சிவிடி விளைச்சலை 50% முதல் 90% வரை அதிகரிக்க SiC கோட்டிங் எட்ஜ் மஞ்சள் நிறத்தைத் தீர்ப்பது

கலவை குறைக்கடத்திகள் மற்றும் மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திகளின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது, ​​MOCVD உபகரணங்களுக்குள் உள்ள உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் சஸ்பெக்டர்கள் மற்றும் கிராஃபைட் பாகங்கள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன அரிப்பைத் தாங்க வேண்டும், இது அடர்த்தியான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுகளை பெரிதும் நம்பியுள்ளது. வாடிக்கையாளரின் சவாலான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு விளிம்பு மஞ்சள் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை எதிர்வினை அறைகளுக்குள் ஒட்டுதல் குறைதல், VeTek செமிகண்டக்டர் டெபாசிஷன் இயக்கவியல் புனரமைப்பு மற்றும் செயல்முறை அளவுருக் கட்டுப்பாடு மூலம் விளிம்பு குறைபாடுகளை முற்றிலுமாக நீக்கி, முடிக்கப்பட்ட தயாரிப்பு மகசூலை 50% முதல் 90% வரை உயர்த்தியது, வாடிக்கையாளர் உபகரணங்களை மாற்றும் நேரத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது.

1. முக்கிய தரவு ஸ்னாப்ஷாட் மற்றும் செயல்திறன் ஒப்பீடு

 படம் 1: MOCVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்

கலவை குறைக்கடத்திகள் மற்றும் மூன்றாம் தலைமுறை செமிகண்டக்டர்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது, ​​கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வெப்ப புலக் கூறுகளில் உள்ள CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளின் தரம் நேரடியாக செதில் தரம் மற்றும் உற்பத்தி செலவை தீர்மானிக்கிறது. VeTek செமிகண்டக்டரின் செயல்முறை தேர்வுமுறைக்கு முன்னும் பின்னும் முக்கிய அளவீடுகளின் ஒப்பீடு கீழே உள்ளது:

2. வாடிக்கையாளர் பின்னணி மற்றும் MOCVD எபிடாக்சியல் அப்ளிகேஷன் காட்சிகள்

படம் 2: MOCVD எதிர்வினை அறைக்குள் கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர் மற்றும் வேஃபர் ட்ரே வேலை செய்யும் காட்சி

இந்த திட்டத்தின் பங்குதாரர் மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி மற்றும் கூட்டு எபிடாக்சியல் சிப் உற்பத்தி நிறுவனமாகும், இது அதிக செயல்திறன் கொண்ட கேலியம் நைட்ரைடு (GaN) மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) எபிடாக்சியல் செதில்களின் ஆராய்ச்சி, மேம்பாடு மற்றும் வெகுஜன உற்பத்திக்கு நீண்ட காலமாக அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது. MOCVD (உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு) உற்பத்தி வரிசையில், கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்கள் மற்றும் தொடர்புடைய வெப்பப் புலம் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கூறுகள், செதில்களை நேரடியாகச் சுமந்து செல்லும் மற்றும் 1000°C க்கும் அதிகமான அதிக வெப்பநிலையின் கீழ் செயல்படும் முக்கிய நுகர்வுப் பொருட்களாகும்.

MOCVD வினைத்திறன் அறைக்குள் இருக்கும் மிகக் கடுமையான சூழலின் காரணமாக, கிராஃபைட் கூறு மேற்பரப்பில் உள்ள சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளின் தரம் நேரடியாக வெப்பக் கடத்தல் சீரான தன்மை, துகள் மாசு கட்டுப்பாடு மற்றும் சஸ்பெப்டர் சேவை வாழ்க்கை ஆகியவற்றை ஆணையிடுகிறது. எபிடாக்சியல் செதில் அளவுகள் 8 அங்குலமாக மேம்படுத்தப்படுவதால், வாடிக்கையாளர் இடைமுக இறுக்கம், வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் பூச்சுகளின் மேற்பரப்பு உருவவியல் ஆகியவற்றில் மிக உயர்ந்த விவரக்குறிப்பு தேவைகளை விதித்தார்.

3. CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு விளிம்பு மஞ்சள் நிற காரணங்கள் மற்றும் தடைகள் பற்றிய ஆழமான பகுப்பாய்வு

 VeTek செமிகண்டக்டர் செயல்முறை தேர்வுமுறைக் குழுவில் ஈடுபடுவதற்கு முன்பு, வாடிக்கையாளர் தங்கள் உள் அல்லது அவுட்சோர்ஸ் செய்யப்பட்ட CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு உற்பத்தி வரிசையில் கடுமையான தரமான இடையூறுகளை எதிர்கொண்டார்:

· பூச்சு விளிம்பு மஞ்சள் நிற முரண்பாடு:CVD எதிர்வினை உலையில் படிந்த பிறகு, சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட பாகங்களின் விளிம்புப் பகுதிகளில் காணக்கூடிய வெளிர் மஞ்சள் அல்லது வண்ண வேறுபாடுகள் அடிக்கடி தோன்றின, கடுமையான குறைக்கடத்தி தர QC தொழிற்சாலை ஆய்வில் தேர்ச்சி பெறவில்லை.

· பிணைப்பு இடைமுகத்தில் நுண்ணிய அழுத்த குறைபாடுகள்:அசல் உயர் படிவு விகித செயல்முறையின் கீழ் (~25 μm/h), பூச்சு மற்றும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையே குறிப்பிடத்தக்க உள் வெப்ப அழுத்தம் குவிந்துள்ளது, அதே போல் பல்வேறு படிவு நிலைகளுக்கு இடையே உள்ள நுண்ணிய இடைமுகங்களில், அதிக வேகமான இரசாயன நீராவி படிவு படிகமயமாக்கல் வேகம் காரணமாக.

· மிகக் குறைந்த உற்பத்தி மகசூல் மற்றும் செலவு அழுத்தம்:விளிம்பு மஞ்சள் மற்றும் உரித்தல் அபாயங்களால் கட்டுப்படுத்தப்பட்டது, பூச்சு தயாரிப்புகளின் விரிவான மகசூல் நீண்ட காலமாக குறைந்த 50% இல் உள்ளது, இது தொடர்ந்து அதிக உற்பத்தி செலவுகள் மற்றும் கீழ்நிலை MOCVD எபிடாக்ஸி வாடிக்கையாளர்களுக்கு நிலையான விநியோக அட்டவணைகளுக்கு உத்தரவாதம் அளிப்பதில் சிரமத்திற்கு வழிவகுத்தது.

4. சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு உரித்தல் மற்றும் மன அழுத்த குறைபாடுகளை எவ்வாறு தீர்ப்பது

படம் 3: VeTek செமிகண்டக்டர் மேம்பட்ட CVD SiC பூச்சு செயல்முறை மற்றும் தொழில்நுட்ப ஃப்ளோசார்ட்

மேற்கூறிய செயல்முறை வலி புள்ளிகளை நிவர்த்தி செய்ய, VeTek செமிகண்டக்டர் தொழில்நுட்பக் குழு, CVD எதிர்வினை அறைக்குள் ஓட்டப் புல விநியோகம், வெப்பநிலை புல விநியோகம் மற்றும் எதிர்வினை வாயு (SiC முன்னோடி) வெப்ப சிதைவு இயக்கவியல் ஆகியவற்றின் ஆழமான பகுப்பாய்வை நடத்தியது, முறையான செயல்முறை மாற்றத் திட்டத்தை உருவாக்கியது.

முக்கிய செயல்முறை மாற்றம்: படிநிலை வைப்பு விகிதம் கட்டுப்பாடு
அசல் செயல்முறை முழு படிவு சுழற்சி முழுவதும் 25 μm/h என்ற உயர் படிவு வீதத்தைப் பயன்படுத்தியது, இதனால் அதிகப்படியான தீவிர படிகக் கரு வளர்ச்சி, ஸ்டோச்சியோமெட்ரியிலிருந்து விலகும் மைக்ரோ-அசுத்த கட்டப் பிரிப்பு மற்றும் உருவவியல் விளிம்புகளில் அழுத்தச் செறிவு ஆகியவற்றை ஏற்படுத்தியது. VeTek குழு துல்லியமாக ஆரம்ப படிவு நிலையில் படிவு வீதத்தை 12 μm/h ஆக குறைத்தது. அணுக்கரு வேகத்தைக் குறைப்பதன் மூலம், சிலிக்கான் கார்பைடு படிகக் கருக்கள் கிராஃபைட் நுண் துளைகள் மற்றும் மேற்பரப்பிற்குள் ஒழுங்காக ஒழுங்கமைக்க போதுமான நேரத்தைக் கொண்டிருந்தன, 'பூச்சு மற்றும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு' மற்றும் 'வெவ்வேறு படிவு அடுக்குகளுக்கு இடையே' அணு-நிலை இறுக்கமான பிணைப்பை அடைகின்றன.

CVD சேம்பர் ஃப்ளோ ஃபீல்ட் மற்றும் தெர்மல் ஃபீல்டின் ஃபைன்-டியூனிங்
முன்னோடி வாயுக்களின் நுழைவு ஓட்ட விகித விகிதம் (எம்.டி.எஸ் மற்றும் எச்₂ போன்றவை) மற்றும் வாயு ஓட்ட வழிகாட்டுதல் கோணங்கள் சரிசெய்யப்பட்டு, விளிம்புப் பகுதிகளில் எல்லை அடுக்கு தடிமனை மேம்படுத்துகிறது. இது சிக்கலான வடிவியல் கூறுகளின் விளிம்புகளில் சிலிக்கான் மற்றும் கார்பன் அணுக்களின் ஸ்டோச்சியோமெட்ரிக் விகிதம் கண்டிப்பாக 1:1 ஆக இருப்பதை உறுதிசெய்தது.

5. MOCVD உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர் பூச்சு மகசூல் மேம்பாட்டின் நடைமுறை மற்றும் சாதனைகள்

படம் 4: சீரான மேற்பரப்பு நிறம் மற்றும் குறைபாடுகள் இல்லாத உயர்-தூய்மை CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்

மேலே உள்ள CVD செயல்முறை மாற்றங்களைச் செயல்படுத்துவதன் மூலம், VeTek செமிகண்டக்டர் வாடிக்கையாளருக்கு குறிப்பிடத்தக்க வகையில் குறிப்பிடத்தக்க பொருளாதார நன்மைகள் மற்றும் தர மேம்பாடுகளை அடைய உதவியது:

· வியத்தகு மகசூல் அதிகரிப்பு:சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட தயாரிப்புகளின் முடிக்கப்பட்ட தயாரிப்பு தகுதி விகிதம் 50% முதல் 90% வரை உயர்ந்தது, விளிம்பு மஞ்சள் நிறத்தால் ஏற்படும் ஸ்கிராப்பிங் சிக்கல்களை முற்றிலும் தீர்க்கிறது.

· மேம்படுத்தப்பட்ட இடைமுகப் பிணைப்பு அடர்த்தி:ஆரம்ப படிவு விகிதத்தை 12 μm/h ஆகக் குறைத்த பிறகு, பூச்சு மற்றும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையே உள்ள வெப்ப அழுத்தத்தை உரித்தல் 40%க்கும் மேல் குறைந்துள்ளது, மேலும் வெப்ப சுழற்சி வாழ்க்கை 1.5 மடங்கு அதிகரித்துள்ளது.

· சுருக்கப்பட்ட டெலிவரி முன்னணி நேரம்:மறுவேலை மற்றும் ஸ்கிராப் விகிதங்களில் கணிசமான வீழ்ச்சி காரணமாக, கூறுகளின் விரிவான உற்பத்தி சுழற்சி 35% குறைக்கப்பட்டது, மேலும் யூனிட் விரிவான செலவு 30% குறைக்கப்பட்டது, கீழ்நிலை MOCVD எபிடாக்ஸி உற்பத்தி வரிசைகளுக்கான தொடர்ச்சியான திறன் விரிவாக்கத் தேவைகளுக்கு வலுவாக உத்தரவாதம் அளிக்கிறது.

6. அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள் (FAQ)

படம் 5: VeTek செமிகண்டக்டர் உயர்தர பட்டறை மற்றும் உற்பத்தித் தளம்

கே: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு விளிம்பு மஞ்சள் நிறமானது கீழ்நிலை MOCVD எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்கு என்ன கணிசமான தீங்குகளை ஏற்படுத்துகிறது?

A: விளிம்பு மஞ்சள் நிறமானது பொதுவாக நுண்ணிய லட்டு குறைபாடுகள், ஸ்டோச்சியோமெட்ரிக் விலகல்கள் (இலவச சிலிக்கான் அல்லது இலவச கார்பனின் உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட செறிவூட்டல் போன்றவை) அல்லது அந்த பிராந்தியத்தின் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளில் எஞ்சிய உள் அழுத்தத்தைக் குறிக்கிறது. எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது அதிக வெப்பநிலை (1000°C+) மற்றும் வலுவாக அரிக்கும் வாயு சூழல் (எ.கா., NH₃, HCl) ஆகியவற்றின் கீழ், மஞ்சள் நிறப் பகுதிகள் பூச்சு உரிக்கப்படுதல், மைக்ரோ-கிராக் பரவுதல் அல்லது தூய்மையற்ற வாயு வெளியீடு ஆகியவற்றிற்கு மிகவும் எளிதில் பாதிக்கப்படுகின்றன. இது எபிடாக்சியல் செதில்களை நேரடியாக மாசுபடுத்துகிறது, எபிடாக்சியல் லேயரில் குறைபாடு அடர்த்தியை அதிகரிக்கிறது மற்றும் கடுமையான சந்தர்ப்பங்களில் கிராஃபைட் சசெப்டரையே சேதப்படுத்துகிறது.

கே: ஆரம்ப படிவு விகிதத்தை (25 μm/h இலிருந்து 12 μm/h வரை) குறைப்பது உற்பத்திச் செலவுகளை கணிசமாக அதிகரிக்குமா?

ப: ஆரம்ப படிவு விகிதத்தை குறைப்பது முதல் கட்டத்தின் காலத்தை சிறிது அதிகரிக்கிறது என்றாலும், ஆரம்ப இடைமுக வளர்ச்சி கட்டத்தில் (முதல் சில மைக்ரோமீட்டர்கள்) மென்மையான 12 μm/h விகிதத்தை மட்டுமே பயன்படுத்துகிறோம். இறுக்கமான இடைமுகப் பிணைப்பு நிறுவப்பட்டதும், நிலையான உயர் திறன் படிவு மீண்டும் தொடங்குகிறது. மிக முக்கியமாக, மகசூல் அதிகரிப்பு 50% முதல் 90% வரை ஸ்கிராப் விகிதங்கள் மற்றும் மூலப்பொருள் கழிவுகளை குறைக்கிறது, இது வேலை நேரத்தின் சிறிய அதிகரிப்பை விட அதிகமாக உள்ளது, இறுதியில் ஒட்டுமொத்த யூனிட் உற்பத்தி செலவுகளை தோராயமாக 30% குறைக்கிறது.

கே: தனிப்பயனாக்கப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகளுக்கு சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு சேவைகளை VeTek செமிகண்டக்டர் வழங்க முடியுமா?

ப: ஆம். VeTek ஆனது உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளின் (மைக்ரோபோர்ஸ், சிக்கலான ஃப்ளோ சேனல்கள், தனிப்பயன் வடிவ சஸ்செப்டர்கள் போன்றவை) CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் மற்றும் CVD டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளின் துல்லியமான இயந்திரமயமாக்கல் சேவைகளை ஆதரிக்கிறது. வாடிக்கையாளர் எதிர்வினை உலைகளின் குறிப்பிட்ட வெப்பப் புல விநியோகத்தின் படி படிவு செயல்முறைகளை நாம் சரிசெய்யலாம்.

7. சுருக்கம் மற்றும் பொறியியல் ஆதரவு சேவைகள்

குறைக்கடத்தி பொருட்கள் மற்றும் கூறுகளில் சிறிய செயல்முறை சரிசெய்தல் பெரும்பாலும் கீழ்நிலை சிப் உற்பத்தியின் விளைச்சல் மற்றும் செலவு வெற்றியை ஆணையிடுகிறது. CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள், உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் பாகங்கள் மற்றும் மூன்றாம் தலைமுறை செமிகண்டக்டர் வெப்பப் புலங்கள் ஆகியவற்றில் ஆழ்ந்த தொழில்நுட்ப நிபுணத்துவத்துடன், VeTek செமிகண்டக்டர் பூச்சு விளிம்பு மஞ்சள் நிறத்தின் தொழில் சவாலை வெற்றிகரமாகத் தீர்த்தது, வாடிக்கையாளர்கள் 90% அதி-உயர் மகசூல் மற்றும் உயர்ந்த கூறு நீண்ட ஆயுளைப் பெற உதவுகிறது.

MOCVD கிராஃபைட் கூறு பூச்சு தோலுரித்தல், விளிம்பு மஞ்சள், வெப்ப அதிர்ச்சி விரிசல் அல்லது தனிப்பயன் கூறு எந்திரம் ஆகியவற்றிலும் நீங்கள் சவால்களை எதிர்கொள்கிறீர்கள் என்றால், எங்கள் ஆய்வுக்கு வரவேற்கிறோம்CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் விவரங்கள் பக்கம் மற்றும்உயர் தூய்மை செமிகண்டக்டர் கிராஃபைட் பாகங்கள் தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகள், அல்லது VeTek செமிகண்டக்டரில் உள்ள நிபுணர் தொழில்நுட்பக் குழுவைத் தொடர்புகொள்ளவும். நாங்கள் உங்களுக்கு பாராட்டு செயல்முறை கண்டறிதல் மற்றும் மாதிரி சோதனை சேவைகளை வழங்குவோம்!

படம் 6: VeTek செமிகண்டக்டர் R&D மற்றும் உற்பத்தி பூங்காவின் பரந்த காட்சி