செய்தி

SiC பரிணாம வளர்ச்சியின் ஒரு தசாப்தம் - ஆரம்பகால 4-அங்குல வணிகமயமாக்கல் சவால்களிலிருந்து இன்றைய 8-அங்குல செதில் மாற்றம் வரை. CVD SiC பூச்சுகள், Solid SiC மற்றும் TaC பொருட்கள் எவ்வாறு நம்பகமான குறைக்கடத்தி உற்பத்தியை செயல்படுத்துகின்றன என்பதைக் கண்டறியவும்.

சிவிடி எஸ்ஐசி-கோடட் கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் வெப்ப சீரான தன்மையை மேம்படுத்துவதன் மூலம் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை மேம்படுத்துவது, மாசுபாட்டை குறைப்பது மற்றும் SiC, GaN, LED மற்றும் சிலிக்கான் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டிப்பது எப்படி என்பதை அறிக.

வழக்கமான pBN பூசப்பட்ட ஹீட்டர்களுடன் ஒப்பிடும்போது TaC-கோடட் கிராஃபைட் ஹீட்டர்கள் எப்படி வெப்பநிலை சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகின்றன, ஆற்றல் நுகர்வு குறைக்கின்றன மற்றும் GaN MOCVD எபிடாக்ஸியில் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கின்றன என்பதைக் கண்டறியவும்.