நுண்துளை டான்டலம் கார்பைடு: SiC படிக வளர்ச்சிக்கான புதிய தலைமுறை பொருட்கள்

கடத்தும் SiC அடி மூலக்கூறுகளின் படிப்படியான வெகுஜன உற்பத்தியுடன், செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யும் திறன் ஆகியவற்றில் அதிக தேவைகள் வைக்கப்படுகின்றன. குறிப்பாக, உலைகளில் உள்ள வெப்பத் துறையில் குறைபாடுகள், சிறிய சரிசெய்தல் அல்லது சறுக்கல்களின் கட்டுப்பாடு, படிகத்தின் மாற்றங்கள் அல்லது குறைபாடுகளின் அதிகரிப்புக்கு வழிவகுக்கும்.

பிந்தைய கட்டத்தில், "வேகமாக வளர்ந்து, அடர்த்தியான மற்றும் நீண்ட காலம்" என்ற சவாலை எதிர்கொள்வோம். கோட்பாடு மற்றும் பொறியியலின் முன்னேற்றத்திற்கு கூடுதலாக, மிகவும் மேம்பட்ட வெப்ப புலப் பொருட்கள் ஆதரவாக தேவைப்படுகின்றன. மேம்பட்ட படிகங்களை வளர்க்க மேம்பட்ட பொருட்களைப் பயன்படுத்தவும்.

கிராஃபைட், நுண்துளை கிராஃபைட் மற்றும் டான்டலம் கார்பைடு தூள் போன்ற பொருட்களை முறையற்ற முறையில் வெப்பப் புலத்தில் உள்ள க்ரூசிபில் பயன்படுத்தினால், அதிகரித்த கார்பன் சேர்ப்பு போன்ற குறைபாடுகள் ஏற்படும். கூடுதலாக, சில பயன்பாடுகளில், நுண்ணிய கிராஃபைட்டின் ஊடுருவல் போதுமானதாக இல்லை, மேலும் ஊடுருவலை அதிகரிக்க கூடுதல் துளைகள் திறக்கப்பட வேண்டும். அதிக ஊடுருவக்கூடிய நுண்ணிய கிராஃபைட் செயலாக்கம், தூள் இழப்பு மற்றும் பொறித்தல் போன்ற சவால்களை எதிர்கொள்கிறது.

சமீபத்தில், வெடெக் குறைக்கடத்தி ஒரு புதிய தலைமுறை எஸ்.ஐ.சி படிக வளர்ச்சி வெப்ப புலப் பொருட்களை அறிமுகப்படுத்தியது,போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு, உலகில் முதல் முறையாக.

டான்டலம் கார்பைடு அதிக வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மை கொண்டது, மேலும் அதை நுண்துளைகளாக மாற்றுவது இன்னும் சவாலானது. பெரிய போரோசிட்டி மற்றும் அதிக தூய்மையுடன் நுண்ணிய டான்டலம் கார்பைடை உருவாக்குவது இன்னும் சவாலானது. VeTek செமிகண்டக்டர் பெரிய போரோசிட்டியுடன் ஒரு திருப்புமுனை நுண்ணிய டான்டலம் கார்பைடை அறிமுகப்படுத்தியுள்ளது,அதிகபட்சமாக 75%போரோசிட்டியுடன், சர்வதேச முன்னணி நிலையை அடைகிறது.

கூடுதலாக, இது வாயு கட்ட கூறு வடிகட்டுதல், உள்ளூர் வெப்பநிலை சாய்வுகளை சரிசெய்தல், பொருள் ஓட்டத்தின் திசையை வழிநடத்துதல், கசிவைக் கட்டுப்படுத்துதல், முதலியன பயன்படுத்தப்படலாம். இது மற்றொரு திடமான டான்டலம் கார்பைடு (அடர்த்தியான) அல்லது வெடெக் செமிகண்டக்டரின் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுடன் இணைந்து வெவ்வேறு உள்ளூர் ஓட்டக் கடத்தல்களுடன் கூறுகளை உருவாக்கலாம்; சில கூறுகளை மீண்டும் பயன்படுத்தலாம்.

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

போரோசிட்டி ≤75% சர்வதேச முன்னணி

வடிவம்: ஃப்ளேக், உருளை சர்வதேச முன்னணி

சீரான போரோசிட்டி

VeTek செமிகண்டக்டர் போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பின்வரும் தயாரிப்பு அம்சங்களைக் கொண்டுள்ளது

Bess பல்துறை பயன்பாடுகளுக்கான போரோசிட்டி

TAC இன் நுண்ணிய அமைப்பு மல்டிஃபங்க்ஸ்னலிட்டியை வழங்குகிறது, இது போன்ற சிறப்பு காட்சிகளில் அதன் பயன்பாட்டை செயல்படுத்துகிறது:

வாயு பரவல்: குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் துல்லியமான வாயு ஓட்டக் கட்டுப்பாட்டை எளிதாக்குகிறது.

வடிகட்டுதல்: உயர் செயல்திறன் துகள்கள் பிரிப்பு தேவைப்படும் சூழல்களுக்கு ஏற்றது.

கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெப்பச் சிதறல்உயர் வெப்பநிலை அமைப்புகளில் வெப்பத்தை திறம்பட நிர்வகிக்கிறது, ஒட்டுமொத்த வெப்ப ஒழுங்குமுறையை மேம்படுத்துகிறது.

High தீவிர உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு

ஏறக்குறைய 3,880 ° C உருகும் புள்ளியுடன், டான்டலம் கார்பைடு அதி-உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில் சிறந்து விளங்குகிறது. இந்த விதிவிலக்கான வெப்ப எதிர்ப்பு பெரும்பாலான பொருட்கள் தோல்வியடையும் நிலைமைகளில் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

Host உயர்ந்த கடினத்தன்மை மற்றும் ஆயுள்

மோஹெச்எஸ் கடினத்தன்மை அளவில் 9-10 தரவரிசை, வைரத்தைப் போலவே, நுண்ணிய டிஏசி இயந்திர உடைகளுக்கு இணையற்ற எதிர்ப்பை நிரூபிக்கிறது, தீவிர மன அழுத்தத்தின் கீழ் கூட. இந்த ஆயுள் சிராய்ப்பு சூழல்களுக்கு வெளிப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

●   விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை

டான்டலம் கார்பைடு அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் தீவிர வெப்பத்தில் செயல்திறனைத் தக்க வைத்துக் கொள்கிறது. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி மற்றும் விண்வெளி போன்ற உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை தேவைப்படும் தொழில்களில் அதன் குறிப்பிடத்தக்க வெப்ப நிலைத்தன்மை நம்பகமான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.

Hal சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்

அதன் நுண்ணிய தன்மை இருந்தபோதிலும், போரஸ் TaC திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை பராமரிக்கிறது, விரைவான வெப்பச் சிதறல் முக்கியமான அமைப்புகளில் அதன் பயன்பாட்டை செயல்படுத்துகிறது. இந்த அம்சம் வெப்ப-தீவிர செயல்முறைகளில் பொருளின் பொருந்தக்கூடிய தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

பரிமாண நிலைத்தன்மைக்கு குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம்

குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகத்துடன், டான்டலம் கார்பைடு வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களால் ஏற்படும் பரிமாண மாற்றங்களை எதிர்க்கிறது. இந்த சொத்து வெப்ப அழுத்தத்தை குறைக்கிறது, கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டிக்கிறது மற்றும் முக்கியமான அமைப்புகளில் துல்லியத்தை பராமரிக்கிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பின்வரும் குறிப்பிட்ட முக்கிய பாத்திரங்களை வகிக்கிறது

●  பிளாஸ்மா பொறித்தல் மற்றும் CVD போன்ற உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில், VeTek செமிகண்டக்டர் போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு பெரும்பாலும் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கு பாதுகாப்பு பூச்சாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது TaC பூச்சு மற்றும் அதன் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையின் வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பு காரணமாகும். இந்த பண்புகள் வினைத்திறன் வாயுக்கள் அல்லது தீவிர வெப்பநிலைக்கு வெளிப்படும் மேற்பரப்புகளை திறம்பட பாதுகாக்கிறது, இதன் மூலம் உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் இயல்பான எதிர்வினையை உறுதி செய்கிறது.

Problep பரவல் செயல்முறைகளில், அதிக வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் பொருட்கள் கலப்பதைத் தடுக்க நுண்ணிய டான்டலம் கார்பைடு ஒரு பயனுள்ள பரவல் தடையாக செயல்படும். அயன் உள்வைப்பு மற்றும் குறைக்கடத்தி செதில்களின் தூய்மை கட்டுப்பாடு போன்ற செயல்முறைகளில் டோபண்டுகளின் பரவலைக் கட்டுப்படுத்த இந்த அம்சம் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

We வெடெக் செமிகண்டக்டர் நுண்ணிய டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அமைப்பு துல்லியமான வாயு ஓட்டக் கட்டுப்பாடு அல்லது வடிகட்டுதல் தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி செயலாக்க சூழல்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது. இந்த செயல்பாட்டில், நுண்ணிய TAC முக்கியமாக எரிவாயு வடிகட்டுதல் மற்றும் விநியோகத்தின் பங்கை வகிக்கிறது. வடிகட்டுதல் செயல்பாட்டின் போது அசுத்தங்கள் எதுவும் அறிமுகப்படுத்தப்படுவதில்லை என்பதை அதன் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை உறுதி செய்கிறது. இது பதப்படுத்தப்பட்ட உற்பத்தியின் தூய்மையை திறம்பட உறுதி செய்கிறது.

இழப்பீட்டு குறைக்கடத்தி பற்றி

ஒரு சீன தொழில்முறை நுண்துளை டான்டலம் கார்பைடு உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை என, எங்களிடம் எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய உங்களுக்கு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த போரஸ் டான்டலம் கார்பைடை வாங்க விரும்பினாலும், நீங்கள் எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை அனுப்பலாம்.

உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால்போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு、டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட்மற்றும் பிறடான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கூறுகள், தயவுசெய்து எங்களுடன் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

☏☏☏கும்பல்/வாட்ஸ்அப்: +86-180 6922 0752

☏☏☏மின்னஞ்சல்: anny@veteksemi.com