ஃபேப் தொழிற்சாலையில் என்ன அளவீட்டு உபகரணங்கள் உள்ளன? - வெடெக் குறைக்கடத்தி

ஃபேப் தொழிற்சாலையில் பல வகையான அளவீட்டு உபகரணங்கள் உள்ளன. பின்வருபவை சில பொதுவான உபகரணங்கள்:

ஃபோட்டோலிதோகிராஃபி செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள்

• ஃபோட்டோலிதோகிராஃபி இயந்திர சீரமைப்பு துல்லியம் அளவீட்டு உபகரணங்கள்: ASML இன் சீரமைப்பு அளவீட்டு முறை போன்றவை, இது வெவ்வேறு அடுக்கு வடிவங்களின் துல்லியமான சூப்பர் போசிஷனை உறுதிப்படுத்த முடியும்.

• ஒளிச்சேர்க்கை தடிமன் அளவீட்டு கருவி: ஒளியின் துருவமுனைப்பு பண்புகளின் அடிப்படையில் ஒளிச்சேர்க்கையாளரின் தடிமன் கணக்கிடும் எலிப்சோமீட்டர்கள் போன்றவை உட்பட.

• ADIT மற்றும் AEI கண்டறிதல் உபகரணங்கள்: விஐபி ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸின் தொடர்புடைய கண்டறிதல் உபகரணங்கள் போன்ற ஒளிச்சேர்க்கைக்குப் பிறகு ஒளிச்சேர்க்கை வளர்ச்சி விளைவு மற்றும் முறை தரத்தைக் கண்டறிதல்.

பொறித்தல் செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள்

• ஆழம் அளவீட்டு உபகரணங்களை பொறித்தல்: வெள்ளை ஒளி இன்டர்ஃபெரோமீட்டர் போன்றவை, இது பொறித்தல் ஆழத்தில் சிறிய மாற்றங்களை துல்லியமாக அளவிட முடியும்.

சுயவிவர அளவீட்டு கருவி பொறித்தல்: எலக்ட்ரான் கற்றை அல்லது ஆப்டிகல் இமேஜிங் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி பொறித்த பின் வடிவத்தின் பக்க சுவர் கோணம் போன்ற சுயவிவர தகவல்களை அளவிட.

• சிடி-எஸ்இஎம்: டிரான்சிஸ்டர்கள் போன்ற நுண் கட்டமைப்புகளின் அளவை துல்லியமாக அளவிட முடியும்.

மெல்லிய திரைப்பட படிவு செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள்

Stard திரைப்பட தடிமன் அளவிடும் கருவிகள்.

• திரைப்பட அழுத்த அளவீட்டு உபகரணங்கள்: படத்தால் உருவாக்கப்படும் மன அழுத்தத்தை செதில் மேற்பரப்பில் அளவிடுவதன் மூலம், படத்தின் தரம் மற்றும் செதில் செயல்திறனில் அதன் சாத்தியமான தாக்கம் ஆகியவை தீர்மானிக்கப்படுகின்றன.

ஊக்கமருந்து செயல்முறை அளவிடும் உபகரணங்கள்

• அயன் உள்வைப்பு டோஸ் அளவிடும் உபகரணங்கள்: அயன் பொருத்துதலின் போது பீம் தீவிரம் போன்ற அளவுருக்களைக் கண்காணிப்பதன் மூலம் அயன் உள்வைப்பு அளவைத் தீர்மானிக்கவும் அல்லது பொருத்தப்பட்ட பின் செதிலில் மின் சோதனைகளைச் செய்வது.

• ஊக்கமருந்து செறிவு மற்றும் விநியோக அளவீட்டு உபகரணங்கள்.

சி.எம்.பி செயல்முறை அளவிடும் உபகரணங்கள்

• பிந்தைய உருவக தட்டையானது அளவிடும் உபகரணங்கள்: மெருகூட்டிய பின் செதில் மேற்பரப்பின் தட்டையான தன்மையை அளவிட ஆப்டிகல் ப்ரொபிலோமீட்டர்கள் மற்றும் பிற உபகரணங்களைப் பயன்படுத்தவும்.

• மெருகூட்டல் நீக்குதல் அளவீட்டு உபகரணங்கள்: மெருகூட்டுவதற்கு முன்னும் பின்னும் செதில் மேற்பரப்பில் ஒரு அடையாளத்தின் ஆழம் அல்லது தடிமன் மாற்றத்தை அளவிடுவதன் மூலம் மெருகூட்டலின் போது அகற்றப்பட்ட பொருட்களின் அளவைத் தீர்மானிக்கவும்.

செதில் துகள் கண்டறிதல் உபகரணங்கள்

• KLA SP 1/2/3/5/7 மற்றும் பிற உபகரணங்கள்: செதில் மேற்பரப்பில் துகள் மாசுபாட்டை திறம்பட கண்டறிய முடியும்.

• டொர்னாடோ தொடர்: விஐபி ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸின் டொர்னாடோ தொடர் உபகரணங்கள் செதிலில் உள்ள துகள்கள் போன்ற குறைபாடுகளைக் கண்டறியலாம், குறைபாடு வரைபடங்களை உருவாக்குகின்றன மற்றும் சரிசெய்தலுக்கான தொடர்புடைய செயல்முறைகளுக்கு பின்னூட்டங்கள்.

• ஆல்ஃபா-எக்ஸ் நுண்ணறிவு காட்சி ஆய்வு உபகரணங்கள்.

பிற அளவீட்டு உபகரணங்கள்

• ஆப்டிகல் நுண்ணோக்கி: செதில் மேற்பரப்பில் உள்ள நுண் கட்டமைப்பு மற்றும் குறைபாடுகளைக் கவனிக்கப் பயன்படுகிறது.

Elect எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி (SEM) ஸ்கேனிங்: செதில் மேற்பரப்பின் நுண்ணிய உருவ அமைப்பைக் கவனிக்க அதிக தெளிவுத்திறன் படங்களை வழங்க முடியும்.

• அணுசக்தி நுண்ணோக்கி (AFM): செதில் மேற்பரப்பின் கடினத்தன்மை போன்ற தகவல்களை அளவிட முடியும்.

• நீள்வட்டமானி: ஒளிச்சேர்க்கையாளரின் தடிமன் அளவிடுவதோடு மட்டுமல்லாமல், மெல்லிய படங்களின் தடிமன் மற்றும் ஒளிவிலகல் குறியீடு போன்ற அளவுருக்களை அளவிடவும் இதைப் பயன்படுத்தலாம்.

• நான்கு-ஆய்வு சோதனையாளர்: செதில் எதிர்ப்பு போன்ற மின் செயல்திறன் அளவுருக்களை அளவிட பயன்படுகிறது.

• எக்ஸ்ரே டிஃப்ராக்ரோமீட்டர் (எக்ஸ்ஆர்டி): செதில் பொருட்களின் படிக அமைப்பு மற்றும் அழுத்த நிலையை பகுப்பாய்வு செய்யலாம்.

• எக்ஸ்ரே ஃபோட்டோ எலக்ட்ரான் ஸ்பெக்ட்ரோமீட்டர் (எக்ஸ்பிஎஸ்): செதில் மேற்பரப்பின் அடிப்படை கலவை மற்றும் வேதியியல் நிலையை பகுப்பாய்வு செய்யப் பயன்படுகிறது.

• கவனம் செலுத்திய அயன் பீம் நுண்ணோக்கி (FIB): மைக்ரோ நானோ செயலாக்கம் மற்றும் செதில்களில் பகுப்பாய்வு செய்ய முடியும்.

• மேக்ரோ ADI உபகரணங்கள்: வட்டம் இயந்திரம் போன்றவை, லித்தோகிராஃபிக்குப் பிறகு முறை குறைபாடுகளை மேக்ரோவைக் கண்டறிவதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

• முகமூடி குறைபாடு கண்டறிதல் உபகரணங்கள்: லித்தோகிராஃபி வடிவத்தின் துல்லியத்தை உறுதிப்படுத்த முகமூடியில் உள்ள குறைபாடுகளைக் கண்டறிதல்.

• டிரான்ஸ்மிஷன் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி (TEM): செதிலுக்குள் உள்ள நுண் கட்டமைப்பு மற்றும் குறைபாடுகளை அவதானிக்கலாம்.

• வயர்லெஸ் வெப்பநிலை அளவீட்டு வேஃபர் சென்சார்: பலவிதமான செயல்முறை உபகரணங்களுக்கு ஏற்றது, வெப்பநிலை துல்லியம் மற்றும் சீரான தன்மையை அளவிடுதல்.