செய்தி

MOCVD எபிடாக்ஸி கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்களில் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளின் விளிம்பு மஞ்சள் மற்றும் உரிக்கப்படுவதற்கான காரணங்கள் பற்றிய ஆழமான பகுப்பாய்வு. ஆரம்ப சிவிடி படிவு வீதம் மற்றும் ஓட்டப் புலத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தி, பூச்சு விளைச்சலை 50% முதல் 90% வரை அதிகரிப்பதன் மூலம் மற்றும் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் பாகங்களின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிப்பதன் மூலம் VeTek நுண்ணிய அழுத்தத்தை நீக்கியது.

மல்டி-பாக்கெட் சிலிக்கான் எபிடாக்சி கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்களில் 1.4% பாக்கெட்-டு-பாக்கெட் தடிமன் மாறுபாட்டை நிவர்த்தி செய்து, VeTek Semi susceptor flatness ஐ <0.08mmக்கு மேம்படுத்தியது மற்றும் CVD ஃப்ளோ ஃபீல்ட் சிமுலேஷன் மற்றும் அதி-துல்லியமான விளைச்சல் மூலம் 0.69% மாறுபாட்டைக் குறைத்தது.

பெரிய அளவிலான MOCVD SiC-கோடட் கிராஃபைட் சஸ்பெக்டர்களில் உள்ள ரேடியல் கிராக்கிங்கை Vetek எப்படி நீக்கியது என்பதை அறிக. கட்டமைப்பு அழுத்த இடையக மறுவடிவமைப்பு & CTE பொருத்தம் சேவை வாழ்க்கையை 300%+ அதிகரித்துள்ளது.

SiC பரிணாம வளர்ச்சியின் ஒரு தசாப்தம் - ஆரம்பகால 4-அங்குல வணிகமயமாக்கல் சவால்களிலிருந்து இன்றைய 8-அங்குல செதில் மாற்றம் வரை. CVD SiC பூச்சுகள், Solid SiC மற்றும் TaC பொருட்கள் எவ்வாறு நம்பகமான குறைக்கடத்தி உற்பத்தியை செயல்படுத்துகின்றன என்பதைக் கண்டறியவும்.

சிவிடி எஸ்ஐசி-கோடட் கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் வெப்ப சீரான தன்மையை மேம்படுத்துவதன் மூலம் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை மேம்படுத்துவது, மாசுபாட்டை குறைப்பது மற்றும் SiC, GaN, LED மற்றும் சிலிக்கான் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டிப்பது எப்படி என்பதை அறிக.

வழக்கமான pBN பூசப்பட்ட ஹீட்டர்களுடன் ஒப்பிடும்போது TaC-கோடட் கிராஃபைட் ஹீட்டர்கள் எப்படி வெப்பநிலை சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகின்றன, ஆற்றல் நுகர்வு குறைக்கின்றன மற்றும் GaN MOCVD எபிடாக்ஸியில் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கின்றன என்பதைக் கண்டறியவும்.

கார்பன் மாசுபாட்டைக் குறைத்தல், கிராஃபைட் கூறுகளைப் பாதுகாத்தல், சேவை ஆயுளை நீட்டித்தல் மற்றும் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான படிகத் தரத்தை அதிகரிப்பதன் மூலம் PVT உலைகளில் சிவிடி TaC பூச்சு எவ்வாறு SiC படிக வளர்ச்சியை மேம்படுத்துகிறது என்பதைக் கண்டறியவும்.

CVD TaC பூச்சு ஏன் குறைக்கடத்தி கிராஃபைட் கூறுகளுக்கு விருப்பமான பாதுகாப்பு தீர்வாக மாறுகிறது என்பதைக் கண்டறியவும். அதன் நன்மைகள், SiC படிக வளர்ச்சியில் உள்ள பயன்பாடுகள், GaN MOCVD மற்றும் வேஃபர் கேரியர்கள் மற்றும் அது எவ்வாறு ஆயுள், தூய்மை மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது என்பதை அறியவும்.

VETEK பைரோலிடிக் கார்பன் (PyC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையங்கள் வெப்ப நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துவது, மாசுபாட்டைக் குறைப்பது மற்றும் SiC படிக வளர்ச்சி, எபிடாக்ஸி, CVD மற்றும் உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் கூறுகளின் ஆயுளை எவ்வாறு நீட்டிக்கிறது என்பதை அறிக.

CVD TaC பூச்சு எவ்வாறு SiC படிக வளர்ச்சி மற்றும் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியை அதி-உயர் வெப்ப நிலைத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு, தூய்மையற்ற ஒடுக்கம் மற்றும் MOCVD மற்றும் எபிடாக்ஸி பயன்பாடுகளில் சிறந்த செயல்திறன் ஆகியவற்றை மேம்படுத்துகிறது என்பதைக் கண்டறியவும்.

உயர்-டெம்ப் SiC எபிடாக்ஸி அமைப்புகளுக்கான முக்கிய Aixtron G10 கூறுகளைப் பாருங்கள். CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்கள், TaC பூச்சு கூறுகள் மற்றும் வெப்ப புல கட்டமைப்புகள் - மற்றும் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் செயல்முறை நிலைப்புத்தன்மை, தூய்மை கட்டுப்பாடு மற்றும் செதில் விளைச்சலுக்கு அவை எவ்வாறு உதவுகின்றன.

எல்பிஇ ரியாக்‌ஷன் சேம்பரில் ஹாஃப்மூன் பாகம் என்ன என்பதையும், SiC எபிடாக்ஸி அமைப்புகளில் வெப்ப நிலைத்தன்மை, வாயு ஓட்ட மேலாண்மை மற்றும் அணு உலை அமைப்பு ஆகியவற்றை அது எவ்வாறு ஆதரிக்கிறது என்பதையும் அறிக. கிராஃபைட் பொருட்கள், CVD SiC பூச்சு, TaC பூச்சு மற்றும் நவீன குறைக்கடத்தி உலை தொழில்நுட்பங்களை ஆராயுங்கள்.

MicroLED விளைச்சல் விகிதங்களுடன் போராடுகிறீர்களா? வெப்ப அழுத்தம் மற்றும் துகள் மாசுபாட்டைத் தீர்க்க தொழில்துறை தலைவர்கள் ஏன் SiC அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் TaC- பூசப்பட்ட MOCVD கூறுகளுக்கு மாறுகிறார்கள் என்பதைக் கண்டறியவும். அடுத்த தலைமுறை GaN டிஸ்ப்ளேக்களுக்கு CVD SiC இன் தொழில்நுட்ப விளிம்பை அறிக

CVD SiC பூச்சு எவ்வாறு குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அதன் கட்டமைப்பு, செயல்திறன் பண்புகள் மற்றும் வழக்கமான பயன்பாடுகள், உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில் அதன் பொருத்தம் ஆகியவை அடங்கும்.

CVD Solid SiC முதலீட்டிற்கு மதிப்புள்ளதா? மோனோலிதிக் SiC மற்றும் பாரம்பரிய கிராஃபைட் பூச்சுகளின் ROI ஐ ஒப்பிடுக. சிறந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட MTBC ஆகியவை குறைந்த வேஃபர் ஸ்க்ராப் விகிதங்களாகவும், 12-இன்ச் HVM லைன்களுக்கான அதிக உபகரண இயக்க நேரமாகவும் எப்படி மொழிபெயர்க்கின்றன என்பதை அறியவும்.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்திக்கு உயர் தூய்மை பொருட்கள் அவசியம். இந்த செயல்முறைகளில் தீவிர வெப்பம் மற்றும் அரிக்கும் இரசாயனங்கள் அடங்கும். CVD-SiC (ரசாயன நீராவி படிவு சிலிக்கான் கார்பைடு) தேவையான நிலைத்தன்மையையும் வலிமையையும் வழங்குகிறது. அதன் உயர் தூய்மை மற்றும் அடர்த்தி காரணமாக மேம்பட்ட உபகரண பாகங்களுக்கான முதன்மை தேர்வாக இது உள்ளது.