பொறித்தல் செயல்பாட்டில் உள்ள சிக்கல்கள்

பொறித்தல்குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் முக்கிய படிகளில் தொழில்நுட்பம் ஒன்றாகும், இது ஒரு சுற்று வடிவத்தை உருவாக்க செதில் இருந்து குறிப்பிட்ட பொருட்களை அகற்ற பயன்படுகிறது. இருப்பினும், உலர் பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது, ​​பொறியாளர்கள் பெரும்பாலும் ஏற்றுதல் விளைவு, மைக்ரோ-க்ரூவ் விளைவு மற்றும் சார்ஜிங் விளைவு போன்ற சிக்கல்களை எதிர்கொள்கின்றனர், இது இறுதி உற்பத்தியின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கிறது.

 Ⅰ ஏற்றுதல் விளைவு

ஏற்றுதல் விளைவு என்பது பொறித்தல் பரப்பளவு அதிகரிக்கும் போது அல்லது வறண்ட பொறிப்பின் போது பொறித்தல் ஆழம் அதிகரிக்கும் போது, ​​பொறித்தல் வீதம் குறைகிறது அல்லது எதிர்வினை பிளாஸ்மாவின் போதிய விநியோகத்தால் பொறித்தல் சீரற்றதாக இருக்கும் என்ற நிகழ்வைக் குறிக்கிறது. இந்த விளைவு பொதுவாக பிளாஸ்மா அடர்த்தி மற்றும் சீரான தன்மை, வெற்றிட பட்டம் போன்ற பொறிப்பு அமைப்பின் பண்புகளுடன் தொடர்புடையது, மேலும் பல்வேறு எதிர்வினை அயன் பொறிப்பில் பரவலாக உள்ளது.

 •பிளாஸ்மா அடர்த்தி மற்றும் சீரான தன்மையை மேம்படுத்தவும்: பிளாஸ்மா மூலத்தின் வடிவமைப்பை மேம்படுத்துவதன் மூலம், அதிக திறமையான RF சக்தி அல்லது மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், அதிக அடர்த்தி மற்றும் ஒரே சீராக விநியோகிக்கப்படும் பிளாஸ்மாவை உருவாக்க முடியும்.

 •எதிர்வினை வாயுவின் கலவையை சரிசெய்யவும்: எதிர்வினை வாயுவில் பொருத்தமான அளவு துணை வாயுவைச் சேர்ப்பது பிளாஸ்மாவின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்தலாம் மற்றும் பொறித்தல் துணை தயாரிப்புகளை திறம்பட வெளியேற்றுவதை ஊக்குவிக்கும்.

 •வெற்றிட அமைப்பை மேம்படுத்தவும்: வெற்றிட பம்பின் உந்தி வேகம் மற்றும் செயல்திறனை அதிகரிப்பது, அறையில் துணை தயாரிப்புகளை பொறிக்கும் நேரத்தை குறைக்க உதவுகிறது, இதனால் சுமை விளைவை குறைக்கலாம்.

 •நியாயமான ஃபோட்டோலிதோகிராஃபி அமைப்பை வடிவமைக்கவும்: ஃபோட்டோலிதோகிராஃபி அமைப்பை வடிவமைக்கும் போது, ​​சுமை விளைவின் தாக்கத்தை குறைக்க உள்ளூர் பகுதிகளில் அதிக அடர்த்தியான ஏற்பாட்டைத் தவிர்க்க, வடிவத்தின் அடர்த்தி கணக்கில் எடுத்துக்கொள்ளப்பட வேண்டும்.

 Ⅱ மைக்ரோ-குறைப்பு விளைவு

மைக்ரோ-டிரெஞ்சிங் விளைவு என்பது, பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது, ​​அதிக ஆற்றல் கொண்ட துகள்கள் செதுக்கும் மேற்பரப்பை சாய்ந்த கோணத்தில் தாக்குவதால், பக்கச் சுவருக்கு அருகில் உள்ள செதுக்கல் வீதம் மையப் பகுதியில் இருப்பதை விட அதிகமாக உள்ளது, இதன் விளைவாக அல்லாதது பக்க சுவரில் செங்குத்து அறைகள். இந்த நிகழ்வு சம்பவ துகள்களின் கோணம் மற்றும் பக்க சுவரின் சாய்வுடன் நெருக்கமாக தொடர்புடையது.

 •RF சக்தியை அதிகரிக்கவும்: RF சக்தியை சரியாக அதிகரிப்பது, சம்பவத் துகள்களின் ஆற்றலை அதிகரிக்கச் செய்து, இலக்கு மேற்பரப்பை மேலும் செங்குத்தாக குண்டுவீசித் தாக்க அனுமதிக்கிறது, இதன் மூலம் பக்கச் சுவரின் பொறிப்பு விகிதத்தை       குறைக்கிறது.

 •சரியான பொறிப்பு முகமூடி பொருளைத் தேர்வுசெய்க: சில பொருட்கள் சார்ஜிங் விளைவை சிறப்பாக எதிர்க்கும் மற்றும் முகமூடியில் எதிர்மறை கட்டணம் குவிப்பதால் மோசமடைந்துள்ள மைக்ரோ-குறைப்பு விளைவைக் குறைக்கலாம்.

 •பொறித்தல் நிலைமைகளை மேம்படுத்தவும்: பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தம் போன்ற அளவுருக்களை நேர்த்தியாக சரிசெய்வதன் மூலம், பொறிப்பின் தேர்வு மற்றும் சீரான தன்மையை திறம்பட கட்டுப்படுத்த முடியும்.

 Ⅲ  சார்ஜிங் விளைவு

சார்ஜிங் விளைவு பொறித்தல் முகமூடியின் இன்சுலேடிங் பண்புகளால் ஏற்படுகிறது. பிளாஸ்மாவில் உள்ள எலக்ட்ரான்கள் விரைவாக தப்பிக்க முடியாதபோது, ​​அவை முகமூடி மேற்பரப்பில் ஒரு உள்ளூர் மின்சார புலத்தை உருவாக்கி, சம்பவத் துகள்களின் பாதையில் தலையிடுகின்றன, மேலும் பொறிப்பின் அனிசோட்ரோபியை பாதிக்கும், குறிப்பாக சிறந்த கட்டமைப்புகளை பொறிக்கும்போது.

 • பொருத்தமான எச்சிங் மாஸ்க் பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்: சில சிறப்பாக சிகிச்சையளிக்கப்பட்ட பொருட்கள் அல்லது கடத்தும் முகமூடி அடுக்குகள் எலக்ட்ரான்களின் திரட்டலை திறம்பட குறைக்கும்.

 •இடைப்பட்ட பொறிப்பைச் செயல்படுத்தவும்: எச்சிங் செயல்முறையை அவ்வப்போது குறுக்கிடுவதன் மூலமும், எலக்ட்ரான்கள் தப்பிக்க போதுமான நேரத்தை வழங்குவதன் மூலமும், சார்ஜிங் விளைவை கணிசமாகக் குறைக்கலாம்.

 •பொறித்தல் சூழலை சரிசெய்யவும்: பொறித்தல் சூழலில் எரிவாயு கலவை, அழுத்தம் மற்றும் பிற நிலைமைகளை மாற்றுவது பிளாஸ்மாவின் ஸ்திரத்தன்மையை மேம்படுத்தவும், சார்ஜிங் விளைவின் நிகழ்வைக் குறைக்கவும் உதவும்.