CVD SiC பூச்சு: செயல்முறை, நன்மைகள் மற்றும் பயன்பாடுகள்

CVD SiC பூச்சு என்றால் என்ன?
குறைக்கடத்தி உபகரணங்களுக்குள் கூறுகள் எவ்வாறு பாதுகாக்கப்படுகின்றன என்பதை நீங்கள் பார்த்தால், CVD செயல்முறையால் உருவாக்கப்பட்ட SiC பூச்சுகளைப் பயன்படுத்துவது ஒரு பொதுவான அணுகுமுறையாகும்.

எளிமையான சொற்களில், ஒரு மெல்லிய சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு நேரடியாக கிராஃபைட் அல்லது பீங்கான் கூறுகளின் மேற்பரப்பில் உருவாக்கப்படுகிறது. இந்த அடுக்கு ஒரு தடையாக செயல்படுகிறது, எனவே அடிப்படை பொருள் வெப்பம், எதிர்வினை வாயுக்கள் அல்லது பிளாஸ்மாவுக்கு வெளிப்படாது.

உண்மையான பயன்பாட்டில், காலப்போக்கில் பூச்சு எவ்வாறு செயல்படுகிறது என்பது முக்கியமானது. எடுத்துக்காட்டாக, மீண்டும் மீண்டும் சூடாக்கும் சுழற்சிகளுக்குப் பிறகு அது நிலையாக இருக்கிறதா, அல்லது அரிக்கும் சூழல்களில் அது சிதையத் தொடங்குகிறதா.

அங்குதான் CVD SiC பூச்சுகள் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன - இந்த ஒருங்கிணைந்த நிலைமைகளின் கீழ் அவை சிறப்பாகப் பிடிக்கின்றன.

தொகுதிகளுக்கு இடையே பூச்சு தடிமனின் சீரான தன்மை 10um இல் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது

• அடி மூலக்கூறு தயாரிப்பு:இது பொதுவாக ஒரு கிராஃபைட் அல்லது பீங்கான் பகுதியுடன் தொடங்குகிறது, அது சுத்தம் செய்யப்பட்டு மேற்பரப்பு சிகிச்சை செய்யப்படுகிறது. இந்த படிநிலை தோற்றத்தை விட முக்கியமானது, ஏனெனில் ஒட்டுதல் மேற்பரப்பு நிலையைப் பொறுத்தது.
• எரிவாயு அறிமுகம்:MTS மற்றும் ஹைட்ரஜன் போன்ற முன்னோடிகள் அணுஉலையில் அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன. அமைப்பைப் பொறுத்து சரியான விகிதம் மாறுபடும்.
• வைப்பு எதிர்வினை:உயர்ந்த வெப்பநிலையில் (பொதுவாக சுமார் 1000-1400°C), வாயுக்கள் மேற்பரப்புக்கு அருகில் வினைபுரியத் தொடங்கி, எதிர்வினை தொடரும் போது சிலிக்கான் கார்பைடு உருவாகிறது.
• வளர்ச்சி கட்டுப்பாடு:பூச்சு தடிமன் மற்றும் அமைப்பு வெப்பநிலை, அழுத்தம் மற்றும் வாயு ஓட்டத்தால் பாதிக்கப்படுகிறது. நடைமுறையில், இவற்றை நிலையாக வைத்திருப்பது ஒரு சீரான அடுக்கைப் பெறுவதற்கு முக்கியமாகும்.
• குளிரூட்டல் மற்றும் ஆய்வு:படிந்த பிறகு, பாகங்கள் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட முறையில் குளிர்விக்கப்படுகின்றன, பின்னர் பூச்சு சமமாகவும் சரியாகவும் பிணைக்கப்பட்டுள்ளதா என்பதை சரிபார்க்கவும்.
  
  

CVD SiC பூச்சுகளின் முக்கிய நன்மைகள்
பெரும்பாலான பயன்பாடுகளில், CVD SiC பூச்சு ஒரு அம்சத்திற்காக அல்ல, ஆனால் ஒட்டுமொத்தமாக அது எவ்வாறு செயல்படுகிறது என்பதற்காகத் தேர்ந்தெடுக்கப்படுகிறது.

• உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு:மீண்டும் மீண்டும் சூடாக்கும் போது இது ஒப்பீட்டளவில் நிலையானதாக இருக்கும், இது எபிடாக்ஸி மற்றும் உலை செயல்முறைகளில் பயனுள்ளதாக இருக்கும்.
• அரிப்பு எதிர்ப்பு:இது பல பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது குளோரின் மற்றும் ஃவுளூரின் போன்ற எதிர்வினை வாயுக்களை நியாயமான முறையில் கையாளுகிறது.
• குறைந்த துகள் உருவாக்கம்:மேற்பரப்பு அடர்த்தியாக இருப்பதால், அது குறைவான துகள்களை உருவாக்க முனைகிறது, இது மாசு-உணர்திறன் செயல்முறைகளுக்கு உதவுகிறது.
• இயந்திர ஆயுள்:பூச்சு மிகவும் கடினமானது, எனவே இது கையாளுதல் மற்றும் நீண்ட கால பயன்பாட்டின் போது உடைகளை எதிர்க்கிறது.
• செயல்முறை நிலைத்தன்மை:சீரான பூச்சு தரத்துடன், உபகரணங்கள் காலப்போக்கில் கணிக்கக்கூடிய வகையில் இயங்கும்.
  
  

• குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள்:சஸ்செப்டர்கள், வேஃபர் கேரியர்கள், செயல்முறை குழாய்கள் மற்றும் அறை கூறுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
• எபிடாக்ஸி (SiC / GaN / LED)உயர்தர திரைப்பட வளர்ச்சிக்கு நிலையான மற்றும் சுத்தமான சூழலை வழங்குகிறது.
• பிளாஸ்மா செயலாக்க அமைப்புகள்:PECVD, ICP மற்றும் RIE அமைப்புகளில் உள்ள கூறுகளை பிளாஸ்மா அரிப்பிலிருந்து பாதுகாக்கிறது.
• உயர் வெப்பநிலை உலைகள்:பரவல் மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற செயல்முறைகளில் நீடித்து நிலைத்திருப்பதை உறுதி செய்கிறது.
• மேம்பட்ட தொழில்துறை பயன்பாடுகள்:விண்வெளி மற்றும் பிற உயர் வெப்பநிலை அமைப்புகளிலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

தொழில் பார்வை
குறைக்கடத்தி செயல்முறைகள் தொடர்ந்து உருவாகி வருவதால், உபகரணங்களுக்குள் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்களின் மீதான எதிர்பார்ப்புகள் அதிகமாகி வருகின்றன.

உண்மையான உற்பத்தி சூழல்களில், பூச்சு தூய்மை, அடர்த்தி, ஒட்டுதல் மற்றும் நீண்ட கால நிலைத்தன்மை போன்ற காரணிகள் கருவி செயல்திறன் மற்றும் பராமரிப்பு அதிர்வெண்ணை நேரடியாக பாதிக்கின்றன. சிறிய மாறுபாடுகள் கூட மகசூல் இழப்பு அல்லது குறுகிய கூறு வாழ்நாள்களுக்கு வழிவகுக்கும்.

சமீபத்திய ஆண்டுகளில் CVD SiC பூச்சுகள் மிகவும் பொதுவானதாக இருப்பதற்கு இதுவும் ஒரு காரணம். வெப்பம், வினைத்திறன் வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா அனைத்தும் ஒரே நேரத்தில் இருக்கும் கலப்புச் சூழல்களில் அவை சிறப்பாகப் பிடிக்கின்றன.

VeTek செமிகண்டக்டர் உட்பட பல சப்ளையர்கள் இதில் வேலை செய்வதை நீங்கள் காண்பீர்கள், முக்கியமாக செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துவதில் கவனம் செலுத்துகிறது மற்றும் நீண்ட ரன்களில் பூச்சு செயல்திறனை மேலும் யூகிக்கக்கூடியதாக மாற்றுகிறது.

    

முடிவுரை
இன்று இது எங்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது என்று நீங்கள் பார்த்தால், CVD SiC பூச்சு ஏற்கனவே நிறைய குறைக்கடத்தி மற்றும் உயர் வெப்பநிலை அமைப்புகளில் மிகவும் நிலையான தேர்வாக உள்ளது.

முறையீடு மிகவும் நேரடியானது:

• இது வெப்பத்தை விரைவாகக் குறைக்காமல் நன்றாகக் கையாளுகிறது
• இது ஆக்கிரமிப்பு செயல்முறை வாயுக்களுடன் எளிதில் செயல்படாது
• இது மாசுபாட்டை கட்டுக்குள் வைத்திருக்க உதவுகிறது
• பெரும்பாலான சந்தர்ப்பங்களில், இது பல மாற்று பூச்சுகளை விட நீண்ட காலம் நீடிக்கும்

நிச்சயமாக, எந்த பொருளும் சரியானது அல்ல, ஆனால் பல பயன்பாடுகளுக்கு-குறிப்பாக எபிடாக்ஸி மற்றும் பிளாஸ்மா தொடர்பான செயல்முறைகள்-இது ஒரு நடைமுறை மற்றும் நிரூபிக்கப்பட்ட விருப்பமாகும்.

செயல்முறை நிலைமைகள் தொடர்ந்து இறுக்கமடைவதால், SiC பூச்சுகள் போன்ற பொருட்கள் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கு இடையே ஒரு நல்ல சமநிலையை வழங்குவதால், இழுவைப் பெறலாம்.