Sic படிக வளர்ச்சி நுண்ணிய கிராஃபைட்

SiC கிரிஸ்டல் க்ரோத் போரஸ் கிராஃபைட் என்பது நுண்துளை கிராஃபைட்டிலிருந்து மிகவும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய துளை அமைப்பைக் கொண்ட ஒரு பொருளாகும். குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில், இது சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மையைக் காட்டுகிறது, எனவே இது உடல் நீராவி படிவு, இரசாயன நீராவி படிவு மற்றும் பிற செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, உற்பத்தி செயல்முறை மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தின் செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, உகந்த குறைக்கடத்தியாகிறது. உற்பத்தி சாதன செயல்திறனுக்கு முக்கியமான பொருட்கள்.

PVD செயல்பாட்டில், SiC கிரிஸ்டல் க்ரோத் போரஸ் கிராஃபைட் பொதுவாக அடி மூலக்கூறு ஆதரவு அல்லது பொருத்தமாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதன் செயல்பாடு செதில் அல்லது பிற அடி மூலக்கூறுகளை ஆதரிப்பது மற்றும் படிவு செயல்பாட்டின் போது பொருளின் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதாகும். நுண்துளை கிராஃபைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறன் பொதுவாக 80 W/m·K மற்றும் 120 W/m·K க்கு இடையில் இருக்கும், இது போரஸ் கிராஃபைட்டை விரைவாகவும் சமமாகவும் வெப்பத்தை கடத்த உதவுகிறது, உள்ளூர் அதிக வெப்பத்தைத் தவிர்க்கிறது, இதனால் மெல்லிய படலங்களின் சீரற்ற படிவுகளைத் தடுக்கிறது, செயல்முறை செயல்திறனை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது. .

கூடுதலாக, SiC கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி நுண்துளை கிராஃபைட்டின் வழக்கமான போரோசிட்டி வரம்பு 20% ~ 40% ஆகும். இந்த குணாதிசயம் வெற்றிட அறையில் வாயு ஓட்டத்தை சிதறடித்து, படிவு செயல்பாட்டின் போது பட அடுக்கின் சீரான தன்மையை பாதிக்காமல் வாயு ஓட்டத்தை தடுக்கிறது.

CVD செயல்பாட்டில், SiC கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி நுண்துளை கிராஃபைட்டின் நுண்துளை அமைப்பு வாயுக்களின் சீரான விநியோகத்திற்கான சிறந்த பாதையை வழங்குகிறது. எதிர்வினை வாயு ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்க ஒரு வாயு-கட்ட இரசாயன எதிர்வினை மூலம் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது. இந்த செயல்முறைக்கு எதிர்வினை வாயுவின் ஓட்டம் மற்றும் விநியோகத்தின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது. போரஸ் கிராஃபைட்டின் 20% ~ 40% போரோசிட்டி வாயுவை திறம்பட வழிநடத்துகிறது மற்றும் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் சமமாக விநியோகிக்க முடியும், இது டெபாசிட் செய்யப்பட்ட பட அடுக்கின் சீரான தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

நுண்துளை கிராஃபைட் பொதுவாக உலைக் குழாய்கள், அடி மூலக்கூறு கேரியர்கள் அல்லது முகமூடிப் பொருட்களாக CVD உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பாக செமிகண்டக்டர் செயல்முறைகளில் அதிக தூய்மை பொருட்கள் தேவைப்படும் மற்றும் துகள் மாசுபாட்டிற்கு மிக அதிக தேவைகள் உள்ளன. அதே நேரத்தில், CVD செயல்முறை பொதுவாக அதிக வெப்பநிலையை உள்ளடக்கியது, மேலும் போரஸ் கிராஃபைட் 2500 ° C வரை வெப்பநிலையில் அதன் உடல் மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும், இது CVD செயல்பாட்டில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத பொருளாக மாறும்.

அதன் நுண்ணிய அமைப்பு இருந்தபோதிலும், SIC படிக வளர்ச்சி நுண்ணிய கிராஃபைட் இன்னும் 50 MPa இன் சுருக்க வலிமையைக் கொண்டுள்ளது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் போது உருவாகும் இயந்திர அழுத்தத்தைக் கையாள போதுமானது.

சீனாவின் செமிகண்டக்டர் துறையில் போரஸ் கிராஃபைட் தயாரிப்புகளின் தலைவராக, Veteksemi எப்போதும் தயாரிப்பு தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகள் மற்றும் திருப்திகரமான தயாரிப்பு விலைகளை ஆதரிக்கிறது. உங்களின் குறிப்பிட்ட தேவைகள் என்னவாக இருந்தாலும், உங்களின் போரஸ் கிராஃபைட்டுக்கான சிறந்த தீர்வை நாங்கள் பொருத்துவோம், எந்த நேரத்திலும் உங்கள் ஆலோசனையை எதிர்நோக்குவோம்.

SiC படிக வளர்ச்சி நுண்துளை கிராஃபைட்டின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

VeTek செமிகண்டக்டர் SiC கிரிஸ்டல் க்ரோத் போரஸ் கிராஃபைட் பொருட்கள் கடைகள்:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்: