போரஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) பீங்கான் தகடுகள்: குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் உயர் செயல்திறன் கொண்ட பொருட்கள்

.. நுண்ணிய SIC பீங்கான் தட்டு என்றால் என்ன?

போரஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் தட்டு என்பது சிறப்பு செயல்முறைகளால் (நுரைத்தல், 3 டி அச்சிடுதல் அல்லது துளை உருவாக்கும் முகவர்களைச் சேர்ப்பது போன்றவை) சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) ஆல் செய்யப்பட்ட ஒரு நுண்ணிய கட்டமைப்பு பீங்கான் பொருளாகும். அதன் முக்கிய அம்சங்கள் பின்வருமாறு:

● கட்டுப்படுத்தக்கூடிய போரோசிட்டி: 30% -70% வெவ்வேறு பயன்பாட்டு காட்சிகளின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய சரிசெய்யக்கூடியது.

● சீரான துளை அளவு விநியோகம்: வாயு/திரவ பரிமாற்ற நிலைத்தன்மையை உறுதிசெய்க.

● இலகுரக வடிவமைப்பு: உபகரணங்கள் ஆற்றல் நுகர்வு குறைத்தல் மற்றும் இயக்க செயல்திறனை மேம்படுத்துதல்.

Ⅱ.பைவ் கோர் இயற்பியல் பண்புகள் மற்றும் நுண்ணிய SIC பீங்கான் தகடுகளின் பயனர் மதிப்பு

1. உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப மேலாண்மை (முக்கியமாக உபகரணங்கள் வெப்ப செயலிழப்பின் சிக்கலை தீர்க்க)

வெப்பநிலை வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: தொடர்ச்சியான வேலை வெப்பநிலை 1600 ° C ஐ அடைகிறது (அலுமினா மட்பாண்டங்களை விட 30% அதிகம்).

செயல்திறன் வெப்ப கடத்துத்திறன்: வெப்ப கடத்துத்திறன் குணகம் 120 W/(M · K), வேகமான வெப்ப சிதறல் உணர்திறன் கூறுகளை பாதுகாக்கிறது.

● அல்ட்ரா-லோ வெப்ப விரிவாக்கம்: வெப்ப விரிவாக்க குணகம் 4.0 × 10⁻⁶/° C மட்டுமே ஆகும், இது தீவிர உயர் வெப்பநிலையின் கீழ் செயல்பாட்டிற்கு ஏற்றது, அதிக வெப்பநிலை சிதைவை திறம்பட தவிர்க்கிறது.

2. வேதியியல் ஸ்திரத்தன்மை (அரிக்கும் சூழல்களில் பராமரிப்பு செலவுகளைக் குறைத்தல்)

● வலுவான அமிலங்கள் மற்றும் காரங்களை எதிர்க்கும்: HF மற்றும் H₂SO₄ போன்ற அரிக்கும் ஊடகங்களைத் தாங்க முடியும்

● பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு எதிர்ப்பு: உலர்ந்த பொறித்தல் உபகரணங்களில் வாழ்க்கை 3 முறைக்கு மேல் அதிகரிக்கப்படுகிறது

3. இயந்திர வலிமை (உபகரணங்களை நீட்டித்தல்)

● அதிக கடினத்தன்மை: MOHS கடினத்தன்மை 9.2 வரை அதிகமாக உள்ளது, மேலும் துருப்பிடிக்காத எஃகு விட உடைகள் எதிர்ப்பு சிறந்தது

● வளைக்கும் வலிமை: 300-400 எம்.பி.ஏ, போரிடாமல் செதில்களை ஆதரிக்கிறது

4. நுண்ணிய கட்டமைப்புகளின் செயல்பாடு (செயல்முறை விளைச்சலை மேம்படுத்துதல்)

● சீரான எரிவாயு விநியோகம்: சி.வி.டி செயல்முறை திரைப்பட சீரான தன்மை 98%ஆக உயர்த்தப்பட்டுள்ளது.

● துல்லியமான உறிஞ்சுதல் கட்டுப்பாடு: எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் (ஈ.எஸ்.சி) இன் பொருத்துதல் துல்லியம் ± 0.01 மிமீ ஆகும்.

5. தூய்மை உத்தரவாதம் (குறைக்கடத்தி-தர தரங்களுக்கு இணங்க)

● பூஜ்ஜிய உலோக மாசுபாடு: தூய்மை> 99.99%, செதில் மாசுபடுவதைத் தவிர்க்கிறது

● சுய சுத்தம் பண்புகள்: மைக்ரோபோரஸ் அமைப்பு துகள் படிவு குறைக்கிறது

Iii. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் நுண்ணிய SIC தகடுகளின் நான்கு முக்கிய பயன்பாடுகள்

காட்சி 1: உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை உபகரணங்கள் (பரவல் உலை/வருடாந்திர உலை)

● பயனர் வலி புள்ளி: பாரம்பரிய பொருட்கள் எளிதில் சிதைக்கப்படுகின்றன, இதன் விளைவாக செதில் ஸ்கிராப்பிங் ஏற்படுகிறது

● தீர்வு: ஒரு கேரியர் தட்டாக, இது 1200 ° C சூழலின் கீழ் செயல்படுகிறது

● தரவு ஒப்பீடு: வெப்ப சிதைவு அலுமினாவை விட 80% குறைவாக உள்ளது

காட்சி 2: வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி)

● பயனர் வலி புள்ளி: சீரற்ற எரிவாயு விநியோகம் திரைப்பட தரத்தை பாதிக்கிறது

● தீர்வு: நுண்ணிய அமைப்பு எதிர்வினை வாயு பரவல் சீரான தன்மையை 95% ஐ அடைய வைக்கிறது

● தொழில் வழக்கு: 3D NAND ஃப்ளாஷ் மெமரி மெல்லிய பட படிவுக்கு பயன்படுத்தப்பட்டது

காட்சி 3: உலர் பொறித்தல் உபகரணங்கள்

● பயனர் வலி புள்ளி: பிளாஸ்மா அரிப்பு ஷோRTENS கூறு வாழ்க்கை

● தீர்வு: பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு செயல்திறன் பராமரிப்பு சுழற்சியை 12 மாதங்களுக்கு நீட்டிக்கிறது

● செலவு-செயல்திறன்: உபகரணங்கள் வேலையில்லா நேரம் 40% குறைக்கப்படுகிறது

காட்சி 4: செதில் துப்புரவு அமைப்பு

● பயனர் வலி புள்ளி: அமிலம் மற்றும் கார அரிப்பு காரணமாக பகுதிகளை அடிக்கடி மாற்றுவது

● தீர்வு: எச்.எஃப் அமில எதிர்ப்பு சேவை வாழ்க்கையை 5 ஆண்டுகளுக்கு மேல் அடைய வைக்கிறது

● சரிபார்ப்பு தரவு: வலிமை தக்கவைப்பு விகிதம்> 1000 துப்புரவு சுழற்சிகளுக்குப் பிறகு 90%

IV. பாரம்பரிய பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது 3 முக்கிய தேர்வு நன்மைகள்

தொழில்துறை பயனர்களுக்கான கேள்விகள்

Q1: நுண்ணிய SIC பீங்கான் தட்டு காலியம் நைட்ரைடு (GAN) சாதன உற்பத்திக்கு ஏற்றதா?

பதில்: ஆம், அதன் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவை GAN எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைக்கு மிகவும் பொருத்தமானவை மற்றும் 5G அடிப்படை நிலைய சிப் உற்பத்திக்கு பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

Q2: போரோசிட்டி அளவுருவை எவ்வாறு தேர்வு செய்வது?

பதில்: பயன்பாட்டு சூழ்நிலையின்படி தேர்வு செய்யவும்:

● விநியோக வாயுtion: 40% -50% திறந்த போரோசிட்டி பரிந்துரைக்கப்படுகிறது

● வெற்றிட உறிஞ்சுதல்: 60% -70% உயர் போரோசிட்டி பரிந்துரைக்கப்படுகிறது

Q3: மற்ற சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களுடன் என்ன வித்தியாசம்?

பதில்: அடர்த்தியுடன் ஒப்பிடும்போதுSic மட்பாண்டங்கள், நுண்ணிய கட்டமைப்புகள் பின்வரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன:

● 50% எடை குறைப்பு

Speace குறிப்பிட்ட மேற்பரப்பு பகுதியில் 20 மடங்கு அதிகரிக்கும்

● 30% வெப்ப அழுத்தத்தில் குறைப்பு