செய்தி

வழக்கமான pBN பூசப்பட்ட ஹீட்டர்களுடன் ஒப்பிடும்போது TaC-கோடட் கிராஃபைட் ஹீட்டர்கள் எப்படி வெப்பநிலை சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகின்றன, ஆற்றல் நுகர்வு குறைக்கின்றன மற்றும் GaN MOCVD எபிடாக்ஸியில் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கின்றன என்பதைக் கண்டறியவும்.

கார்பன் மாசுபாட்டைக் குறைத்தல், கிராஃபைட் கூறுகளைப் பாதுகாத்தல், சேவை ஆயுளை நீட்டித்தல் மற்றும் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான படிகத் தரத்தை அதிகரிப்பதன் மூலம் PVT உலைகளில் சிவிடி TaC பூச்சு எவ்வாறு SiC படிக வளர்ச்சியை மேம்படுத்துகிறது என்பதைக் கண்டறியவும்.

CVD TaC பூச்சு ஏன் குறைக்கடத்தி கிராஃபைட் கூறுகளுக்கு விருப்பமான பாதுகாப்பு தீர்வாக மாறுகிறது என்பதைக் கண்டறியவும். அதன் நன்மைகள், SiC படிக வளர்ச்சியில் உள்ள பயன்பாடுகள், GaN MOCVD மற்றும் வேஃபர் கேரியர்கள் மற்றும் அது எவ்வாறு ஆயுள், தூய்மை மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது என்பதை அறியவும்.