறை அளவிலான உற்பத்திக்கு, ஒற்றை வளர்ச்சி ஓட்டத்தின் வெற்றி இறுதி இலக்கு அல்ல. வெவ்வேறு தொகுதிகள், கருவிகள் மற்றும் காலகட்டங்களில் வளர்க்கப்படும் படிகங்கள் உயர் நிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் தரத்தில் மீண்டும் மீண்டும் செயல்படுவதை உறுதி செய்வதில் உண்மையான சவால் உள்ளது. இந்த சூழலில், டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளின் பங்கு அடிப்படை பாதுகாப்பிற்கு அப்பாற்பட்டது - இது செயல்முறை சாளரத்தை உறுதிப்படுத்துவதிலும் தயாரிப்பு விளைச்சலைப் பாதுகாப்பதிலும் முக்கிய காரணியாகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) PVT வளர்ச்சியானது கடுமையான வெப்ப சுழற்சியை உள்ளடக்கியது (அறை வெப்பநிலை 2200 ℃ க்கு மேல்). வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகங்களில் (CTE) பொருந்தாததன் காரணமாக பூச்சுக்கும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையே உருவாகும் மிகப்பெரிய வெப்ப அழுத்தமானது பூச்சு வாழ்நாள் மற்றும் பயன்பாட்டின் நம்பகத்தன்மையை நிர்ணயிக்கும் முக்கிய சவாலாகும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) PVT படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டில், வெப்பப் புலத்தின் நிலைத்தன்மையும் சீரான தன்மையும் நேரடியாக படிக வளர்ச்சி விகிதம், குறைபாடு அடர்த்தி மற்றும் பொருள் சீரான தன்மையை தீர்மானிக்கிறது. அமைப்பின் எல்லையாக, வெப்ப-புல கூறுகள் மேற்பரப்பு தெர்மோபிசிகல் பண்புகளை வெளிப்படுத்துகின்றன, அதன் சிறிய ஏற்ற இறக்கங்கள் அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் வியத்தகு முறையில் பெருக்கப்படுகின்றன, இறுதியில் வளர்ச்சி இடைமுகத்தில் உறுதியற்ற தன்மைக்கு வழிவகுக்கும்.

இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT) முறையின் மூலம் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிகங்களை வளர்க்கும் செயல்பாட்டில், 2000-2500 °C என்ற தீவிர உயர் வெப்பநிலையானது "இரட்டை முனைகள் கொண்ட வாள்" ஆகும் - இது மூலப்பொருட்களின் பதங்கமாதல் மற்றும் போக்குவரத்துக்கு உந்துகிறது, இது வியத்தகு முறையில் தீவிரப்படுத்துகிறது வழக்கமான கிராஃபைட் வெப்ப மண்டல கூறுகள். இந்த அசுத்தங்கள் வளர்ச்சி இடைமுகத்தில் நுழைந்தவுடன், அவை நேரடியாக படிகத்தின் முக்கிய தரத்தை சேதப்படுத்தும். டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள் PVT படிக வளர்ச்சிக்கான "விருப்பத் தேர்வு" என்பதை விட "கட்டாய விருப்பமாக" மாறியதற்கு இதுவே அடிப்படைக் காரணம்.

Veteksemicon இல், நாங்கள் தினசரி இந்த சவால்களை வழிநடத்துகிறோம், மேம்பட்ட அலுமினியம் ஆக்சைடு பீங்கான்களை துல்லியமான விவரக்குறிப்புகளை பூர்த்தி செய்யும் தீர்வுகளாக மாற்றுவதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். சரியான எந்திரம் மற்றும் செயலாக்க முறைகளைப் புரிந்துகொள்வது மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் தவறான அணுகுமுறை விலையுயர்ந்த கழிவு மற்றும் கூறு தோல்விக்கு வழிவகுக்கும். இதை சாத்தியமாக்கும் தொழில் நுட்பங்களை ஆராய்வோம்.

செதில் வெட்டும் போது டைசிங் நீரில் CO₂ ஐ அறிமுகப்படுத்துவது நிலையான மின்னூட்டம் மற்றும் குறைந்த மாசுபாடு அபாயத்தை அடக்குவதற்கு ஒரு பயனுள்ள செயல்முறை நடவடிக்கையாகும், இதன் மூலம் டைசிங் விளைச்சல் மற்றும் நீண்ட கால சிப் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.