செய்தி

நவீன சிப் தயாரிப்பில், அடி மூலக்கூறு உடல் ஆதரவு மற்றும் வெப்பச் சிதறல் பாதையை வழங்குகிறது, அதே நேரத்தில் எபிடாக்சியல் அடுக்கு சாதனத்தின் மின் செயல்திறன் வரம்புகளை தீர்மானிக்கிறது. இந்தக் கட்டுரை ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் CVD/MBE எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளுக்கு இடையே உள்ள அடிப்படை வேறுபாடுகளின் ஆழமான பகுப்பாய்வை வழங்குகிறது. நீங்கள் ஒரு செயல்முறைப் பொறியியலாளராக இருந்தாலும் அல்லது கொள்முதல் முடிவெடுப்பவராக இருந்தாலும், மிகவும் பொருத்தமான செதில் தேர்வு உத்தியை விரைவாகக் கண்டறிய இந்த வழிகாட்டி உங்களுக்கு உதவும்.

MOCVD எபிடாக்ஸி கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்களில் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளின் விளிம்பு மஞ்சள் மற்றும் உரிக்கப்படுவதற்கான காரணங்கள் பற்றிய ஆழமான பகுப்பாய்வு. ஆரம்ப சிவிடி படிவு வீதம் மற்றும் ஓட்டப் புலத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தி, பூச்சு விளைச்சலை 50% முதல் 90% வரை அதிகரிப்பதன் மூலம் மற்றும் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் பாகங்களின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிப்பதன் மூலம் VeTek நுண்ணிய அழுத்தத்தை நீக்கியது.

மல்டி-பாக்கெட் சிலிக்கான் எபிடாக்சி கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்களில் 1.4% பாக்கெட்-டு-பாக்கெட் தடிமன் மாறுபாட்டை நிவர்த்தி செய்து, VeTek Semi susceptor flatness ஐ <0.08mmக்கு மேம்படுத்தியது மற்றும் CVD ஃப்ளோ ஃபீல்ட் சிமுலேஷன் மற்றும் அதி-துல்லியமான விளைச்சல் மூலம் 0.69% மாறுபாட்டைக் குறைத்தது.