பைரோலிடிக் கார்பன் (PyC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் மோதிரங்கள்: உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துதல்

பெரிய செதில்கள், எப்போதும் இல்லாத அதிக ஆற்றல் அடர்த்தி மற்றும் மிகவும் சிக்கலான செயல்முறை வரிசைகளுக்கான அழுத்தம் குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு கருவிகளுக்குள் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்களின் மீது முன்னோடியில்லாத கோரிக்கைகளை வைக்கிறது. உலைகள் மற்றும் வெப்ப அமைப்புகளுக்குள் உட்காரும் கூறுகள் இப்போது தீவிர வெப்பநிலை, ஆக்கிரமிப்பு இரசாயன வளிமண்டலங்கள் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதல் ஆகியவற்றைத் தாங்க வேண்டும் - இவை அனைத்தும் இறுக்கமான பரிமாண சகிப்புத்தன்மையைப் பராமரிக்கின்றன மற்றும் கிட்டத்தட்ட எந்த மாசுபாட்டையும் வெளியிடுவதில்லை.

இந்த சவால்களைச் சந்திக்க வெளிப்பட்ட மேம்பட்ட பொருள் தீர்வுகளில், பைரோலிடிக் கார்பன் (PyC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையங்கள் குறிப்பாக வலுவான இடத்தைப் பெற்றுள்ளன. அவை இப்போது சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சி, எபிடாக்சியல் படிவு, CVD செயல்முறைகள் மற்றும் பிற உயர் வெப்பநிலை வெப்ப சிகிச்சைகளுக்கு பரவலாக குறிப்பிடப்பட்டுள்ளன. Vetek செமிகண்டக்டரில், நாங்கள் எங்கள் R&D முயற்சிகளை பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு தொழில்நுட்பங்களில் கவனம் செலுத்தியுள்ளோம்.

இன்றைய செயல்முறைகளில் பாதுகாப்பற்ற கிராஃபைட் ஏன் குறைகிறது?

கிராஃபைட் நீண்ட காலமாக செமிகண்டக்டர் வெப்ப அமைப்புகளுக்கு வேலை செய்யும் பொருளாக இருந்து வருகிறது, அதன் நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்த எடை மற்றும் மிக அதிக வெப்பநிலையை கையாளும் திறன் ஆகியவற்றிற்கு நன்றி. ஆனால் வெறும் கிராஃபைட், தானே, இன்றைய பல மேம்பட்ட செயல்முறைகளுக்கு அதை குறைக்காது.

எடுத்துக்காட்டாக, SiC PVT படிக வளர்ச்சி, MOCVD எபிடாக்ஸி, CVD படிவு, பரவல் மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற படிகள் அல்லது உயர் வெப்பநிலை அனீலிங் ஆகியவற்றை எடுத்துக் கொள்ளுங்கள். இவை ஒவ்வொன்றிலும், கிராஃபைட் கூறுகள் வழக்கமாக 1500 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலை, ஹைட்ரஜன், அம்மோனியா, குளோரின்-தாங்கும் வாயுக்கள் மற்றும் அடிக்கடி வெப்ப மேல்-கீழ் சுழற்சிகள் போன்ற நிலைமைகளுக்கு வெளிப்படும். காலப்போக்கில், சிகிச்சையளிக்கப்படாத கிராஃபைட் மேற்பரப்பு அரிப்பு, துகள் உதிர்தல், இரசாயன தாக்குதல், சீரழிந்த வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் குறிப்பிடத்தக்க குறுகிய சேவை வாழ்க்கை ஆகியவற்றைக் காட்டத் தொடங்குகிறது. செயலாக்கத்தின் போது உருவாகும் சிறிய துகள்கள் கூட செதில்களில் இறங்கி விளைச்சலை பாதிக்கலாம்.

அதனால்தான் மேம்பட்ட மேற்பரப்பு பாதுகாப்பு நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பேச்சுவார்த்தைக்கு உட்படாத பகுதியாக மாறியுள்ளது.

பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு உண்மையில் என்ன?

பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு ஒரு சிறப்பு இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) வழியைப் பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்படுகிறது, இதில் அடர்த்தியான, அதிக வரிசைப்படுத்தப்பட்ட கார்பன் அடுக்கு உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மீது வைக்கப்படுகிறது. வழக்கமான கார்பன் பூச்சுகளிலிருந்து PyC ஐ வேறுபடுத்துவது அதன் நன்கு வரிசைப்படுத்தப்பட்ட நுண் கட்டமைப்பு ஆகும், இது விதிவிலக்கான வெப்ப, இயந்திர மற்றும் இரசாயன செயல்திறனாக மொழிபெயர்க்கிறது.

Vetek செமிகண்டக்டரில், எங்கள் பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சுகள் பல நடைமுறை நன்மைகளை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன:

• அதிக தூய்மை - மொத்த அசுத்தங்கள் 20ppm க்கு கீழே வைக்கப்படுகின்றன, சிறந்த வாயு இறுக்கத்துடன், பூச்சு தீவிர சுத்தமான குறைக்கடத்தி சூழல்களுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
• சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை - மிக உயர்ந்த வெப்பநிலையில் பூச்சு நிலையாக இருக்கும்; உண்மையில், வெப்பநிலை உயரும்போது அதன் இயந்திர வலிமை உண்மையில் அதிகரிக்கிறது, உச்ச செயல்திறன் சுமார் 2750 ° C மற்றும் பதங்கமாதல் புள்ளி 3600 ° C வரை.
• சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு - குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம், அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்த மீள் மாடுலஸ் ஆகியவற்றின் காரணமாக, விரைவான வெப்பநிலை மாற்றங்களுக்கு PyC நன்றாக நிற்கிறது.
• பரந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை - இது அமிலங்கள், காரங்கள், உப்புகள், கரிம உலைகள் மற்றும் உருகிய உலோகங்களை எதிர்க்கிறது.
• அல்ட்ரா-குறைந்த வாயு வெளியேற்றம் - சுமார் 1800°C இல், PyC குறிப்பிடத்தக்க வாயு வெளியீடு இல்லாமல் தோராயமாக 10⁻⁷mmHg வெற்றிட அளவை பராமரிக்க முடியும்.

இந்த பண்புகள் அனைத்தும் PyC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டை கடுமையான குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு நம்பகமான தேர்வாக ஆக்குகின்றன.

பைரோலிடிக் கார்பன் பூசப்பட்ட மோதிரங்கள் எங்கு அதிகம் பயன்படுத்தப்படுகின்றன?

1. பிவிடி மூலம் SiC படிக வளர்ச்சி

2300-2500°C வரம்பில் வழக்கமான இயக்க வெப்பநிலையுடன், இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து என்பது குறைக்கடத்தி உலகில் மிகவும் கோரும் செயல்முறைகளில் ஒன்றாகும். PyC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையங்கள் பொதுவாக வெப்பப் புல அமைப்புகள், susceptors, crucibles, வெப்பக் கவசங்கள் மற்றும் கட்டமைப்பு ஆதரவுகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. பயனர்கள் குறைந்த மாசுபாடு அபாயம், அதிக சீரான வெப்பப் புலங்கள், நீண்ட கூறு வாழ்க்கை மற்றும் மிகவும் நிலையான படிக வளர்ச்சி நிலைகள் ஆகியவற்றைப் புகாரளிக்கின்றனர். சில சந்தர்ப்பங்களில், உற்பத்தியாளர்கள் 15-20% அதிக வளர்ச்சி திறன் மற்றும் 90% க்கு மேல் செதில் விளைச்சலைக் கண்டுள்ளனர்.

2. செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி (SiC மற்றும் GaN)

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு, செதில் முழுவதும் வெப்பநிலை சீரானது படத்தின் தரத்திற்கு முற்றிலும் முக்கியமானது. PyC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்கள் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை வழங்குவதன் மூலமும் துகள் உற்பத்தியைக் குறைப்பதன் மூலமும் மிகவும் நிலையான வளர்ச்சி சூழலை உருவாக்க உதவுகின்றன. ஊதியம் என்பது சிறந்த செயல்முறை நிலைத்தன்மை, குறைபாடு அடர்த்தி 0.05 குறைபாடுகள்/செமீ², மற்றும் செதில் சீரானதாக மேம்படுத்தப்பட்ட செதில், இவை அனைத்தும் நேரடியாக அதிக உற்பத்தி விளைச்சலுக்கு மொழிபெயர்க்கின்றன.

3. உயர் வெப்பநிலை பரவல் மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றம்

இந்த பூசப்பட்ட மோதிரங்கள் பரவல் உலைகள், ஆக்சிஜனேற்ற உலைகள் மற்றும் அனீலிங் அமைப்புகளிலும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு அவற்றின் வலுவான எதிர்ப்பானது மீண்டும் மீண்டும் வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளை குறைந்தபட்ச சிதைவுடன் வாழ அனுமதிக்கிறது. நடைமுறையில், பராமரிப்பு இடைவெளிகள் பெரும்பாலும் மூன்று மாதங்களில் இருந்து ஆறு மாதங்களுக்கு நீட்டிக்கப்படலாம், இது உபகரணங்கள் கிடைப்பதை அதிகரிக்கிறது மற்றும் வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது.

பைரோலிடிக் கார்பன் மற்றும் பிற குறைக்கடத்தி பூச்சு தொழில்நுட்பங்கள்

வெவ்வேறு செயல்முறைகள் வெவ்வேறு பூச்சு தீர்வுகளை அழைக்கின்றன, அதனால்தான் Vetek செமிகண்டக்டர் குறிப்பிட்ட இயக்க சூழல்களுடன் பொருந்தக்கூடிய மேம்பட்ட தொழில்நுட்பங்களை வழங்குகிறது.

CVD SiC பூச்சு 99.99999% வரை தூய்மை, சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு, குறைந்த துகள் உருவாக்கம் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. இது பொதுவாக SiC மற்றும் GaN எபிடாக்ஸி, MOCVD உலைகள் மற்றும் PECVD அமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

CVD TaC பூச்சு உயர்ந்த ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, சிறந்த உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு ஆகியவற்றை வழங்குகிறது, இது SiC ஒற்றை-படிக வளர்ச்சி மற்றும் மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான விருப்பமாக அமைகிறது.

பல பூச்சு விருப்பங்களை வழங்குவதன் மூலம், வாடிக்கையாளர்களின் செயல்முறை ஓட்டத்தின் ஒவ்வொரு குறிப்பிட்ட படிநிலைக்கும் மிகவும் பொருத்தமான பொருளைத் தேர்ந்தெடுக்க நாங்கள் உதவுகிறோம்.

உற்பத்தியின் அடிப்படையில் என்ன Vetek செமிகண்டக்டர் அட்டவணைக்கு கொண்டு வருகிறது?

நம்பகமான குறைக்கடத்தி கூறுகளை உற்பத்தி செய்வது மேம்பட்ட பொருட்களைப் பற்றியது மட்டுமல்ல - இது துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் கடுமையான தரக் கட்டுப்பாட்டையும் சார்ந்துள்ளது. Vetek செமிகண்டக்டர், பொருள் சுத்திகரிப்பு, CNC துல்லிய எந்திரம், பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு, CVD SiC பூச்சு, CVD TaC பூச்சு மற்றும் விரிவான ஆய்வு ஆகியவற்றை உள்ளடக்கிய ஒரு ஒருங்கிணைந்த உற்பத்தி தளத்தை இயக்குகிறது.

எங்கள் துல்லியமான எந்திரம் ±3μm வரை பரிமாண சகிப்புத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் சிக்கலான வடிவவியலை நாம் கையாள முடியும். எங்களிடம் பெரிய அளவிலான செயலாக்க திறன் உள்ளது: 2000 மிமீ விட்டம் மற்றும் 2000 மிமீ உயரம் வரையிலான கூறுகள் எங்கள் திறனுக்குள் உள்ளன. செமிகண்டக்டர் தர தூய்மை நெறிமுறைகளைப் பின்பற்றி, அனைத்து உற்பத்திகளும் கடுமையான மாசு மேலாண்மையின் கீழ் மேற்கொள்ளப்படுகின்றன.

அப்ளைடு மெட்டீரியல்ஸ், லாம் ரிசர்ச், வீகோ, ஐக்ஸ்ட்ரான், ஏஎஸ்எம், டிஇஎல் மற்றும் எல்பிஇ உள்ளிட்ட முக்கிய உபகரண தளங்களுக்கு மாற்றாக எங்கள் கூறுகள் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, எனவே வாடிக்கையாளர்கள் குறிப்பிடத்தக்க சாதன மாற்றங்கள் இல்லாமல் மேம்படுத்தலாம்.

மேம்பட்ட பூச்சுகளின் நீண்ட கால மதிப்பு

மொத்த உரிமைச் செலவைக் குறைப்பது தொழில்துறை முழுவதும் முன்னுரிமையாகும், மேலும் மேம்பட்ட பூச்சு தொழில்நுட்பங்கள் அளவிடக்கூடிய வருமானத்தை வழங்குகின்றன. பயனர்கள் பொதுவாக 40% வரை குறைந்த நுகர்வு செலவுகள், 15-20% அதிக படிக வளர்ச்சி திறன், நீட்டிக்கப்பட்ட பராமரிப்பு இடைவெளிகள், குறைக்கப்பட்ட உபகரணங்கள் வேலையில்லா நேரம், மேம்பட்ட செதில் விளைச்சல் மற்றும் நீண்ட கூறு சேவை வாழ்க்கை ஆகியவற்றைக் காணலாம்.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியானது பெரிய SiC செதில்கள், அதிக சக்தி கொண்ட சாதனங்கள் மற்றும் இன்னும் அதிகமாக தேவைப்படும் வெப்ப சூழல்களை நோக்கி நகரும் போது, ​​மேற்பரப்பு பொறியியல் முக்கியத்துவம் பெறுகிறது. பைரோலிடிக் கார்பன் பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையங்கள், CVD SiC மற்றும் CVD TaC தொழில்நுட்பங்களுடன் இணைந்து, மிகவும் திறமையான, நம்பகமான மற்றும் அளவிடக்கூடிய உற்பத்தி அமைப்புகளை உருவாக்குவதில் பெருகிய முறையில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

Vetek செமிகண்டக்டர் பற்றி

Vetek செமிகண்டக்டர் உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான மேம்பட்ட பொருட்கள் மற்றும் பூச்சு தொழில்நுட்பங்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றது. எங்கள் தயாரிப்பு போர்ட்ஃபோலியோவில் பைரோலிடிக் கார்பன் (PyC) பூச்சு, CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு, CVD டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு, உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் கூறுகள், திடமான CVD SiC கூறுகள் மற்றும் முழுமையான வெப்ப புல தீர்வுகள் ஆகியவை அடங்கும். பொருட்கள் அறிவியல் நிபுணத்துவம், துல்லியமான உற்பத்தி மற்றும் ஆழமான செயல்முறை அறிவு ஆகியவற்றை இணைப்பதன் மூலம், அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான நம்பகமான தீர்வுகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.