செய்தி

சிலிக்கான் செதில்கள் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் அடித்தளமாகும். அவர்கள் ஒரு சுவாரஸ்யமான அம்சத்தைக் கொண்டுள்ளனர் - தட்டையான விளிம்புகள் அல்லது பக்கங்களில் சிறிய பள்ளங்கள் .இது ஒரு குறைபாடு அல்ல, ஆனால் வேண்டுமென்றே வடிவமைக்கப்பட்ட செயல்பாட்டு மார்க்கர். உண்மையில், இந்த உச்சநிலை முழு உற்பத்தி செயல்முறை முழுவதும் ஒரு திசைக் குறிப்பு மற்றும் அடையாளக் குறிப்பானாக செயல்படுகிறது.

இரசாயன மெக்கானிக்கல் பாலிஷ் (CMP) ரசாயன எதிர்வினைகள் மற்றும் இயந்திர சிராய்ப்பு ஆகியவற்றின் ஒருங்கிணைந்த செயல் மூலம் அதிகப்படியான பொருள் மற்றும் மேற்பரப்பு குறைபாடுகளை நீக்குகிறது. இது செதில் மேற்பரப்பின் உலகளாவிய திட்டமிடலை அடைவதற்கான ஒரு முக்கிய செயல்முறையாகும், மேலும் பல அடுக்கு தாமிர இணைப்புகள் மற்றும் குறைந்த-கே மின்கடத்தா கட்டமைப்புகளுக்கு இது இன்றியமையாதது. நடைமுறை உற்பத்தியில்

2025 ஆம் ஆண்டில், நவம்பர் 18-21 முதல் மியூனிச்சில் நடைபெறும் மிகப்பெரிய குறைக்கடத்தி வர்த்தக கண்காட்சி SEMICON Europa இல் ஐரோப்பிய குறைக்கடத்தி தொழில் மீண்டும் சந்திக்கும்.

சிலிக்கான் வேஃபர் CMP (கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பிளானரைசேஷன்) பாலிஷ் ஸ்லரி என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகள் (ICs) மற்றும் மைக்ரோசிப்களை உருவாக்கப் பயன்படும் சிலிக்கான் செதில்கள் - உற்பத்தியின் அடுத்த கட்டங்களுக்குத் தேவையான மென்மையின் சரியான நிலைக்கு மெருகூட்டப்படுவதை உறுதி செய்வதில் இது முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பிளானரைசேஷன் (சிஎம்பி) முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. CMP செயல்முறை சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பை மென்மையாக்குவதற்கு இரசாயன மற்றும் இயந்திர நடவடிக்கைகளை ஒருங்கிணைக்கிறது, இது மெல்லிய-பட படிவு மற்றும் பொறித்தல் போன்ற அடுத்தடுத்த படிகளுக்கு ஒரு சீரான அடித்தளத்தை வழங்குகிறது. CMP மெருகூட்டல் குழம்பு, இந்த செயல்முறையின் முக்கிய அங்கமாக, பாலிஷ் செயல்திறன், மேற்பரப்பு தரம் மற்றும் உற்பத்தியின் இறுதி செயல்திறன் ஆகியவற்றை கணிசமாக பாதிக்கிறது.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் CMP செயல்முறையில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட திரவப் பொருளாகும். இது நீர், இரசாயன செதுக்கல்கள், உராய்வுகள் மற்றும் சர்பாக்டான்ட்களைக் கொண்டுள்ளது, இது இரசாயன பொறித்தல் மற்றும் இயந்திர மெருகூட்டல் இரண்டையும் செயல்படுத்துகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு உராய்வுகள் பொதுவாக குவார்ட்ஸ் மற்றும் பெட்ரோலியம் கோக்கை முதன்மை மூலப்பொருளாகப் பயன்படுத்தி உற்பத்தி செய்யப்படுகின்றன. ஆயத்த கட்டத்தில், இந்த பொருட்கள் வேதியியல் ரீதியாக உலைக் கட்டணத்தில் விகிதாச்சாரத்திற்கு முன் விரும்பிய துகள் அளவை அடைய இயந்திர செயலாக்கத்திற்கு உட்படுகின்றன.

கடந்த சில ஆண்டுகளில், பேக்கேஜிங் தொழில்நுட்பத்தின் மைய நிலை படிப்படியாக "பழைய தொழில்நுட்பம்" - CMP (கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷிங்) க்கு ஒப்படைக்கப்பட்டது. ஹைப்ரிட் பாண்டிங் புதிய தலைமுறை மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்கின் முன்னணி பாத்திரமாக மாறும் போது, ​​CMP படிப்படியாக திரைக்குப் பின்னால் இருந்து கவனத்தை ஈர்க்கிறது.

வீடு மற்றும் சமையலறை உபகரணங்களின் எப்போதும் வளர்ந்து வரும் உலகில், ஒரு தயாரிப்பு சமீபத்தில் அதன் புதுமை மற்றும் நடைமுறை பயன்பாட்டிற்காக குறிப்பிடத்தக்க கவனத்தைப் பெற்றுள்ளது - குவார்ட்ஸ் தெர்மோஸ் பக்கெட்

குவார்ட்ஸ் தயாரிப்புகள் அவற்றின் அதிக தூய்மை, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் வலுவான வேதியியல் நிலைத்தன்மை காரணமாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்.ஐ.சி) படிக வளர்ச்சி உலைகள் அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கு உயர் செயல்திறன் கொண்ட எஸ்.ஐ.சி செதில்களை உருவாக்குவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. இருப்பினும், உயர்தர எஸ்.ஐ.சி படிகங்களை வளர்ப்பதற்கான செயல்முறை குறிப்பிடத்தக்க சவால்களை முன்வைக்கிறது. தீவிர வெப்ப சாய்வுகளை நிர்வகிப்பதில் இருந்து படிக குறைபாடுகளைக் குறைத்தல், சீரான வளர்ச்சியை உறுதி செய்தல் மற்றும் உற்பத்தி செலவுகளைக் கட்டுப்படுத்துதல் வரை, ஒவ்வொரு அடியிலும் மேம்பட்ட பொறியியல் தீர்வுகள் தேவை. இந்த கட்டுரை SIC படிக வளர்ச்சி உலைகளின் தொழில்நுட்ப சவால்களை பல கண்ணோட்டங்களிலிருந்து பகுப்பாய்வு செய்யும்.

ஸ்மார்ட் கட் என்பது அயன் உள்வைப்பு மற்றும் செதில் அகற்றுதலை அடிப்படையாகக் கொண்ட ஒரு மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையாகும், இது குறிப்பாக அதி-மெல்லிய மற்றும் மிகவும் சீரான 3 சி-சிக் (கியூபிக் சிலிக்கான் கார்பைடு) செதில்களின் உற்பத்திக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது அல்ட்ரா-மெல்லிய படிகப் பொருட்களை ஒரு அடி மூலக்கூறிலிருந்து இன்னொரு இடத்திற்கு மாற்றலாம், இதன் மூலம் அசல் உடல் வரம்புகளை மீறி முழு அடி மூலக்கூறு தொழிற்துறையையும் மாற்றலாம்.

உயர்தர மற்றும் அதிக மகசூல் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளைத் தயாரிப்பதில், மையத்திற்கு நல்ல வெப்ப புலப் பொருட்களால் உற்பத்தி வெப்பநிலையின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது. தற்போது, ​​முக்கியமாக பயன்படுத்தப்படும் வெப்ப புலம் சிலுவை கருவிகள் உயர் தூய்மை கிராஃபைட் கட்டமைப்பு கூறுகள் ஆகும், இதன் செயல்பாடுகள் உருகிய கார்பன் தூள் மற்றும் சிலிக்கான் தூள் ஆகியவற்றை சூடாக்குவதோடு வெப்பத்தை பராமரிப்பதும் ஆகும்.

மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திகளை நீங்கள் காணும்போது, ​​முதல் மற்றும் இரண்டாம் தலைமுறையினர் என்ன என்று நீங்கள் நிச்சயமாக ஆச்சரியப்படுவீர்கள். இங்கே "தலைமுறை" குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்களின் அடிப்படையில் வகைப்படுத்தப்பட்டுள்ளது.

எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் (ஈ.எஸ்.சி), எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் (ஈ.எஸ்.சி, ஈ-சக்) என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, இது ஒரு அங்கமாகும், இது எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் உறிஞ்சுதலின் கொள்கையை அட்ஸார்பெட் பொருளைப் பிடிக்கவும் சரிசெய்யவும் பயன்படுத்துகிறது. இது வெற்றிட மற்றும் பிளாஸ்மா சூழல்களுக்கு ஏற்றது.

SIC WAFER கேரியர்கள், மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி தொழில் சங்கிலியின் முக்கிய நுகர்பொருட்களாக, அவற்றின் தொழில்நுட்ப பண்புகள் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி மற்றும் சாதன உற்பத்தியின் விளைச்சலை நேரடியாக பாதிக்கின்றன. 5 ஜி அடிப்படை நிலையங்கள் மற்றும் புதிய எரிசக்தி வாகனங்கள் போன்ற தொழில்களில் அதிக மின்னழுத்த மற்றும் உயர் வெப்பநிலை சாதனங்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால், எஸ்.ஐ.சி செதில் கேரியர்களின் ஆராய்ச்சி மற்றும் பயன்பாடு இப்போது குறிப்பிடத்தக்க வளர்ச்சி வாய்ப்புகளை எதிர்கொள்கிறது.