குவார்ட்ஸ் படகு என்றால் என்ன?

குவார்ட்ஸ் படகு என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய தாங்கி அங்கமாகும், இது முக்கியமாக பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் வருடாந்திர போன்ற செதில்களின் உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கத்திற்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதன் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, குறைந்த மாசு பண்புகள் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவை குறைக்கடத்தி துறையில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத பொருளாக அமைகின்றன. இந்த கட்டுரை குவார்ட்ஸ் படகு மற்றும் பி.இ.சி.வி.டி கிராஃபைட் படகு ஆகியவற்றுக்கு இடையிலான பொருள், இயற்பியல் பண்புகள், வகைப்பாடு, பயன்பாட்டு காட்சிகள் மற்றும் வேறுபாடுகள் குறித்து விரிவாகக் கூறும்.

Ⅰ. குவார்ட்ஸ் படகின் பொருள்

குவார்ட்ஸ் கேரியரின் முக்கிய கூறு உயர் தூய்மை சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (SIO₂) ஆகும், மேலும் தூய்மை பொதுவாக 99.99% க்கும் அதிகமாக (குறைக்கடத்தி தரம்) அடைய வேண்டும். இந்த உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் பொருள், குவார்ட்ஸ் கேரியர் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்தாது என்பதை உறுதி செய்கிறது.

தயாரிப்பு செயல்முறையின்படி, குவார்ட்ஸ் பொருட்களை இரண்டு வகைகளாக பிரிக்கலாம்:

● இயற்கை குவார்ட்ஸ்: படிக சுத்திகரிப்பிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, அதிக ஹைட்ராக்சைல் உள்ளடக்கம் (சுமார் 100-200 பிபிஎம்), குறைந்த செலவு, ஆனால் அதிக வெப்பநிலை திடீர் மாற்றங்களுக்கு பலவீனமான சகிப்புத்தன்மை.

● செயற்கை குவார்ட்ஸ்.

கூடுதலாக, சில குவார்ட்ஸ் படகுகள் டைட்டானியம் (TI) அல்லது அலுமினியம் (AL) போன்ற உலோகங்களுடன் சிதைவு எதிர்ப்பை மேம்படுத்துகின்றன, அல்லது புற ஊதா செயல்முறைகளின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய ஒளி பரிமாற்றத்தை சரிசெய்கின்றன.

Ⅱ. குவார்ட்ஸ் படகுகளின் முக்கிய இயற்பியல் பண்புகள் யாவை?

வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: குவார்ட்ஸின் உருகும் புள்ளி 1713 ° C வரை அதிகமாக உள்ளது, மேலும் இது நீண்ட காலத்திற்கு 1200 ° C க்கு நிலையானதாக வேலை செய்யலாம் மற்றும் குறுகிய காலத்திற்கு 1500 ° C ஐ தாங்கும்.

வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: வெப்ப விரிவாக்க குணகம் 0.55 × 10⁻⁶/. C மட்டுமே. இந்த சிறந்த செயல்திறன் அதிக வெப்பநிலையில் பரிமாண நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது மற்றும் வெப்ப மன அழுத்தத்தால் விரிசலைத் தவிர்க்கிறது.

● வேதியியல் செயலற்ற தன்மை.

● மின் காப்பு: பிளாஸ்மா செயல்முறையின் மின்சார புல விநியோகத்தில் தலையிடுவதைத் தவிர்த்து, எதிர்ப்புத் தன்மை 10⁶ω · செ.மீ வரை அதிகமாக உள்ளது.

Light ஒளி பரிமாற்றம்: புற ஊதா முதல் அகச்சிவப்பு இசைக்குழுவுக்கு (＞ 90%) சிறந்த பரிமாற்றம், ஒளி உதவி செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது (புற ஊதா குணப்படுத்துதல் போன்றவை).

Iii. குவார்ட்ஸ் படகுகளின் வகைப்பாடு

வெவ்வேறு வடிவமைப்பு கட்டமைப்புகள் மற்றும் பயன்பாட்டு காட்சிகளின்படி, குவார்ட்ஸ் படகுகளை பின்வரும் வகைகளாக பிரிக்கலாம்:

● கிடைமட்ட குவார்ட்ஸ் படகு

கிடைமட்ட குழாய் உலைகளுக்கு (கிடைமட்ட பரவல் உலை) பொருந்தும், இது ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், வருடாந்திர மற்றும் பிற செயல்முறைகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.

அம்சங்கள்: 100-200 செதில்களை எடுத்துச் செல்லலாம், பொதுவாக திறந்த அல்லது அரை மூடப்பட்ட வடிவமைப்பைக் கொண்டு.

● செங்குத்து குவார்ட்ஸ் படகு

எல்பிசிவிடி செயல்முறைகள், ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் வருடாந்திர செயல்முறைகளுக்கு பயன்படுத்தப்படும் செங்குத்து உலைகளுக்கு (செங்குத்து உலை) பொருந்தும்.

அம்சங்கள்: மேலும் கச்சிதமான அமைப்பு, செதில் சுமக்கும் திறனை அதிகரிக்கும், மேலும் செயல்பாட்டின் போது துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்கும்.

● தனிப்பயனாக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் படகு

வெவ்வேறு செயல்முறை தேவைகளின்படி வடிவமைக்கப்பட்ட, ஒற்றை செதில் ஆதரவு அல்லது சிறப்பு கிளாம்பிங் கட்டமைப்பு செதில் செயலாக்க விளைவுகளை மேம்படுத்த பயன்படுத்தப்படலாம்.

சீனாவில் ஒரு முன்னணி குவார்ட்ஸ் படகு உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையராக,உங்கள் உண்மையான தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் கேரியர் தயாரிப்புகளை வெட்கெமிகான் வடிவமைத்து தயாரிக்க முடியும். மேலும் தயாரிப்பு விவரங்களுக்கு, தயவுசெய்து பார்க்கவும்:

IV. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் குவார்ட்ஸ் படகின் பயன்பாட்டு காட்சிகள் யாவை?

குவார்ட்ஸ் படகுகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் பல முக்கிய செயல்முறை இணைப்புகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, முக்கியமாக பின்வரும் பயன்பாட்டு காட்சிகள் உட்பட:

4.1 வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம்

Process செயல்முறை விளக்கம்: சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (SIO₂) படத்தை உருவாக்க அதிக வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜன் அல்லது நீர் நீராவி சூழலில் செதில் சூடாகிறது.

Qu குவார்ட்ஸ் படகின் அம்சங்கள்:

1) அதிக வெப்ப எதிர்ப்பு, 1000 ~ 1200. C அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும்.

2) வேதியியல் செயலற்ற தன்மை, குவார்ட்ஸ் படகுகள் வலுவான அமிலங்கள், வலுவான காரங்கள் மற்றும் மிகவும் அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு எதிர்க்கின்றன, எனவே இது ஆக்சைடு படத்தின் தரத்தை பாதிப்பதைத் தவிர்க்கலாம்.

4.2 பரவல் செயல்முறை

● செயல்முறை விளக்கம்: அசுத்தங்கள் (பாஸ்பரஸ் மற்றும் போரான் போன்றவை) சிலிக்கான் செதிலில் அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் ஒரு ஊக்கமருந்து அடுக்கை உருவாக்குகின்றன.

● குவார்ட்ஸ் படகு அம்சங்கள்:

1) குறைந்த மாசுபாடு, உலோக மாசுபாட்டை ஊக்கமருந்து செறிவு விநியோகத்தை பாதிப்பதைத் தடுக்கிறது.

2) அதிக வெப்ப நிலைத்தன்மை, வெப்ப விரிவாக்க குணகம் 0.55 × 10⁻⁶/° C மட்டுமே, ஒரு சீரான பரவல் செயல்முறையை உறுதி செய்கிறது.

4.3 அனீலிங் செயல்முறை

Process செயல்முறை விளக்கம்: மன அழுத்தத்தை அகற்ற, பொருள் படிக கட்டமைப்பை மேம்படுத்த அல்லது அயன் உள்வைப்பு அடுக்கை செயல்படுத்த அதிக வெப்பநிலை சிகிச்சை பயன்படுத்தப்படுகிறது.

● குவார்ட்ஸ் படகு அம்சங்கள்:

1) 1713 ° C வரை உருகும் இடத்துடன், வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் விரிசலைத் தவிர்ப்பதற்காக விரைவான வெப்பத்தையும் குளிரூட்டலையும் தாங்கும்.

2) சீரான வெப்பத்தை உறுதிப்படுத்த துல்லியமான அளவு கட்டுப்பாடு.

4.4 குறைந்த அழுத்த வேதியியல் நீராவி படிவு (எல்பிசிவிடி)

Process செயல்முறை விளக்கம்: குறைந்த அழுத்த சூழலில், சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si₃n₄) போன்ற ஒரு சீரான மெல்லிய படம் ஒரு வாயு கட்ட எதிர்வினை மூலம் உருவாகிறது.

Qu குவார்ட்ஸ் படகின் அம்சங்கள்:

1) செங்குத்து உலை குழாய்களுக்கு ஏற்றது, திரைப்பட படிவு சீரான தன்மையை மேம்படுத்தலாம்.

2) குறைந்த துகள் மாசுபாடு, திரைப்பட தரத்தை மேம்படுத்துதல்.

Ⅴ. குவார்ட்ஸ் படகுக்கும் பெக்க்விடி கிராஃபைட் படகுக்கும் இடையிலான வேறுபாடுகள் என்ன?

வழக்கமான வேறுபாடு காட்சிகள்:

● PECVD செயல்முறை: கிராஃபைட் படகுகள் பிளாஸ்மா சீரான தன்மையை அவற்றின் கடத்துத்திறன் காரணமாக மேம்படுத்தலாம், மேலும் குறைந்த வெப்பநிலை சூழல்களில் (300-400 ° C) குவார்ட்ஸின் அதிக வெப்பநிலை செயல்திறன் தேவையில்லை.

வெப்பநிலை அதிக வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற உலை: வெட்க்செமிகான் குவார்ட்ஸ் படகுகள் அவற்றின் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பிற்கு ஈடுசெய்ய முடியாதவை, அதே நேரத்தில் ஆக்ஸிஜன் சூழலில் அதிக வெப்பநிலையில் CO/CO₂ ஐ உருவாக்க கிராஃபைட் எளிதில் ஆக்ஸிஜனேற்றப்படுகிறது, இது அறையை மாசுபடுத்துகிறது.