4-இன்ச் முதல் 8-இன்ச் வரை: SiC செமிகண்டக்டர் வளர்ச்சியின் ஒரு தசாப்தம்

2013 இல், சிலிக்கான் கார்பைடை வணிகமயமாக்க முடியுமா என்று தொழில்துறையினர் கேட்டனர். பத்து ஆண்டுகளுக்குப் பிறகு, SiC சக்திகள் EVகள் மற்றும் புதுப்பிக்கத்தக்க ஆற்றல் - மற்றும் உண்மையான போட்டி பொருட்கள், உபகரணங்கள் மற்றும் உற்பத்தி விளைச்சலுக்கு மாறியுள்ளது. ஒரு தசாப்தத்தில், எபிடாக்ஸி கருவிகள் படிப்படியாக முன்னேறியதால் SiC செதில்கள் 4-இன்ச் முதல் 8-இன்ச் வரை வளர்ந்தது. செதில்களுக்கு அப்பால்,CVD SiC பூச்சுகள், திட CVD SiC, மற்றும்TaC பூச்சுகள்இப்போது அதிக வெப்பநிலை, அரிப்பை எதிர்க்கும் கருவிகளை நம்பகத்தன்மையுடன் இயக்கவும். VETEK செமிகண்டக்டர் அளவிடப்பட்ட SiC உற்பத்திக்கான மூன்று பொருள் தீர்வுகளையும் வழங்குகிறது.

I. SiC இன் பத்தாண்டு உருமாற்றம்: ஆய்வகப் பொருட்களிலிருந்து மெயின்ஸ்ட்ரீம் பவர் செமிகண்டக்டர் வரை

SiC 2013 இல் ஒரு நம்பிக்கைக்குரிய ஆய்வகப் பொருட்களிலிருந்து EVகள், ஆற்றல் மின்னணுவியல் மற்றும் ஆற்றல் மாற்றத்திற்கு அடித்தளமாக ஒரு முக்கிய தொழில்நுட்பத்திற்கு நகர்ந்துள்ளது - மேலும் தொழில்துறையின் கவனம் தொழில்நுட்பத்தை நிரூபிப்பதில் இருந்து மாஸ்டரிங் உற்பத்திக்கு மாறியுள்ளது.

கடந்த பத்தாண்டுகளில் SiC தொழில்துறையின் முன்னுரிமைகள் எவ்வாறு மாறியது என்பதை கீழே உள்ள அட்டவணை சுருக்கமாகக் கூறுகிறது.

2013 எதிராக இன்று: SiC தொழில்துறையின் கவனம் எவ்வாறு மாறியது

II. SiC வணிகமயமாக்கலின் முக்கிய சவால்: எபிடாக்ஸி தொழில்நுட்பம்

எபிடாக்ஸி சாதனங்கள் எப்போதுமே SiC வணிகமயமாக்கலுக்கான தொழில்நுட்ப இடையூறாக இருந்து வருகிறது - எபிடாக்ஸி உலைகளின் பரிணாம வளர்ச்சியின் மூலம் தொழில்துறையின் முன்னேற்றத்தை நேரடியாகக் கண்காணிக்க முடியும், ஆரம்ப 6-இன்ச் இயங்குதளங்கள் முதல் இன்றைய தானியங்கு 150mm/200mm அமைப்புகள் வரை.

2013 இல், SiC வணிகமயமாக்கல் துரிதப்படுத்தப்பட்டது, மேலும் உபகரணங்கள் தயாரிப்பாளர்கள் முதன்மையாக 6-inch (150mm) SiC எபிடாக்ஸி திறனுடன் போட்டியிட்டனர். செமிகண்டக்டர் டுடே அந்த நேரத்தில் பல பிரதிநிதி அமைப்புகளைப் பற்றி அறிக்கை செய்தது:

பிரதிநிதி SiC Epitaxy உபகரணங்கள், 2013

இந்த ஆரம்ப அமைப்புகள் நான்கு சிக்கல்களைத் தீர்க்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன: 6-இன்ச் SiC எபிடாக்ஸியை அடைதல், எபிடாக்சியல் லேயர் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துதல், குறைபாடு அடர்த்தியைக் குறைத்தல் மற்றும் ஆரம்பகால சக்தி-சாதன வணிகமயமாக்கலின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்தல்.

EV தத்தெடுப்பு, EV சார்ஜிங் உள்கட்டமைப்பு, சோலார்-பிளஸ்-ஸ்டோரேஜ் அமைப்புகள் மற்றும் தொழில்துறை சக்தி சந்தைகள் வேகமாக விரிவடைந்ததால், SiC சாதனங்களுக்கான தேவை அதற்கேற்ப வளர்ந்தது - மேலும் எபிடாக்ஸி உபகரணங்கள் சிறிய-தொகுப்பு R&D தளங்களில் இருந்து பெரிய அளவிலான உற்பத்திக்காக கட்டப்பட்ட அடுத்த தலைமுறை அமைப்புகளாக உருவாகின. இன்றைய பிரதிநிதித்துவ தளங்களில் பின்வருவன அடங்கும்:

பிரதிநிதி SiC Epitaxy உபகரணங்கள், இன்று

III. 4-இன்ச் முதல் 8-இன்ச் வரை: வேஃபர் ஸ்கேலிங் எப்படி செலவைக் குறைக்கிறது மற்றும் வெளியீட்டை உயர்த்துகிறது

SiC வேஃபர் விட்டத்தில் ஒவ்வொரு படியும் - 4-இன்ச் முதல் 6-இன்ச் வரை, இப்போது 8-அங்குலத்தை நோக்கி - ஒரு செதில் உற்பத்தி மற்றும் குறைந்த உற்பத்தி செலவை அதிகரிக்க உள்ளது, மேலும் தொழில் இப்போது 6-இன்ச் முதல் 8-இன்ச் மாற்றத்தின் மத்தியில் உள்ளது.

2013 இல், SiC தொழில்துறை 4 அங்குலத்திலிருந்து 6 அங்குல செதில்களுக்கு நகர்த்தத் தூண்டியது. க்ரீ, டவ் கார்னிங், ஷோவா டென்கோ மற்றும் நார்ஸ்டெல் உள்ளிட்ட நிறுவனங்கள் அனைத்தும் அந்த நேரத்தில் தங்கள் 6-இன்ச் SiC அடி மூலக்கூறு மற்றும் எபிடாக்ஸி திறனை விரிவுபடுத்தின. பெரிய செதில்களுக்கு நகர்த்துவதற்கான இலக்கு நேரடியானது: ஒரு செதில் உற்பத்தியை அதிகரிப்பது, குறைந்த உற்பத்தி செலவு மற்றும் தொழில்துறை அளவிலான அளவிடுதல் ஆகியவற்றை மேம்படுத்துதல்.

ஒரு தசாப்தத்திற்கும் மேலாக, அதே தர்க்கம் இப்போது 6 அங்குலத்திலிருந்து 8 அங்குலத்திற்கு மாறுகிறது. உலகின் மூன்றாவது பெரிய சிலிக்கான் வேஃபர் தயாரிப்பாளரான குளோபல்வேஃபர்ஸ், 2025-2026 வரை தொழில்துறை அளவிலான 8-இன்ச் SiC செதில் உற்பத்தி கடுமையாக முடுக்கிவிடப்படும் என்று கூறியுள்ளது - இது இரண்டு ஆண்டுகளுக்கு முன்பு நம்பத்தகாததாகக் கருதப்பட்டது (GlobalWafers, 2023). ஒன்செமி மற்றும் ரெசோனாக் 8-இன்ச் SiC அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் எபிடாக்சியல் செதில்கள் (காம்பவுண்ட் செமிகண்டக்டர் நியூஸ், 2024) தகுதி பெறுவதற்கும் ரேம்பிங் செய்வதற்கும் 2025 ஆம் ஆண்டை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன.

SiC வேஃபர்கள் பெரிதாகும்போது என்ன மாற்றங்கள்

செதில் விட்டம் மற்றும் தரத் தேவைகள் இரண்டும் ஏறும்போது, ​​உற்பத்தி செயல்முறை முழுவதும் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்கள் மற்றும் உபகரணக் கூறுகள், செதில்களைப் போலவே SiC இன் முன்னேற்றத்திற்குத் தீர்க்கமானதாக மாறிவிட்டன.

IV. வேஃபருக்கு அப்பால்: ஏன் உபகரணக் கூறுகள் SiC சில்லுகளைப் போலவே முக்கியமானவை

SiC வேஃபர்கள், MOSFETகள் மற்றும் பவர் மாட்யூல்கள் அதிக கவனத்தைப் பெறுகின்றன, ஆனால் எபிடாக்ஸி மற்றும் கிரிஸ்டல்-வளர்ச்சி உலைகளில் உள்ள உபகரணக் கூறுகள் சமமான தீவிர நிலைமைகளை எதிர்கொள்கின்றன - மேலும் இன்றைய தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய பாரம்பரிய கிராஃபைட் மட்டும் போதாது.

SiC தொழிற்துறையின் விவாதங்கள் மூன்று விஷயங்களில் கவனம் செலுத்துகின்றன: SiC செதில்கள், SiC MOSFETகள் மற்றும் சக்தி தொகுதிகள். நடைமுறையில், அவற்றைத் தயாரிக்கப் பயன்படுத்தப்படும் உபகரணக் கூறுகளும் முக்கியமானவை. எபிடாக்ஸி உலைகள், படிக வளர்ச்சி உலைகள் மற்றும் பிற உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்குள், உள் கூறுகள் தாங்க வேண்டும்:

• அதி-உயர் வெப்பநிலை சூழல்கள்

• H₂ மற்றும் HCl போன்ற அரிக்கும் செயல்முறை வாயுக்கள்

• செதில் மாசுபடுவதைத் தவிர்க்க கடுமையான தூய்மைத் தேவைகள்

பாரம்பரிய கிராஃபைட் வலுவான வெப்ப செயல்திறனை வழங்குகிறது, ஆனால் நீட்டிக்கப்பட்ட பயன்பாட்டிற்கு மேல் இது மேற்பரப்பு அரிப்பு, துகள் உருவாக்கம் மற்றும் சுருக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கைக்கு ஆளாகிறது - இவை அனைத்தும் செதில் விளைச்சல் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை நேரடியாக அச்சுறுத்துகின்றன. இது CVD SiC பூச்சு தொழில்நுட்பம் அதிக அளவில் மூடப்படும் இடைவெளியாகும்.

V. CVD SiC பூச்சு: நம்பகமான உயர் வெப்பநிலை உபகரணங்களுக்குப் பின்னால் உள்ள தொழில்நுட்பம்

SiC epitaxy மற்றும் SiC பூச்சு ஆகியவை வெவ்வேறு நோக்கங்களுக்காக சேவை செய்யும் இரண்டு தனித்துவமான தொழில்நுட்பங்கள் - எபிடாக்ஸி செமிகண்டக்டர் பொருளை தானே உருவாக்குகிறது, அதே நேரத்தில் CVD SiC பூச்சு அதை உற்பத்தி செய்யும் உபகரணங்களை பாதுகாக்கிறது.

SiC epitaxy குறைக்கடத்தி பொருள் தயாரிக்க பயன்படுகிறது. SiC CVD பூச்சு, மாறாக, செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களின் முக்கியமான உள் கூறுகளுக்கு, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்புக்கு அவற்றின் எதிர்ப்பை மேம்படுத்த, முதன்மையாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

SiC எபிடாக்ஸி எதிராக SiC பூச்சு: இரண்டு வெவ்வேறு தொழில்நுட்பங்கள் 

கிராஃபைட் + SiC கலவை எவ்வாறு செயல்படுகிறது

CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள் இப்போது SiC எபிடாக்ஸி உபகரணங்கள், MOCVD உபகரணங்கள், LED எபிடாக்ஸி உபகரணங்கள் மற்றும் RTP/RTA வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டில் அடர்த்தியான SiC அடுக்கை வைப்பது இரண்டு பொருட்களின் பலத்தையும் ஒருங்கிணைக்கிறது:

ஏன் கிராஃபைட் + SiC ஒரு கலவையாக வேலை செய்கிறது

VI. VETEK செமிகண்டக்டரின் மேம்பட்ட SiC பொருள் தீர்வுகள்

மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திகள் தொடர்ந்து அளவிடப்படுவதால், VETEK செமிகண்டக்டர் மூன்று நிரப்பு பொருள் தீர்வுகளை வழங்குகிறது - CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட், சாலிட் CVD SiC மற்றும் TaC பூச்சுகள் - SiC உற்பத்தி சாதனங்களின் குறிப்பிட்ட வெப்ப மற்றும் இரசாயன தேவைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள்

VETEK இன் CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள் SiC Epitaxy Susceptors, MOCVD கேரியர்கள், வேஃபர் கேரியர்கள், ஹாஃப்மூன் கூறுகள் மற்றும் செமிகண்டக்டர் வெப்பக் கூறுகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

• உயர் தூய்மை SiC பூச்சு

• சிறந்த வெப்ப சீரான தன்மை

• உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை

• வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பு

SiC epitaxy, MOCVD மற்றும் குறைக்கடத்தி வெப்ப பயன்பாடுகளுக்கான VETEK CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள்.

திடமான CVD SiC கூறுகள்

மேம்பட்ட எட்ச் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளுக்கு, சாலிட் சிவிடி எஸ்ஐசி உயர் தரமான பொருள் செயல்திறனை வழங்குகிறது. வழக்கமான பயன்பாடுகளில் ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ், ஆர்டிபி/இபிஐ கூறுகள் மற்றும் பிளாஸ்மா செயல்முறை கூறுகள் ஆகியவை அடங்கும்.

• அடர்த்தியான, நுண்துளை இல்லாத அமைப்பு

• மிகக் குறைந்த துகள் உருவாக்கம்

• சிறந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு

• நீண்ட சேவை வாழ்க்கை

திடமான CVD SiC ஃபோகஸ் வளையங்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாமேம்பட்ட எட்ச் மற்றும் RTP/EPI பயன்பாடுகளுக்கான செயல்முறை கூறுகள்.

TaC பூச்சு தீர்வுகள்

SiC படிக வளர்ச்சி வெப்பநிலை தொடர்ந்து அதிகரித்து வருவதால், டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள் அதி-உயர்-வெப்பநிலை வெப்ப புலங்களுக்கு முக்கியமான பொருளாக மாறியுள்ளன. TaC அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, சிறந்த ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது - SiC படிக வளர்ச்சி உபகரணங்கள், உயர் வெப்பநிலை வெப்ப புல கூறுகள் மற்றும் மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழல்களுக்கு ஏற்றது.

அதி-உயர்-வெப்பநிலை SiC படிக வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட TaC-பூசப்பட்ட சூடான-மண்டல கூறுகள்.

ஒன்றாக, இந்த மூன்று தயாரிப்பு வரிசைகளும் SiC உற்பத்தி சங்கிலி முழுவதும் காணப்படும் வெவ்வேறு வெப்ப மற்றும் இரசாயன தேவைகளை நிவர்த்தி செய்கின்றன:

ஒரு பார்வையில் VETEK இன் மூன்று SiC பொருள் தீர்வுகள்

VII. அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்

1. SiC epitaxy மற்றும் SiC பூச்சுக்கு என்ன வித்தியாசம்?

SiC epitaxy செமிகண்டக்டர் செதில்கள் மற்றும் சாதனங்களை உருவாக்க ஒரு படிக சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கை வளர்க்கிறது. SiC பூச்சு (CVD SiC) ஒரு மெல்லிய, அடர்த்தியான SiC அடுக்கை கிராஃபைட் அல்லது பிற அடி மூலக்கூறுகளில் வெப்பம் மற்றும் அரிப்பிலிருந்து பாதுகாக்கிறது. அவை ஒரே உற்பத்திச் சங்கிலியில் வெவ்வேறு நோக்கங்களுக்காக சேவை செய்கின்றன.

2. கிராஃபைட் ஏன் சொந்தமாக பயன்படுத்தப்படுவதற்கு பதிலாக SiC உடன் பூசப்படுகிறது?

வெற்று கிராஃபைட் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, ஆனால் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் H₂ மற்றும் HCl போன்ற வாயுக்களுக்கு வெளிப்படும் போது அது அரிக்கப்பட்டு துகள்களை உருவாக்குகிறது. அடர்த்தியான CVD SiC பூச்சு கிராஃபைட்டின் வெப்ப செயல்திறனைப் பாதுகாக்கும் போது கடினத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைச் சேர்க்கிறது.

3. Solid CVD SiC எதற்காகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது?

திட CVD SiC என்பது ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ், RTP/EPI பாகங்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா செயல்முறை பாகங்கள் உள்ளிட்ட மேம்பட்ட எட்ச் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் முழு அடர்த்தியான, நுண்துளை இல்லாத சிலிக்கான் கார்பைடு பொருளாகும்.

4. SiC படிக வளர்ச்சிக்கு ஏன் TaC பூச்சுகள் தேவை?

SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகள் அதிக வெப்பநிலையை நோக்கி தள்ளுவதால், வெப்ப மண்டல கூறுகளுக்கு ஆக்ஸிஜனேற்றத்தை எதிர்க்கும் மற்றும் தீவிர வெப்பத்தின் கீழ் வேதியியல் ரீதியாக நிலையானதாக இருக்கும் பொருட்கள் தேவைப்படுகின்றன. TaC பூச்சுகள் கிராஃபைட்டை விட அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை வழங்குகின்றன, அவை SiC படிக வளர்ச்சி உலைகள் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை வெப்ப புல கூறுகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.

5. தொழில் ஏன் 6 அங்குலத்திலிருந்து 8 அங்குல SiC வேஃபர்களுக்கு நகர்கிறது?

பெரிய செதில்கள் ஒரு வேஃபருக்கு இறக்கும் எண்ணிக்கையை அதிகரிக்கின்றன, இது ஒரு சிப்புக்கான உற்பத்திச் செலவைக் குறைக்கிறது மற்றும் அளவிடக்கூடிய தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. வேஃபர் தயாரிப்பாளர்கள் மற்றும் சிப்மேக்கர்கள் இப்போது EVகள், புதுப்பிக்கத்தக்க ஆற்றல் மற்றும் தொழில்துறை ஆற்றல் மின்னணுவியல் ஆகியவற்றிலிருந்து வளர்ந்து வரும் தேவையைப் பூர்த்தி செய்ய 8-அங்குல SiC அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் எபிடாக்சியல் செதில்களுக்குத் தகுதி பெற்றுள்ளனர்.

VIII. சுருக்கம்: SiC உற்பத்தி செயல்முறை திறன் போட்டியின் சகாப்தத்தில் நுழைந்துள்ளது

SiC தொழில்துறையின் வரையறுக்கும் கேள்வி மாறிவிட்டது - பொருள் வணிகமயமாக்கப்படுமா, எவ்வளவு திறமையாகவும், சுத்தமாகவும், தொடர்ச்சியாகவும் அதை அளவில் உற்பத்தி செய்ய முடியும்.

2013 இல், தொழில்துறையின் மையக் கேள்வி என்னவென்றால், SiC ஐ வணிகமயமாக்க முடியுமா என்பதுதான். இன்று, ஒரு தசாப்தத்திற்கும் மேலாக, அந்த கேள்வி மாறிவிட்டது: SiC தயாரிப்புகளை அதிக செயல்திறன், குறைவான குறைபாடுகள் மற்றும் அதிக நிலைத்தன்மையுடன் எவ்வாறு தயாரிக்க முடியும்?

SiC தொழில்துறை விரிவடைந்து வருவதால், பெரிய செதில் விட்டம், மேம்படுத்தப்பட்ட எபிடாக்ஸி தொழில்நுட்பம் மற்றும் உகந்த உற்பத்தி சாதனங்கள் ஆகியவை தொழில் வளர்ச்சியின் முக்கிய திசைகளாக இருக்கின்றன. அதே நேரத்தில், உயர்-தூய்மை CVD SiC பூச்சுகள், சாலிட் CVD SiC மற்றும் TaC பொருட்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்கான முக்கிய தொழில்நுட்பங்களாக மாறி வருகின்றன.

VETEK செமிகண்டக்டர் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி பொருட்களில் கவனம் செலுத்துகிறது, SiC எபிடாக்ஸி, படிக வளர்ச்சி மற்றும் உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான நம்பகமான பொருள் தீர்வுகளை வழங்குகிறது - இது அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு ஆதரவளிக்கிறது.

IX. VETEK செமிகண்டக்டர் பற்றி

VETEK செமிகண்டக்டர்SiC epitaxy, MOCVD, படிக வளர்ச்சி மற்றும் உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி உபகரணங்களுக்கான CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட், Solid CVD SiC மற்றும் TaC பூச்சு கூறுகளை வடிவமைத்து உற்பத்தி செய்கிறது. இந்த கட்டுரை VETEK இன் மெட்டீரியல் இன்ஜினியரிங் குழுவால் தயாரிக்கப்பட்டது, செமிகண்டக்டர் டுடே மற்றும் தற்போதைய SiC வேஃபர் சந்தை பகுப்பாய்வு ஆகியவற்றிலிருந்து தொழில்துறை அறிக்கையை வரைந்து, மேலும் SiC உற்பத்தி வரிகளில் கூறுகளை வழங்குவதில் VETEK இன் நேரடி அனுபவத்தை பிரதிபலிக்கிறது.

ஆதாரங்கள் குறிப்பிடப்பட்டுள்ளன: செமிகண்டக்டர் டுடே (2013 தொழில் அம்சம்); GlobalWafers பொது அறிக்கைகள் (2023); கூட்டு செமிகண்டக்டர் செய்திகள் (2024); Patsnap Eureka SiC வேஃபர் விலை பகுப்பாய்வு (2025). VETEK தயாரிப்புகளுக்கான புள்ளிவிவரங்கள் மற்றும் உபகரண விவரக்குறிப்புகள் உள் தயாரிப்பு ஆவணங்களை அடிப்படையாகக் கொண்டவை.