எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் (ஈ.எஸ்.சி) என்றால் என்ன?

.. ESC தயாரிப்பு வரையறை

எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் (சுருக்கமாக ESC) என்பது ஒரு சாதனமாகும், இது மின்னியல் சக்தியைப் பயன்படுத்துகிறது மற்றும் சரிசெய்யவும் சரிசெய்யவும்சிலிக்கான் செதில்கள்அல்லதுபிற அடி மூலக்கூறுகள். குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் வெற்றிட சூழலில் பிளாஸ்மா பொறித்தல் (பிளாஸ்மா பொறித்தல்), வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி), உடல் நீராவி படிவு (பி.வி.டி) மற்றும் பிற செயல்முறை இணைப்புகளில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

பாரம்பரிய இயந்திர சாதனங்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ஈ.எஸ்.சி இயந்திர மன அழுத்தம் மற்றும் மாசுபாடு இல்லாமல் செதில்களை உறுதியாக சரிசெய்யலாம், செயலாக்க துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தலாம், மேலும் உயர் துல்லியமான குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளின் முக்கிய உபகரண கூறுகளில் ஒன்றாகும்.

.. தயாரிப்பு வகைகள் (எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்ஸின் வகைகள்)

கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு, மின்முனை பொருட்கள் மற்றும் உறிஞ்சுதல் முறைகள் ஆகியவற்றின் படி எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்ஸை பின்வரும் வகைகளாக பிரிக்கலாம்:

1. மோனோபோலார் எஸ்க்

கட்டமைப்பு: ஒரு எலக்ட்ரோடு அடுக்கு + ஒரு தரை விமானம்

அம்சங்கள்: ஒரு இன்சுலேடிங் ஊடகமாக துணை ஹீலியம் (HE) அல்லது நைட்ரஜன் (N₂) தேவை

விண்ணப்பம்: SiO₂ மற்றும் Si₃n₄ போன்ற உயர் மின்மறுப்பு பொருட்களை செயலாக்க ஏற்றது

2. இருமுனை ESC

கட்டமைப்பு: இரண்டு மின்முனைகள், நேர்மறை மற்றும் எதிர்மறை மின்முனைகள் முறையே பீங்கான் அல்லது பாலிமர் அடுக்கில் பதிக்கப்பட்டுள்ளன

அம்சங்கள்: இது கூடுதல் ஊடகங்கள் இல்லாமல் வேலை செய்ய முடியும் மற்றும் நல்ல கடத்துத்திறன் கொண்ட பொருட்களுக்கு ஏற்றது

நன்மைகள்: வலுவான உறிஞ்சுதல் மற்றும் விரைவான பதில்

3. வெப்பக் கட்டுப்பாடு (அவர் பின்புற குளிரூட்டும் ESC)

செயல்பாடு: பின்புற குளிரூட்டும் முறையுடன் (பொதுவாக ஹீலியம்) இணைந்து, செதில்களை சரிசெய்யும்போது வெப்பநிலை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது

பயன்பாடு: பிளாஸ்மா பொறித்தல் மற்றும் பொறிப்பு ஆழத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த வேண்டிய செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது

4. பீங்கான் எஸ்க்பொருள்: 

அலுமினிய ஆக்சைடு (அலோனோ), அலுமினிய நைட்ரைடு (ALN) மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si₃n₄) போன்ற உயர் காப்பு பீங்கான் பொருட்கள் பொதுவாக பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

அம்சங்கள்: அரிப்பு எதிர்ப்பு, சிறந்த காப்பு செயல்திறன் மற்றும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன்.

Iii. குறைக்கடத்தி புனையலில் ESC இன் பயன்பாடுகள் 

1. பிளாஸ்மா பொறித்தல் ஈ.எஸ்.சி எதிர்வினை அறையில் செதுவை சரிசெய்து, மீண்டும் குளிரூட்டலை உணர்ந்து, ± 1 between க்குள் செதில் வெப்பநிலையை கட்டுப்படுத்துகிறது, இதன் மூலம் பொறித்தல் வீத சீரான தன்மை (குறுவட்டு சீரான தன்மை) ± 3%க்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது.

2. வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) ஈ.எஸ்.சி அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் செதில்களின் நிலையான உறிஞ்சுதலை அடைய முடியும், வெப்ப சிதைவை திறம்பட அடக்குகிறது, மேலும் மெல்லிய திரைப்பட படிவுகளின் சீரான தன்மையையும் ஒட்டுதலையும் மேம்படுத்தலாம்.

3. இயற்பியல் நீராவி படிவு (பி.வி.டி) ஈ.எஸ்.சி இயந்திர அழுத்தத்தால் ஏற்படும் செதில் சேதத்தைத் தடுக்க தொடர்பு இல்லாத நிர்ணயத்தை வழங்குகிறது, மேலும் இது தீவிர மெல்லிய செதில்களை (<150μm) செயலாக்குவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானது.

4. அயன் உள்வைப்பு வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு மற்றும் ஈ.எஸ்.சி.யின் நிலையான கிளாம்பிங் திறன்கள் கட்டணம் குவிப்பு காரணமாக செதில் மேற்பரப்பில் உள்ளூர் சேதத்தைத் தடுக்கின்றன, இதனால் உள்வைப்பு டோஸ் கட்டுப்பாட்டின் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது.

5. மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் சிப்லெட்டுகள் மற்றும் 3 டி ஐசி பேக்கேஜிங், ஈ.எஸ்.சி மறுவிநியோக அடுக்குகள் (ஆர்.டி.எல்) மற்றும் லேசர் செயலாக்கத்திலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது தரமற்ற செதில் அளவுகளை செயலாக்குவதை ஆதரிக்கிறது.

IV. முக்கிய தொழில்நுட்ப சவால்கள் 

1.. படை சீரழிவு சிக்கல் விளக்கம்: 

நீண்ட கால செயல்பாட்டிற்குப் பிறகு, எலக்ட்ரோடு வயதான அல்லது பீங்கான் மேற்பரப்பு மாசுபாடு காரணமாக, ஈ.எஸ்.சி ஹோல்டிங் சக்தி குறைகிறது, இதனால் செதில் மாறுகிறது அல்லது விழும்.

தீர்வு: பிளாஸ்மா சுத்தம் மற்றும் வழக்கமான மேற்பரப்பு சிகிச்சையைப் பயன்படுத்துங்கள்.

2. எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் வெளியேற்றம் (ஈ.எஸ்.டி) ஆபத்து: 

உயர் மின்னழுத்த சார்பு உடனடி வெளியேற்றத்தை ஏற்படுத்தக்கூடும், செதில் அல்லது உபகரணங்களை சேதப்படுத்தும்.

எதிர் நடவடிக்கைகள்: பல அடுக்கு மின்முனை காப்பு கட்டமைப்பை வடிவமைத்து, ESD அடக்குமுறை சுற்று கட்டமைக்கவும்.

3. வெப்பநிலை சீரான தன்மை அல்லாத காரணம்: 

ESC இன் பின்புறத்தின் சீரற்ற குளிரூட்டல் அல்லது மட்பாண்டங்களின் வெப்ப கடத்துத்திறனில் வேறுபாடு.

தரவு: வெப்பநிலை விலகல் ± 2 than ஐ தாண்டியதும், இது> ± 10%பொறிக்கும் ஆழம் விலகலை ஏற்படுத்தக்கூடும்.

தீர்வு: உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மட்பாண்டங்கள் (ஏ.எல்.என் போன்றவை) அதிக துல்லியத்துடன் அவர் அழுத்தம் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு (0–15 டோர்).

4. படிவு மாசுபடுத்தல்: 

செயல்முறை எச்சங்கள் (CF₄, SIH₄ சிதைவு தயாரிப்புகள் போன்றவை) ESC இன் மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்யப்படுகின்றன, இது உறிஞ்சுதல் திறனை பாதிக்கிறது.

எதிர்நிலை: பிளாஸ்மா இன்-சிட்டு துப்புரவு தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துங்கள் மற்றும் 1,000 செதில்களை இயக்கிய பிறகு வழக்கமான சுத்தம் செய்யுங்கள்.

வி. பயனர்களின் முக்கிய தேவைகள் மற்றும் கவலைகள்