குறைக்கடத்தி செயல்முறை: வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி)

குறைக்கடத்திகள் மற்றும் FPD பேனல் காட்சிகளில், மெல்லிய படலங்களை தயாரிப்பது ஒரு முக்கியமான செயலாகும். மெல்லிய படங்களை (TF, Thin Film) தயாரிக்க பல வழிகள் உள்ளன, பின்வரும் இரண்டு முறைகள் பொதுவானவை:

● சி.வி.டி (வேதியியல் நீராவி படிவு)

● PVD (உடல் நீராவி படிவு)

அவற்றில், இடையக அடுக்கு/செயலில் அடுக்கு/இன்சுலேடிங் லேயர் அனைத்தும் பி.இ.சி.வி.டி.

● சிறப்பு வாயுக்களைப் பயன்படுத்தவும்: SiN மற்றும் Si/SiO2 படங்களின் படிவுக்காக SiH4/NH3/N2O.

● சில CVD இயந்திரங்கள் கேரியர் இயக்கத்தை அதிகரிக்க ஹைட்ரஜனேற்றத்திற்கு H2 ஐப் பயன்படுத்த வேண்டும்.

● NF3 ஒரு துப்புரவு வாயு. ஒப்பிடுகையில்: F2 மிகவும் நச்சுத்தன்மையுடையது, மற்றும் SF6 இன் கிரீன்ஹவுஸ் விளைவு NF3 ஐ விட அதிகமாக உள்ளது.

குறைக்கடத்தி சாதன செயல்பாட்டில், பொதுவான SIO2/Si/பாவத்திற்கு கூடுதலாக, W, TI/TIN, HFO2, SIC, ETC.

பல்வேறு வகையான மெல்லிய படங்களை உருவாக்குவதற்காக, குறைக்கடத்தி துறையில் பயன்படுத்தப்பட்ட மேம்பட்ட பொருட்களுக்கு பல வகையான முன்னோடிகள் இருப்பதற்கும் இதுவே காரணம்.

நாங்கள் அதை பின்வரும் வழியில் விளக்குகிறோம்:

1. சி.வி.டி மற்றும் சில முன்னோடி வாயுக்கள் வகைகள்

2. CVD மற்றும் திரைப்படத் தரத்தின் அடிப்படை வழிமுறை

1. சி.வி.டி மற்றும் சில முன்னோடி வாயுக்கள் வகைகள்

CVD மிகவும் பொதுவான கருத்து மற்றும் பல வகைகளாக பிரிக்கலாம். பொதுவானவை:

● Pecvd: பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட சி.வி.டி.

● எல்பிசிவிடி: குறைந்த அழுத்தம் சி.வி.டி.

Al ALD: அணு அடுக்கு படிவு

● MOCVD: உலோக-கரிம CVD

சி.வி.டி செயல்பாட்டின் போது, ​​வேதியியல் எதிர்வினைகளுக்கு முன் முன்னோடியின் வேதியியல் பிணைப்புகள் உடைக்கப்பட வேண்டும்.

வேதியியல் பிணைப்புகளை உடைப்பதற்கான ஆற்றல் வெப்பத்திலிருந்து வருகிறது, எனவே அறை வெப்பநிலை ஒப்பீட்டளவில் அதிகமாக இருக்கும், இது பேனலின் அடி மூலக்கூறு கண்ணாடி அல்லது நெகிழ்வான திரையின் PI பொருள் போன்ற சில செயல்முறைகளுக்கு நட்பாக இருக்காது. எனவே, வெப்பநிலை தேவைப்படும் சில செயல்முறைகளைச் சந்திக்க செயல்முறை வெப்பநிலையைக் குறைக்க மற்ற ஆற்றலை உள்ளீடு செய்வதன் மூலம் (பிளாஸ்மா, முதலியன), வெப்ப பட்ஜெட்டும் குறைக்கப்படும்.

எனவே, A-Si:H/SiN/poly-Si இன் PECVD படிவு FPD காட்சித் துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பொதுவான CVD முன்னோடிகள் மற்றும் படங்கள்:

பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான்/ஒற்றை படிக சிலிக்கான் சியோ 2 சின்/சியோன் w/ti wsi2 HFO2/sic

சி.வி.டி.யின் அடிப்படை பொறிமுறையின் படிகள்:

1. எதிர்வினை முன்னோடி வாயு அறைக்குள் நுழைகிறது

2. வாயு எதிர்வினையால் உற்பத்தி செய்யப்படும் இடைநிலை தயாரிப்புகள்

3. வாயுவின் இடைநிலை தயாரிப்புகள் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் பரவுகின்றன

4. அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் உறிஞ்சப்பட்டு பரவுகிறது

5. வேதியியல் எதிர்வினை அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் ஏற்படுகிறது, அணுக்கரு/தீவு உருவாக்கம்/பட உருவாக்கம்

6.

முன்னர் குறிப்பிட்டபடி, முழு செயல்முறையும் பரவல் / உறிஞ்சுதல் / எதிர்வினை போன்ற பல படிகளை உள்ளடக்கியது. ஒட்டுமொத்த பட உருவாக்க விகிதம் வெப்பநிலை/அழுத்தம்/எதிர்வினை வாயு/அடி மூலக்கூறு வகை போன்ற பல காரணிகளால் பாதிக்கப்படுகிறது. பரவல் கணிப்புக்கு ஒரு பரவல் மாதிரியைக் கொண்டுள்ளது, உறிஞ்சுதல் ஒரு உறிஞ்சுதல் கோட்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் வேதியியல் எதிர்வினை ஒரு எதிர்வினை இயக்கவியல் கோட்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது.

முழு செயல்முறையிலும், மெதுவான படி முழு எதிர்வினை வீதத்தையும் தீர்மானிக்கிறது. இது திட்ட மேலாண்மையின் முக்கியமான பாதை முறைக்கு மிகவும் ஒத்ததாகும். மிக நீண்ட செயல்பாட்டு ஓட்டம் குறுகிய திட்ட காலத்தை தீர்மானிக்கிறது. இந்தப் பாதையின் நேரத்தைக் குறைக்க வளங்களை ஒதுக்குவதன் மூலம் கால அளவைக் குறைக்கலாம். இதேபோல், சி.வி.டி முழு செயல்முறையையும் புரிந்துகொள்வதன் மூலம் திரைப்பட உருவாக்கம் வீதத்தைக் கட்டுப்படுத்தும் முக்கிய இடையூறைக் காணலாம், மேலும் சிறந்த திரைப்பட உருவாக்கம் விகிதத்தை அடைய அளவுரு அமைப்புகளை சரிசெய்யலாம்.

2. CVD படத்தின் தரத்தை மதிப்பீடு செய்தல்

சில படங்கள் தட்டையானவை, சில துளைகளை நிரப்பும், மற்றும் சில பள்ளம் நிரப்புதல், மிகவும் வித்தியாசமான செயல்பாடுகளுடன். வணிக CVD இயந்திரங்கள் அடிப்படைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்:

● இயந்திர செயலாக்க திறன், படிவு விகிதம்

● நிலைத்தன்மை

● வாயு கட்ட எதிர்வினைகள் துகள்களை உருவாக்க முடியாது. வாயு கட்டத்தில் துகள்களை உருவாக்காதது மிகவும் முக்கியம்.

வேறு சில மதிப்பீட்டுத் தேவைகள் பின்வருமாறு:

Step நல்ல படி கவரேஜ்

● உயர் விகித இடைவெளிகளை நிரப்பும் திறன் (இணக்கத்தன்மை)

● நல்ல தடிமன் சீரான தன்மை

● அதிக தூய்மை மற்றும் அடர்த்தி

Film குறைந்த பட அழுத்தத்துடன் அதிக அளவு கட்டமைப்பு முழுமையை

● நல்ல மின் பண்புகள்

Sub அடி மூலக்கூறு பொருளுக்கு சிறந்த ஒட்டுதல்