செய்தி

குறைக்கடத்தி உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில், செதில்களின் கையாளுதல், துணைபுரிதல் மற்றும் வெப்ப சிகிச்சை ஆகியவை ஒரு சிறப்பு துணை கூறு-செதில் படகை சார்ந்துள்ளது. செயல்முறை வெப்பநிலை உயரும் மற்றும் தூய்மை மற்றும் துகள் கட்டுப்பாடு தேவைகள் அதிகரிக்கும் போது, ​​பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் செதில் படகுகள் படிப்படியாக குறுகிய சேவை வாழ்க்கை, அதிக சிதைவு விகிதங்கள் மற்றும் மோசமான அரிப்பு எதிர்ப்பு போன்ற சிக்கல்களை வெளிப்படுத்துகின்றன.

சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளின் தொழில்துறை அளவிலான உற்பத்திக்கு, ஒற்றை வளர்ச்சி ஓட்டத்தின் வெற்றி இறுதி இலக்கு அல்ல. வெவ்வேறு தொகுதிகள், கருவிகள் மற்றும் காலகட்டங்களில் வளர்க்கப்படும் படிகங்கள் உயர் நிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் தரத்தில் மீண்டும் மீண்டும் செயல்படுவதை உறுதி செய்வதில் உண்மையான சவால் உள்ளது. இந்த சூழலில், டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளின் பங்கு அடிப்படை பாதுகாப்பிற்கு அப்பாற்பட்டது - இது செயல்முறை சாளரத்தை உறுதிப்படுத்துவதிலும் தயாரிப்பு விளைச்சலைப் பாதுகாப்பதிலும் முக்கிய காரணியாகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) PVT வளர்ச்சியானது கடுமையான வெப்ப சுழற்சியை உள்ளடக்கியது (அறை வெப்பநிலை 2200 ℃ க்கு மேல்). வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகங்களில் (CTE) பொருந்தாததன் காரணமாக பூச்சுக்கும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையே உருவாகும் மிகப்பெரிய வெப்ப அழுத்தமானது பூச்சு வாழ்நாள் மற்றும் பயன்பாட்டின் நம்பகத்தன்மையை நிர்ணயிக்கும் முக்கிய சவாலாகும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) PVT படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டில், வெப்பப் புலத்தின் நிலைத்தன்மையும் சீரான தன்மையும் நேரடியாக படிக வளர்ச்சி விகிதம், குறைபாடு அடர்த்தி மற்றும் பொருள் சீரான தன்மையை தீர்மானிக்கிறது. அமைப்பின் எல்லையாக, வெப்ப-புல கூறுகள் மேற்பரப்பு தெர்மோபிசிகல் பண்புகளை வெளிப்படுத்துகின்றன, அதன் சிறிய ஏற்ற இறக்கங்கள் அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் வியத்தகு முறையில் பெருக்கப்படுகின்றன, இறுதியில் வளர்ச்சி இடைமுகத்தில் உறுதியற்ற தன்மைக்கு வழிவகுக்கும்.

இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT) முறையின் மூலம் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிகங்களை வளர்க்கும் செயல்பாட்டில், 2000-2500 °C என்ற தீவிர உயர் வெப்பநிலையானது "இரட்டை முனைகள் கொண்ட வாள்" ஆகும் - இது மூலப்பொருட்களின் பதங்கமாதல் மற்றும் போக்குவரத்துக்கு உந்துகிறது, இது வியத்தகு முறையில் தீவிரப்படுத்துகிறது வழக்கமான கிராஃபைட் வெப்ப மண்டல கூறுகள். இந்த அசுத்தங்கள் வளர்ச்சி இடைமுகத்தில் நுழைந்தவுடன், அவை நேரடியாக படிகத்தின் முக்கிய தரத்தை சேதப்படுத்தும். டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள் PVT படிக வளர்ச்சிக்கான "விருப்பத் தேர்வு" என்பதை விட "கட்டாய விருப்பமாக" மாறியதற்கு இதுவே அடிப்படைக் காரணம்.

Veteksemicon இல், நாங்கள் தினசரி இந்த சவால்களை வழிநடத்துகிறோம், மேம்பட்ட அலுமினியம் ஆக்சைடு பீங்கான்களை துல்லியமான விவரக்குறிப்புகளை பூர்த்தி செய்யும் தீர்வுகளாக மாற்றுவதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். சரியான எந்திரம் மற்றும் செயலாக்க முறைகளைப் புரிந்துகொள்வது மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் தவறான அணுகுமுறை விலையுயர்ந்த கழிவு மற்றும் கூறு தோல்விக்கு வழிவகுக்கும். இதை சாத்தியமாக்கும் தொழில் நுட்பங்களை ஆராய்வோம்.