செய்தி

VETEK பைரோலிடிக் கார்பன் (PyC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையங்கள் வெப்ப நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துவது, மாசுபாட்டைக் குறைப்பது மற்றும் SiC படிக வளர்ச்சி, எபிடாக்ஸி, CVD மற்றும் உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் கூறுகளின் ஆயுளை எவ்வாறு நீட்டிக்கிறது என்பதை அறிக.

CVD TaC பூச்சு எவ்வாறு SiC படிக வளர்ச்சி மற்றும் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியை அதி-உயர் வெப்ப நிலைத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு, தூய்மையற்ற ஒடுக்கம் மற்றும் MOCVD மற்றும் எபிடாக்ஸி பயன்பாடுகளில் சிறந்த செயல்திறன் ஆகியவற்றை மேம்படுத்துகிறது என்பதைக் கண்டறியவும்.

உயர்-டெம்ப் SiC எபிடாக்ஸி அமைப்புகளுக்கான முக்கிய Aixtron G10 கூறுகளைப் பாருங்கள். CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்கள், TaC பூச்சு கூறுகள் மற்றும் வெப்ப புல கட்டமைப்புகள் - மற்றும் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் செயல்முறை நிலைப்புத்தன்மை, தூய்மை கட்டுப்பாடு மற்றும் செதில் விளைச்சலுக்கு அவை எவ்வாறு உதவுகின்றன.