க்யு ஆர் குறியீடு

எங்களை பற்றி
தயாரிப்புகள்
எங்களை தொடர்பு கொள்ள
தொலைபேசி
தொலைநகல்
+86-579-87223657
மின்னஞ்சல்
முகவரி
வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுய் கவுண்டி, ஜின்ஹுவா சிட்டி, ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா
முக்கிய பொருள்PECVD கிராஃபைட் படகு(பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு கிராஃபைட் படகு) அதிக தூய்மையால் ஆனதுஐசோட்ரோபிக் கிராஃபைட் பொருள். உயர் தூய்மை கிராஃபைட் அதன் சிறந்த மின் கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் (80 ~ 150 W/m · K) காரணமாக PECVD அமைப்புகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இதுஉயர் தூய்மை கிராஃபைட் பொருள்அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் நல்ல கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மை மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும், மேலும் எதிர்வினை வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாவிலிருந்து அரிப்பை எதிர்க்கும்.
PECVD கிராஃபைட் படகுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் பின்வருமாறு:
. மின் கடத்துத்திறன்.
. வெப்ப கடத்துத்திறன்: கிராஃபைட்டின் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் (சுமார் 80 ~ 150 w/m · K) PECVD செயல்பாட்டின் போது நிலையான வெப்பநிலை சூழலை பராமரிக்க உதவுகிறது மற்றும் மெல்லிய படங்களின் சீரான படிவுகளை உறுதிப்படுத்த உதவுகிறது.
. அடர்த்தி: வணிக பாலிகிரிஸ்டலின் கிராஃபைட்டின் அடர்த்தி 1.30 கிராம்/செ.மீருவிலிருந்து 1.88 கிராம்/சி.எம். அதிக அடர்த்தி, சிறந்த உடல் மற்றும் இயந்திர பண்புகள், இது உற்பத்தியின் சேவை வாழ்க்கையை மேம்படுத்த முடியும்.
சாதாரண கிராஃபைட் படகுகளுடன் ஒப்பிடும்போது, PECVD கிராஃபைட் படகுகள் பின்வரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன:
பரிமாணங்கள்
PECVD கிராஃபைட் படகு
சாதாரண கிராஃபைட் படகு
தூய்மை மற்றும் அடர்த்தி
≥99.99%, போரோசிட்டி <5%
குறைந்த தூய்மை (95 ~ 99%), அதிக போரோசிட்டி (> 10%)
செலவு
அதிக ஆரம்ப செலவு, ஆனால் குறைந்த விரிவான பராமரிப்பு செலவு
குறைந்த ஆரம்ப செலவு, ஆனால் அடிக்கடி மாற்றுவது மொத்த செலவை அதிகரிக்கிறது
மாசு கட்டுப்பாடு
தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் <1ppm, குறைந்த துகள் உதிர்தல் வீதம்
அதிக உலோக அசுத்தங்கள், துகள் மாசுபாட்டின் அதிக ஆபத்து
அரிப்பு எதிர்ப்பு
பிளாஸ்மா/வேதியியல் அரிப்புக்கு எதிராக பூச்சு பாதுகாப்பு
எதிர்வினை வாயுக்களால் எளிதில் சிதைக்கப்படுகிறது (Cl₂, O₂ போன்றவை)
செயல்முறை பொருந்தக்கூடிய தன்மை
குறைந்த வெப்பநிலை, உயர் ஆற்றல் பிளாஸ்மா சூழலுக்கு ஏற்றது
உயர் வெப்பநிலை சி.வி.டி அல்லது பரவல் செயல்முறைகளுக்கு மட்டுமே பொருத்தமானது
ஆயுட்காலம்
> 1000 செயல்முறை சுழற்சிகள் (பூச்சு தோல்வியடையவில்லை)
< 500 சுழற்சிகளுக்குப் பிறகு தூள் மற்றும் விரிசல்
நாம் அனைவரும் அறிந்தபடி, வெட்செமிகான் ஒரு முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் குறைக்கடத்தி பூச்சு தயாரிப்புகளின் சப்ளையர் மற்றும்கிராஃபைட் தயாரிப்புகள்சீனாவில். எங்கள்PECVD கிராஃபைட் படகுகள்முக்கியமாக குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த தொழில்களில், குறிப்பாக PECVD மற்றும் CVD செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
கிராஃபைட் படகுகள் வழக்கமாக சிலிக்கான் செதில்கள் அல்லது பிற பொருட்களை எடுத்துச் செல்ல கேரியர்களாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் பிளாஸ்மா சூழல்களில் இந்த பொருட்களின் பாதுகாப்பான கையாளுதல் மற்றும் போக்குவரத்தை உறுதி செய்கின்றன. எடுத்துக்காட்டாக, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில், வெட்க்செமிகனின் பி.இ.சி.வி.டி கிராஃபைட் படகுகள் பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. கிராஃபைட் படகு சிலிக்கான் நைட்ரைடு (பாவம்) செயலற்ற அடுக்குகள் மற்றும் குறைந்த மின்கடத்தா மாறிலி (குறைந்த-கே) படங்களை டெபாசிட் செய்யும் பாத்திரத்தை வகிக்கிறது.
ஒளிமின்னழுத்த புலத்தில், சிலிக்கான் அடிப்படையிலான மெல்லிய-திரைப்பட சூரிய மின்கலங்கள் (உருவமற்ற சிலிக்கான் ஏ-சி: எச் போன்றவை) மற்றும் பெர்க் செல் பின் செயலற்ற அடுக்குகளை தயாரிக்க பி.இ.சி.வி.டி கிராஃபைட் படகுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. வெடெக்செமிகானின் பி.இ.சி.வி.டி கிராஃபைட் படகு சிலிக்கான் செதில்களை திறம்பட இடைவெளி செய்வதன் மூலமும், சீரான பூச்சு படிவுகளை அடைய பளபளப்பான வெளியேற்றத்தைத் தூண்டுவதன் மூலமும் பூச்சு செயல்முறையை மேம்படுத்துகிறது.
மிக முக்கியமாக, வெட்கெமிகான் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்புகள் மற்றும் தொழில்நுட்ப சேவைகளை வழங்க முடியும், மேலும் உங்கள் உண்மையான செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப வெவ்வேறு விவரக்குறிப்புகளின் கிராஃபைட் படகு தயாரிப்புகளை வடிவமைத்து உற்பத்தி செய்யலாம். வெட்கெமிகானைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த தொழில்களில் வலுவான வலிமையுடன் ஒரு தொழில் தலைவரைத் தேர்ந்தெடுப்பதாகும். உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக மாறுவதற்கு நாங்கள் உண்மையிலேயே எதிர்நோக்குகிறோம்.
+86-579-87223657
வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுய் கவுண்டி, ஜின்ஹுவா சிட்டி, ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா
பதிப்புரிமை © 2024 வெடெக் செமிகண்டக்டர் டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட். அனைத்து உரிமைகளும் பாதுகாக்கப்பட்டவை.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |