சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சி உலைகளின் சவால்கள்

திபடிக வளர்ச்சி உலைசிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களை வளர்ப்பதற்கான முக்கிய உபகரணங்கள், பாரம்பரிய சிலிக்கான் படிக வளர்ச்சி உலைகளுடன் ஒற்றுமையைப் பகிர்ந்து கொள்கின்றன. உலை அமைப்பு அதிகப்படியான சிக்கலானது அல்ல, முதன்மையாக உலை உடல், வெப்ப அமைப்பு, சுருள் இயக்கி பொறிமுறையை, வெற்றிட கையகப்படுத்தல் மற்றும் அளவீட்டு முறை, எரிவாயு வழங்கல் அமைப்பு, குளிரூட்டும் முறை மற்றும் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டது. சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களின் தரம், அளவு மற்றும் மின் கடத்துத்திறன் போன்ற முக்கியமான அளவுருக்களை உலைக்குள் உள்ள வெப்ப புலம் மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகள் தீர்மானிக்கின்றன.

ஒருபுறம், சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சியின் போது வெப்பநிலை மிக அதிகமாக உள்ளது மற்றும் நிகழ்நேரத்தில் கண்காணிக்க முடியாது, எனவே முதன்மை சவால்கள் செயல்பாட்டில் உள்ளன.முக்கிய சவால்கள் பின்வருமாறு:

(1) வெப்ப புலக் கட்டுப்பாட்டில் சிரமம்: சீல் செய்யப்பட்ட உயர் வெப்பநிலை அறையில் கண்காணிப்பது சவாலானது மற்றும் கட்டுப்படுத்த முடியாதது. பாரம்பரிய சிலிக்கான் அடிப்படையிலான தீர்வு அடிப்படையிலான நேரடி-புல் படிக வளர்ச்சி உபகரணங்களைப் போலல்லாமல், இது அதிக ஆட்டோமேஷன் அளவைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் கவனிக்கத்தக்க மற்றும் சரிசெய்யக்கூடிய வளர்ச்சி செயல்முறைகளை அனுமதிக்கிறது, சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்கள் 2,000 ° C க்கு மேல் சீல் செய்யப்பட்ட உயர் வெப்பநிலை சூழலில் வளர்கின்றன, மேலும் உற்பத்தியின் போது துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது, வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை மிகவும் சவாலாக மாற்றுகிறது;

(2) படிக கட்டமைப்பு கட்டுப்பாட்டு சவால்கள்: வளர்ச்சி செயல்முறை மைக்ரோடூப்கள், பாலிமார்பிக் சேர்த்தல் மற்றும் இடப்பெயர்வுகள் போன்ற குறைபாடுகளுக்கு ஆளாகிறது, அவை ஒருவருக்கொருவர் தொடர்பு கொண்டு உருவாகின்றன.

மைக்ரோடூப்கள் (எம்.பி.) பல மைக்ரோமீட்டர் முதல் பல்லாயிரக்கணக்கான மைக்ரோமீட்டர்கள் வரை அளவிலான வகை குறைபாடுகள் ஆகும், மேலும் அவை சாதனங்களுக்கான கொலையாளி குறைபாடுகளாக கருதப்படுகின்றன; சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிகங்களில் 200 க்கும் மேற்பட்ட வெவ்வேறு படிக கட்டமைப்புகள் உள்ளன, ஆனால் ஒரு சில படிக கட்டமைப்புகள் மட்டுமே உற்பத்திக்கான குறைக்கடத்தி பொருட்களாக பொருத்தமானவை. வளர்ச்சியின் போது படிக கட்டமைப்பு மாற்றங்கள் பாலிமார்பிக் தூய்மையற்ற குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும், எனவே சிலிக்கான்-க்கு-கார்பன் விகிதத்தின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு, வளர்ச்சி வெப்பநிலை சாய்வு, படிக வளர்ச்சி விகிதம் மற்றும் வாயு ஓட்டம்/அழுத்தம் அளவுருக்கள் தேவை;

கூடுதலாக, சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிக வளர்ச்சியின் போது வெப்பத் துறையில் வெப்பநிலை சாய்வு முதன்மை உள் அழுத்தங்கள் மற்றும் இடப்பெயர்வுகள் (அடித்தள விமான இடப்பெயர்வுகள் பிபிடி, ட்விஸ்ட் இடப்பெயர்வுகள் டி.எஸ்.டி மற்றும் எட்ஜ் இடப்பெயர்வுகள் டெட்) போன்ற தூண்டப்பட்ட குறைபாடுகளை விளைவிக்கிறது, இது அடுத்தடுத்த எபிடாக்சியல் லேயர்கள் மற்றும் சாதனங்களின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை பாதிக்கிறது.

(3) ஊக்கமருந்து கட்டுப்பாட்டில் சிரமம்: திசையில் அளவிடப்பட்ட கடத்தும் படிகங்களைப் பெற வெளிப்புற அசுத்தங்கள் கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும்;

(4) மெதுவான வளர்ச்சி விகிதம்: சிலிக்கான் கார்பைட்டின் படிக வளர்ச்சி விகிதம் மிகவும் மெதுவாக உள்ளது. பாரம்பரிய சிலிக்கான் பொருட்கள் வெறும் 3 நாட்களில் ஒரு படிக தடியை உருவாக்க முடியும் என்றாலும், சிலிக்கான் கார்பைடு படிக தண்டுகளுக்கு 7 நாட்கள் தேவைப்படுகின்றன, இதன் விளைவாக இயல்பாகவே குறைந்த உற்பத்தி திறன் மற்றும் கடுமையாக வரையறுக்கப்பட்ட வெளியீடு ஏற்படுகிறது.

மறுபுறம், அளவுருக்கள்சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிஉபகரணங்கள் சீல் செயல்திறன், எதிர்வினை அறை அழுத்தம் நிலைத்தன்மை, வாயு அறிமுக நேரத்தின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு, துல்லியமான வாயு விகிதம் மற்றும் படிவு வெப்பநிலையின் கடுமையான மேலாண்மை உள்ளிட்ட மிகவும் கடுமையானவை. குறிப்பாக சாதன மின்னழுத்த மதிப்பீடுகள் அதிகரிக்கும் போது, ​​கோர் எபிடாக்சியல் செதில் அளவுருக்களைக் கட்டுப்படுத்துவதில் சிரமம் கணிசமாக அதிகரிக்கிறது. கூடுதலாக, எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தடிமன் அதிகரிக்கும் போது, ​​தடிமன் பராமரிக்கும் போது சீரான எதிர்ப்பை உறுதி செய்வதும், குறைபாடு அடர்த்தியைக் குறைப்பதும் மற்றொரு பெரிய சவாலாக மாறியுள்ளது.

மின் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பில், அனைத்து அளவுருக்கள் துல்லியமாகவும் நிலையானதாகவும் கட்டுப்படுத்தப்படுவதை உறுதிசெய்ய சென்சார்கள் மற்றும் ஆக்சுவேட்டர்களின் உயர் துல்லியமான ஒருங்கிணைப்பு தேவைப்படுகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் போது பல்வேறு மாற்றங்களுக்கு ஏற்ப பின்னூட்டம் சமிக்ஞைகளின் அடிப்படையில் நிகழ்நேரத்தில் கட்டுப்பாட்டு உத்திகளை சரிசெய்ய முடியும் என்பதால், கட்டுப்பாட்டு வழிமுறைகளை மேம்படுத்துவதும் மிக முக்கியமானது.

SIC அடி மூலக்கூறு உற்பத்தியில் முக்கிய சவால்கள்:

விநியோக பக்கத்திலிருந்து,Sic படிக வளர்ச்சி உலைகள். அவற்றில், சர்வதேச முன்னணி சிலிக்கான் கார்பைடு உற்பத்தியாளர்கள், வொல்ஃப்ஸ்பீட், ஒத்திசைவு மற்றும் ரோஹ்ம் முதன்மையாக படிக வளர்ச்சி உபகரணங்களைப் பயன்படுத்துகின்றனர், அதே நேரத்தில் மற்ற சர்வதேச சிலிக்கான் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு உற்பத்தியாளர்கள் முதன்மையாக ஜெர்மன் பி.வி.ஏ டெப்லா மற்றும் ஜப்பானிய நிசின் கிகாய் கோ.