MOCVD கிராஃபைட் தட்டில் எவ்வாறு தேர்வு செய்வது?

கேள்வி 1: MOCVD கிராஃபைட் தட்டு என்றால் என்ன, எபிடாக்சியல் செயல்முறைக்கு இது ஏன் மிகவும் முக்கியமானது?

மெட்டல்-ஆர்கானிக் வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD) கிராஃபைட் தட்டு, MOCVD கிராஃபைட் தட்டு அல்லது MOCVD கிராஃபைட் Sussceptor என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது குறைக்கடத்தி செதில்களை சரிசெய்ய பயன்படுத்தப்படும் உயர் தூய்மை கூறு ஆகும். எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில், இது ஒரு வெப்பமூட்டும் உறுப்பாக செயல்படுகிறது மற்றும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்கள், எல்.ஈ.டி உற்பத்தி மற்றும் சூரிய மின்கலங்கள் போன்ற பயன்பாடுகளில் மெல்லிய திரைப்படங்களை வைப்பதில் ஈடுசெய்ய முடியாத பங்கைக் கொண்டுள்ளது.

கிராஃபைட் தட்டு தீவிர வெப்பநிலையை (1,800 ° C வரை) மற்றும் அரிக்கும் வாயு சூழல்களைத் தாங்கும், இது உயர் வெப்பநிலை, அரிப்புக்கு எதிர்ப்பு MOCVD அமைப்புகளுக்கு இன்றியமையாத பொருளாக அமைகிறது. அதன் செயல்திறன் செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் செதில் விளைச்சலை நேரடியாக பாதிக்கிறது.

கேள்வி 2: MOCVD கிராஃபைட் தட்டுகளைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது எந்த பொருள் பண்புகளுக்கு முன்னுரிமை அளிக்கப்பட வேண்டும்?

சரியான கிராஃபைட் தட்டைத் தேர்ந்தெடுப்பதற்கு அதன் உடல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளை மதிப்பீடு செய்ய வேண்டும்:

. அதிக தூய்மை (99.999%க்கு மேல்):

பொதுவாக, உலோகங்கள் அல்லது சாம்பல் போன்ற அசுத்தங்கள் எபிடாக்சியல் செயல்முறையை மாசுபடுத்தும். வெட்கெமிகான் போன்ற உயர் தூய்மை கிராஃபைட் சசெப்டர் சப்ளையரைத் தேர்ந்தெடுப்பது குறைக்கடத்தி எபிலேயரில் குறைந்தபட்ச குறைபாடுகளை உறுதி செய்கிறது.

.  சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை:

உண்மையான செயலாக்கத்தின் போது, ​​கிராஃபைட் தகடுகள் சில வெப்ப அதிர்ச்சிகளைத் தாங்கி, விரைவான வெப்பநிலை சுழற்சிகளின் கீழ் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க முடியும். வெட்கெமெமிகான் உயர் அடர்த்தி கிராஃபைட் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இது சீரான திரைப்பட வளர்ச்சிக்கு முக்கியமானது.

.  சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு:

MOCVD செயல்முறை சூழலில், கிராஃபைட் பொதுவாக அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு (எ.கா., அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன்) வெளிப்படும். அதிக வெப்பநிலை அரிப்பு-எதிர்ப்பு MOCVD கிராஃபைட் தகடுகள் நன்றாக வடிவ கட்டமைப்பைக் கொண்டுள்ளன, அரிப்பைக் குறைத்து சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கின்றன.

.  உயர் செயல்திறன் இயந்திர வலிமை:

எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில், MOCVD கிராஃபைட் தட்டுகள் போரிடாமல் பல செதில்களை ஆதரிக்க வேண்டும். உண்மையான செயலாக்கத்தில் வெட்செமிகனின் புள்ளிவிவரங்களின்படி, தட்டின் விரிசலைத் தடுக்க கிராஃபைட் தட்டின் வளைக்கும் வலிமை ≥50 MPa ஆக இருக்க வேண்டும்.

Q3: MOCVD கிராஃபைட் தட்டுகளின் தேர்வை பயன்பாட்டு காட்சி எவ்வாறு பாதிக்கிறது?

வெவ்வேறு MOCVD செயல்முறைகளுக்கு வடிவமைக்கப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டு வடிவமைப்புகள் தேவை:

.  எல்.ஈ.டி/ஃபோட்டானிக்ஸின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி:

துகள் உற்பத்தியைக் குறைக்கவும், குறைபாடு இல்லாத அடுக்குகளை உறுதிப்படுத்தவும் எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டில் அல்ட்ரா-மென்மையான MOCVD கிராஃபைட் தகடுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

எடுத்துக்காட்டாக, வெட்கெமிகான் MOCVD கிராஃபைட் தகடுகள் (அல்லது MOCVD க்கான வெட்க்செமிகான் கிராஃபைட் தகடுகள்) GAN மற்றும் GAAS எபிடாக்ஸிக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன மற்றும் உகந்த வெப்ப நிர்வாகத்தை வழங்குகின்றன.

.  சக்தி குறைக்கடத்தி உற்பத்தி:

செமிகெரா செமிகண்டக்டரின் சோதனை புள்ளிவிவரங்களுடன் இணைந்து, மேம்பட்ட ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பைக் கொண்ட தட்டுகள் பொதுவாக சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்ஐசி) அல்லது காலியம் நைட்ரைடு (கான்) செயல்முறைகளுக்கு விரும்பப்படுகின்றன.

.  உயர்-செயல்திறன் உற்பத்தி:

மல்டி-வாஃபர் தட்டுகளுக்கு உலை வடிவமைப்போடு சீரமைக்க துல்லியமான செயலாக்கம் தேவைப்படுகிறது. நம்பகமான சப்ளையர் செமிகெரா செமிகண்டக்டரிலிருந்து தனிப்பயனாக்கக்கூடிய MOCVD கிராஃபைட் தட்டுகள் குறிப்பிட்ட கருவி உள்ளமைவுகளுடன் பொருந்தலாம்.

Q4: நம்பகமான MOCVD கிராஃபைட் தட்டு சப்ளையரைக் கண்டுபிடிப்பதற்கான முக்கிய பரிசீலனைகள் யாவை?

.  சான்றிதழ் மற்றும் சோதனை:

சப்ளையர் பொருள் சான்றிதழை (எ.கா. தூய்மை அறிக்கை, அடர்த்தி சோதனை) வழங்குகிறது என்பதை சரிபார்க்கவும் மற்றும் பிந்தைய செயலாக்க மேற்பரப்பு சிகிச்சையை வழங்குகிறது (எ.கா. போரோசிட்டியைக் குறைக்க பூச்சு). ஒரு முன்னணி சீன குறைக்கடத்தி பூச்சு மற்றும் எபிடாக்சியல் செயல்முறை உபகரணங்கள் உற்பத்தியாளராக, வெட்செமிகான் MOCVD கிராஃபைட் தகடுகள் கடுமையான வரம்பு சோதனைகளுக்காக அரசு துறைகளால் சான்றளிக்கப்பட்டுள்ளன, மேலும் அதன் தயாரிப்புகளின் தூய்மை மற்றும் அடர்த்தி சோதனை முடிவுகள் அதன் சகாக்களை விட மிகவும் முன்னால் உள்ளன.

.  தனிப்பயனாக்குதல் திறன்கள்:

உங்கள் உலை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய உயர் தூய்மை கிராஃபைட் சசெப்டர் சப்ளையர்கள் அளவு, துளை முறை மற்றும் பூச்சு ஆகியவற்றைத் தனிப்பயனாக்க வேண்டும். வெட்செமிகான் மற்றும் செமிகெரா செமிகண்டக்டர் இரண்டும் தொடர்புடைய தயாரிப்புகள் மற்றும் தொழில்நுட்பங்களின் தனிப்பயனாக்குதல் சேவை திறன்களைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் உங்கள் பல்வேறு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தேவைகளை பூர்த்தி செய்யும் திறன் கொண்டவை.

.  ஆயுட்காலம் மற்றும் செலவு செயல்திறன்:

மலிவான கிராஃபைட் வெளிப்படையான செலவுகளைச் சேமிக்க முடியும் என்றாலும், தாழ்வான கிராஃபைட் தகடுகள் அடிக்கடி மாற்று மற்றும் வேலையில்லா நேரத்திற்கு வழிவகுக்கும், இது சாதாரண உற்பத்தி செயல்திறனை கடுமையாக பாதிக்கும். வெட்கெமிகான் கிராஃபைட் தகடுகள் மற்றும் பிற தரமான தயாரிப்புகளைத் தேர்ந்தெடுப்பது உங்கள் வணிகத்திற்கு நீண்டகால நம்பகமான உற்பத்தியை அடைய உதவும்.

Q5: MOCVD கிராஃபைட் தட்டுகளின் சேவை வாழ்க்கையை எவ்வாறு நீட்டிப்பது?

.  ஆக்சிஜனேற்றத்தைத் தடுக்கவும்: வெப்பம்/குளிரூட்டும் சுழற்சிகளின் போது மந்த வாயு சுத்திகரிப்பு பயன்படுத்தவும்.

.  தவறாமல் சுத்தம் செய்யுங்கள்: டெபாசிட் செய்யப்பட்ட எச்சங்களை அகற்ற விலக்கு அல்லாத முறைகள் (உலர் பொறித்தல் போன்றவை) பயன்படுத்தவும்.

.  இயந்திர அழுத்தத்தைத் தவிர்க்கவும்: செதில் ஏற்றுதல்/இறக்குதல் போது தட்டில் கவனமாகக் கையாளவும்.

உங்களுக்கு வெட்கெமிகோனின் சிறந்த ஆலோசனை:

அதிக வெப்பநிலை அரிப்புக்கு எதிர்க்கும் MOCVD கிராஃபைட் தகடுகளுக்கு, குறைக்கடத்தி-தர பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்ற சப்ளையர்களுக்கு முன்னுரிமை அளிக்கவும்.

செயல்திறனை சரிபார்க்க உண்மையான செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ் மாதிரிகளை சோதிக்கவும்.

தீவிர சூழல்களில் ஆயுள் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்த மேம்பட்ட பூச்சுகளை (SIC பூச்சு, TAC பூச்சு போன்றவை) ஆராயுங்கள்.

SIC பூச்சு MOCVD கிராஃபைட் தட்டு பற்றிய கூடுதல் தகவலுக்கு, இங்கே கிளிக் செய்க.

TAC பூச்சு MOCVD கிராஃபைட் தட்டு பற்றிய கூடுதல் தகவலுக்கு, இங்கே கிளிக் செய்க.