PECVD கிராஃபைட் படகு

வெட்கெமிகான் ஒரு தொழில்முறை சீனா பி.இ.சி.வி.டி கிராஃபைட் படகு உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆவார்.

வெடெக் செமிகண்டக்டரின் சூரிய மின்கலத்தின் (பூச்சு) பி.இ.சி.வி.டி கிராஃபைட் படகின் பங்கு என்ன?

பூச்சு செயல்முறையால் உற்பத்தி செய்யப்படும் சாதாரண சிலிக்கான் செதில்களின் கேரியராக, கிராஃபைட் படகில் கட்டமைப்பில் சில இடைவெளிகளைக் கொண்ட பல படகு செதில்கள் உள்ளன, மேலும் அருகிலுள்ள இரண்டு படகு செதில்களிடையே மிகக் குறுகிய இடைவெளி உள்ளது, மேலும் சிலிக்கான் செதில்கள் வெற்று கதவின் இருபுறமும் வைக்கப்படுகின்றன.

பி.இ.சி.வி.டி கிராஃபைட் படகு பொருள் கிராஃபைட் நல்ல மின் மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் பண்புகளைக் கொண்டிருப்பதால், ஏசி மின்னழுத்தம் இரண்டு அருகிலுள்ள படகுகளில் கேட்கப்படுகிறது, இதனால் இரண்டு அருகிலுள்ள படகுகள் நேர்மறை மற்றும் எதிர்மறை துருவங்களை உருவாக்குகின்றன, அறையில் ஒரு குறிப்பிட்ட அழுத்தம் மற்றும் வாயு இருக்கும்போது, ​​இரண்டு படகுகளுக்கு இடையில் பளபளப்பான வெளியேற்றம் ஏற்படும்போது, ​​பளபளப்பான வெளியேற்றம் எஸ்.ஐ.எச். பூச்சு நோக்கத்தை அடைய SINX மூலக்கூறுகள் உருவாகி சிலிக்கான் செதில் மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்யப்படுகின்றன.

அதிக வெப்பநிலை மற்றும் பிளாஸ்மா சூழல்களில் இந்த பொருட்களின் பாதுகாப்பான கையாளுதல் மற்றும் போக்குவரத்தை உறுதி செய்வதற்காக சிலிக்கான் செதில்கள் அல்லது பிற பொருட்களை எடுத்துச் செல்ல பி.இ.சி.வி.டி கிராஃபைட் படகுகள் வழக்கமாக கேரியர்களாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. எடுத்துக்காட்டாக, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில், வெட்க்செமிகனின் பி.இ.சி.வி.டி கிராஃபைட் படகுகள் பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. கிராஃபைட் படகு சிலிக்கான் நைட்ரைடு (பாவம்) செயலற்ற அடுக்குகள் மற்றும் குறைந்த மின்கடத்தா மாறிலி (குறைந்த-கே) படங்களை டெபாசிட் செய்யும் பாத்திரத்தை வகிக்கிறது.

ஒளிமின்னழுத்த புலத்தில், சிலிக்கான் அடிப்படையிலான மெல்லிய-திரைப்பட சூரிய மின்கலங்கள் (உருவமற்ற சிலிக்கான் ஏ-சி: எச் போன்றவை) மற்றும் பெர்க் செல் பின் செயலற்ற அடுக்குகளை தயாரிக்க பி.இ.சி.வி.டி கிராஃபைட் படகுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. வெடெக்செமிகானின் பி.இ.சி.வி.டி கிராஃபைட் படகு சிலிக்கான் செதில்களை திறம்பட இடைவெளி செய்வதன் மூலமும், சீரான பூச்சு படிவுகளை அடைய பளபளப்பான வெளியேற்றத்தைத் தூண்டுவதன் மூலமும் பூச்சு செயல்முறையை மேம்படுத்துகிறது.

மிக முக்கியமாக, வெட்கெமிகான் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்புகள் மற்றும் தொழில்நுட்ப சேவைகளை வழங்க முடியும், மேலும் உங்கள் உண்மையான செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப வெவ்வேறு விவரக்குறிப்புகளின் கிராஃபைட் படகு தயாரிப்புகளை வடிவமைத்து உற்பத்தி செய்யலாம். உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக மாறுவதற்கு நாங்கள் உண்மையிலேயே எதிர்நோக்குகிறோம்.

மற்றும் சாதாரண கிராஃபைட் படகுடன் ஒப்பிடும்போது PECVD கிராஃபைட் படகின் நன்மைகள், கிளிக் செய்க