செய்தி

டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சுகள் குறைக்கடத்தி துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, முக்கியமாக எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலை கூறுகள், ஒற்றை படிக வளர்ச்சி முக்கிய கூறுகள், உயர் வெப்பநிலை தொழில்துறை கூறுகள், எம்ஓசிவிடி சிஸ்டம் ஹீட்டர்கள் மற்றும் செதில் கேரியர்கள்.

SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது, ​​SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் இடைநீக்க தோல்வி ஏற்படலாம். இந்த கட்டுரை SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் இடைநீக்கத்தின் தோல்வி நிகழ்வின் கடுமையான பகுப்பாய்வை நடத்துகிறது, இதில் முக்கியமாக இரண்டு காரணிகள் அடங்கும்: SiC எபிடாக்சியல் வாயு தோல்வி மற்றும் SiC பூச்சு தோல்வி.

இந்தக் கட்டுரை முக்கியமாக மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி செயல்முறை மற்றும் உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு தொழில்நுட்பங்களின் தொடர்புடைய செயல்முறை நன்மைகள் மற்றும் வேறுபாடுகளைப் பற்றி விவாதிக்கிறது.

வெடெக் செமிகண்டக்டரின் நுண்ணிய டான்டலம் கார்பைடு, ஒரு புதிய தலைமுறை எஸ்.ஐ.சி படிக வளர்ச்சிப் பொருளாக, பல சிறந்த தயாரிப்பு பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பல்வேறு குறைக்கடத்தி செயலாக்க தொழில்நுட்பங்களில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

எபிடாக்சியல் உலையின் செயல்பாட்டுக் கொள்கையானது, உயர் வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்தத்தின் கீழ் ஒரு அடி மூலக்கூறு மீது குறைக்கடத்தி பொருட்களை வைப்பதாகும். சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி என்பது, ஒரு குறிப்பிட்ட படிக நோக்குநிலையுடன் சிலிக்கான் ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறில் அடி மூலக்கூறு மற்றும் வெவ்வேறு தடிமன் போன்ற அதே படிக நோக்குநிலையுடன் படிகத்தின் ஒரு அடுக்கை வளர்ப்பதாகும். இந்தக் கட்டுரை முக்கியமாக சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி முறைகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது: நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸி மற்றும் திரவ நிலை எபிடாக்ஸி.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மெல்லிய படப் பொருட்களை அறையில் வைப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் SiO2, SiN போன்றவை அடங்கும், மேலும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வகைகளில் PECVD மற்றும் LPCVD ஆகியவை அடங்கும். வெப்பநிலை, அழுத்தம் மற்றும் எதிர்வினை வாயு வகையைச் சரிசெய்வதன் மூலம், வெவ்வேறு செயல்முறைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய CVD உயர் தூய்மை, சீரான தன்மை மற்றும் நல்ல படக் கவரேஜ் ஆகியவற்றை அடைகிறது.

இந்த கட்டுரை முக்கியமாக சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் பரந்த பயன்பாட்டு வாய்ப்புகளை விவரிக்கிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களில் சின்தேரிங் விரிசல்களின் காரணங்கள் மற்றும் அதனுடன் தொடர்புடைய தீர்வுகள் பற்றிய பகுப்பாய்வு குறித்தும் இது கவனம் செலுத்துகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பொறித்தல் தொழில்நுட்பம், தயாரிப்பு தரத்தை பாதிக்கும் ஏற்றுதல் விளைவு, மைக்ரோ-க்ரூவ் விளைவு மற்றும் சார்ஜிங் விளைவு போன்ற சிக்கல்களை அடிக்கடி சந்திக்கிறது. பிளாஸ்மா அடர்த்தியை மேம்படுத்துதல், எதிர்வினை வாயு கலவையை சரிசெய்தல், வெற்றிட அமைப்பின் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல், நியாயமான லித்தோகிராஃபி அமைப்பை வடிவமைத்தல் மற்றும் பொருத்தமான எச்சிங் மாஸ்க் பொருட்கள் மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகளைத் தேர்ந்தெடுப்பது ஆகியவை மேம்பாட்டுத் தீர்வுகளில் அடங்கும்.

உயர் செயல்திறன் கொண்ட SIC மட்பாண்டங்களைத் தயாரிப்பதற்கான முக்கிய முறையாக ஹாட் பிரஸ்ஸிங் சின்தேரிங் உள்ளது. சூடான அழுத்தும் சின்தேரிங்கின் செயல்முறை பின்வருமாறு: உயர் தூய்மை SIC பொடியைத் தேர்ந்தெடுப்பது, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்தத்தின் கீழ் அழுத்தி வடிவமைத்தல், பின்னர் சின்தேரிங். இந்த முறையால் தயாரிக்கப்பட்ட SIC மட்பாண்டங்கள் அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக அடர்த்தியின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் அவை அரைக்கும் வட்டுகள் மற்றும் வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்களை செதில் செயலாக்கத்திற்கு பரவலாகப் பயன்படுத்துகின்றன.

சிலிக்கான் கார்பைடின் (SiC) முக்கிய வளர்ச்சி முறைகளில் PVT, TSSG மற்றும் HTCVD ஆகியவை அடங்கும், ஒவ்வொன்றும் தனித்துவமான நன்மைகள் மற்றும் சவால்களைக் கொண்டுள்ளன. கார்பன் அடிப்படையிலான வெப்பப் புலப் பொருட்களான இன்சுலேஷன் சிஸ்டம்ஸ், க்ரூசிபிள்கள், TaC பூச்சுகள் மற்றும் நுண்துளை கிராஃபைட் ஆகியவை SiC இன் துல்லியமான உருவாக்கம் மற்றும் பயன்பாட்டிற்கு அவசியமான நிலைத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் தூய்மை ஆகியவற்றை வழங்குவதன் மூலம் படிக வளர்ச்சியை மேம்படுத்துகின்றன.

எஸ்.ஐ.சி அதிக கடினத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு வேதியியல் நீராவி படிவு மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், வேதியியல் நிலைத்தன்மை மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு பொருந்தக்கூடிய லட்டு மாறிலி ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. அதன் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் அதிக கடினத்தன்மை ஆயுள் மற்றும் துல்லியத்தை உறுதி செய்கின்றன, இது செதில் கேரியர்கள், முன்கூட்டியே வளையங்கள் மற்றும் பல போன்ற பயன்பாடுகளில் அவசியமாக்குகிறது. வெடெக் செமிகண்டக்டர் பல்வேறு தொழில் தேவைகளுக்கான தனிப்பயன் எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளில் நிபுணத்துவம் பெற்றது.

சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) என்பது உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் இயந்திர வலிமை போன்ற சிறந்த பண்புகளுக்கு அறியப்பட்ட உயர் துல்லியமான குறைக்கடத்தி பொருள் ஆகும். இது 200 க்கும் மேற்பட்ட படிக கட்டமைப்புகளைக் கொண்டுள்ளது, 3C-SIC ஒரே கன வகை, மற்ற வகைகளுடன் ஒப்பிடும்போது சிறந்த இயற்கை கோளத்தையும் அடர்த்தியையும் வழங்குகிறது. 3 சி-எஸ்.ஐ.சி அதன் உயர் எலக்ட்ரான் இயக்கத்திற்கு தனித்து நிற்கிறது, இது பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸில் MOSFET களுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. கூடுதலாக, இது நானோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், நீல எல்.ஈ.டிக்கள் மற்றும் சென்சார்களில் பெரும் திறனைக் காட்டுகிறது.

டயமண்ட், நான்காவது தலைமுறை "இறுதி குறைக்கடத்தி", அதன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் மின் பண்புகள் காரணமாக குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுகளில் கவனத்தை ஈர்க்கிறது. அதன் அதிக விலை மற்றும் உற்பத்தி சவால்கள் அதன் பயன்பாட்டைக் கட்டுப்படுத்தும் அதே வேளையில், CVD என்பது விருப்பமான முறையாகும். ஊக்கமருந்து மற்றும் பெரிய பகுதி படிக சவால்கள் இருந்தபோதிலும், வைரம் வாக்குறுதியைக் கொண்டுள்ளது.

SiC மற்றும் GaN ஆகியவை பரந்த பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்திகள் ஆகும், அவை சிலிக்கானை விட நன்மைகள், அதிக முறிவு மின்னழுத்தங்கள், வேகமான மாறுதல் வேகம் மற்றும் சிறந்த செயல்திறன் போன்றவை. அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் காரணமாக உயர் மின்னழுத்தம், உயர்-பவர் பயன்பாடுகளுக்கு SiC சிறந்தது, அதே நேரத்தில் GaN உயர் அதிர்வெண் பயன்பாடுகளில் சிறந்து விளங்குகிறது.

எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் என்பது மின்தடை வெப்பமாக்கலுடன் ஒப்பிடும்போது மிகவும் திறமையான மற்றும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் பூச்சு முறையாகும், இது எலக்ட்ரான் கற்றை மூலம் ஆவியாதல் பொருளை வெப்பப்படுத்துகிறது, இதனால் அது ஆவியாகி மெல்லிய படலமாக ஒடுங்குகிறது.