பொறிப்பதற்கான கவனம் மோதிரம்

பிளாஸ்மா சூழல் நிலைத்தன்மையை பராமரிப்பதன் மூலமும், உபகரணங்கள் மற்றும் செதில்களைப் பாதுகாப்பதன் மூலமும், வள பயன்பாட்டை மேம்படுத்துவதன் மூலமும், மேம்பட்ட செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்றவாறு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் பொறித்தல் மோதிரங்கள் குறைக்கடத்தி பொறித்தல் செயல்முறைகளில் அத்தியாவசிய கூறுகள். அதன் செயல்திறன் சிப் உற்பத்தியின் மகசூல் மற்றும் செலவை நேரடியாக பாதிக்கிறது.

பொறிக்கப்பட்ட கவனம் வளையம், எலக்ட்ரோடு மற்றும் முதலியன (விளிம்பு வெப்பநிலை கட்டுப்படுத்தி) என்பது பிளாஸ்மா சீரான தன்மை, வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு மற்றும் செயல்முறை மீண்டும் நிகழ்தகவை உறுதி செய்வதற்கான முக்கிய நுகர்பொருட்கள். இந்த கூறுகள் சி.வி.டி, பொறித்தல் மற்றும் திரைப்பட உபகரணங்களின் வெற்றிட அறையில் துல்லியமாக கூடியிருக்கின்றன, மேலும் எட்ஜிங் எட்ஜிலிருந்து செதிலின் மையத்திற்கு துல்லியத்தையும் விளைச்சலையும் நேரடியாக தீர்மானிக்கின்றன.

உயர்நிலை உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பொருள் பண்புகளுக்கான கடுமையான தேவைக்கு பதிலளிக்கும் விதமாக, வெடெக்செமி உயர் தூய்மை மோனோக்ரிஸ்டலின் சிலிக்கானைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் 10-20Ω · செ.மீ எதிர்ப்புடன் கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் மற்றும் நுகர்பொருட்களை ஆதரிக்கிறது. பொருள் அறிவியல், மின் வடிவமைப்பு மற்றும் வெப்ப இயக்கவியல் ஆகியவற்றின் கூட்டு தேர்வுமுறை மூலம், வெடெக்செமி கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் மற்றும் நுகர்பொருட்களை ஆதரிக்க முடியும். நீண்ட ஆயுள், துல்லியம் மற்றும் செலவு செயல்திறன் ஆகியவற்றில் திருப்புமுனை மேம்பாடுகளை அடைய பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் தீர்வுகளை விரிவாக மிஞ்சும்.

முக்கிய பொருள் ஒப்பீடு மற்றும் எதிர்ப்பு உகப்பாக்கம்

மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் Vs. குவார்ட்ஸ்

தயாரிப்பு மைய நன்மைe

1. அணு நிலை செயல்முறை துல்லியம்

எதிர்ப்பு உகப்பாக்கம் + அல்ட்ரா-துல்லிய மெருகூட்டல் (ஆர்.ஏ <0.1μm) அரை எஃப் 47 தரங்களை பூர்த்தி செய்ய மைக்ரோ-டிஸ்சார்ஜ் மற்றும் துகள் மாசுபாட்டை நீக்குகிறது.

மின்கடத்தா இழப்பு (TANΔ <0.001) செதில் மின்கடத்தா சூழலுடன் மிகவும் பொருந்துகிறது, விளிம்பில் மின்சார புலம் விலகலைத் தவிர்த்து, 3D NAND 89.5 ± ± 0.3 ° செங்குத்து ஆழமான துளை பொறிப்புக்கு ஆதரவளிக்கிறது.

2. அறிவார்ந்த அமைப்பு பொருந்தக்கூடிய தன்மை

ETC எட்ஜ் வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு தொகுதியுடன் ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட, குளிரூட்டும் காற்று ஓட்டம் அறையின் வெப்ப சறுக்கலை ஈடுசெய்ய தெர்மோகப்பிள் மற்றும் AI வழிமுறையால் மாறும் வகையில் சரிசெய்யப்படுகிறது.

அமட் செஞ்சுரா, லாம் ரிசர்ச் கியோ மற்றும் ஐசிபி/சிசிபி பிளாஸ்மா மூலங்கள் போன்ற பிரதான இயந்திரங்களுக்கு ஏற்ற தனிப்பயனாக்கப்பட்ட ஆர்எஃப் பொருந்தும் நெட்வொர்க்கை ஆதரிக்கவும்.

3. விரிவான செலவு-செயல்திறன்

மோனோக்ரிஸ்டலின் சிலிக்கானின் வாழ்க்கை குவார்ட்ஸை விட 275% நீளமானது, பராமரிப்பு சுழற்சி 3,000 மணி நேரத்திற்கும் மேலாக உள்ளது, மேலும் உரிமையின் விரிவான செலவு (டி.சி.ஓ) 30% குறைக்கப்படுகிறது.

எதிர்ப்பு சாய்வு தனிப்பயனாக்குதல் சேவை (5-100Ω · செ.மீ), வாடிக்கையாளர் செயல்முறை சாளரத்தை துல்லியமாக பொருத்துகிறது (GAN/SIC பரந்த இசைக்குழு இடைவெளி பொருள் பொறித்தல் போன்றவை).

எதிர்ப்பின் விளைவு

தயாரிப்பு வணிக விதிமுறைகள்

குறைந்தபட்ச ஆர்டர் அளவு	1 செட்
விலை	தனிப்பயனாக்கப்பட்ட மேற்கோளுக்கு தொடர்பு
பேக்கேஜிங் விவரங்கள்	நிலையான ஏற்றுமதி தொகுப்பு
விநியோக நேரம்	விநியோக நேரம்: ஆர்டர் உறுதிப்படுத்தப்பட்ட 30-35 நாட்கள்
கட்டண விதிமுறைகள்	டி/டி
விநியோக திறன்	600 செட்/மாதம்