TaC பூச்சு: 8-இன்ச் சிலிக்கான் கார்பைடு PVT எபிடாக்ஸிக்கான விளைச்சலின் கேட் கீப்பர்

8-இன்ச் SiC மாற்றம் முடிந்தது. விளைச்சல் ரேஸ் இப்போதுதான் தொடங்கிவிட்டது

முக்கிய முடிவுகள்: 8 அங்குல சகாப்தத்தில், போட்டி நன்மைகள் வருகின்றனஉலை ஒன்றுக்கு விளைச்சலில் இருந்து கள், மற்றும் வெப்ப மண்டலத்தில் என்ன நடக்கிறது என்பதன் மூலம் மகசூல் தீர்மானிக்கப்படுகிறது - எந்தவொரு செதில் செயலாக்கமும் தொடங்குவதற்கு நீண்ட காலத்திற்கு முன்பே.

இரண்டு ஆண்டுகளுக்கு முன்பு, 8 அங்குல SiC ஒரு சாலை வரைபட ஸ்லைடாக இருந்தது. இன்று அது சந்தை யதார்த்தம். 20-க்கும் மேற்பட்ட நிறுவனங்கள் 2025 இல் 8-இன்ச் SiC கோடுகளை உருவாக்கி அல்லது திட்டமிடுகின்றன, மேலும் 2026 இன் முதல் பாதியில் குறைந்தது எட்டு இணைந்தன. Wolfspeed இன் 8-இன்ச் சாதன வருவாய் 2025 இல் 103% வளர்ந்தது. Semixlab டெக்னாலஜி அதன் 8-அங்குல ஏற்றுமதி இந்த ஆண்டு 80%-80% வளரும் என்று எதிர்பார்க்கிறது. 2028 ஆம் ஆண்டளவில், தொழில்துறை ஆய்வாளர்கள் 8-இன்ச் செதில்கள் 6-அங்குலத்தை விஞ்சும் என்று எதிர்பார்க்கிறார்கள், SiC சந்தை 10 பில்லியன் அமெரிக்க டாலர்களை நெருங்குகிறது.

TrendForce ஒரு தொழில்துறையானது 2-3 வருட செரிமானக் கட்டத்தில் நுழைவதை விவரிக்கிறது - 6-இன்ச் திறன் உபரியாக இருக்கலாம், ஆனால் அதிக மகசூல் 8-இன்ச் திறன் குறைவாகவே உள்ளது. மகசூல், திறன் அல்ல, இப்போது அகழி. மற்றும் விளைச்சலுக்கு ஒரு முகவரி உள்ளது: உலை வெப்ப மண்டலம்.

ஏன் 8-இன்ச் SiC வேஃபர் விளைச்சல் சஸ்செப்டரில் உள்ள சுவரைத் தாக்குகிறது

முக்கியமுடிவுரைs: பெரும்பாலான விவரிக்கப்படாத 8-அங்குல மகசூல் இழப்பு என்பது மாறுவேடத்தில் ஒரு வெப்ப-புலப் பிரச்சனையாகும் - மேலும் வெப்பப் புலமானது கிராஃபைட்டைப் பாதுகாக்கும் பூச்சு போலவே நிலையானது.

8 அங்குல நகர்வின் பொருளாதாரம் எளிமையானது: ஒரு படிகத்திற்கு சுமார் 78% அதிகமாக பயன்படுத்தக்கூடிய செதில் பகுதி. இயற்பியல் மன்னிக்கும் திறன் குறைவாக உள்ளது. கிராஃபைட் வன்பொருளை 200 மிமீக்கு அளவிடுவது 6 அங்குலங்களில் பதிவு செய்யப்படாத மூன்று தோல்வி முறைகளைப் பெருக்குகிறது:

·Suscஎப்டார் போர்பேஜ். 200 மிமீ கிராஃபைட் பகுதி முழுவதும் விரைவான வெப்ப சுழற்சியானது நுண்ணிய சிதைவை உருவாக்குகிறது. விளிம்பு குறைபாடுகள் - தற்போதைய 8-இன்ச் கோடுகளில் ஆதிக்கம் செலுத்தும் விளைச்சல் கொல்லி - இந்த வார்பேஜை மூல-தூள் தரத்தை விட அடிக்கடி கண்டறியும்.

· வெப்ப சீரான சறுக்கல். ஒரு சீரழிவு சாதனம் ஒரு பெரிய க்ரூசிபிள் முழுவதும் நிலையான வெப்பநிலை சுயவிவரத்தை வைத்திருக்க முடியாது. படிகமானது நகரும் வெப்பப் புலத்தைப் பார்க்கிறது, மேலும் வளர்ச்சியின் முன்பகுதி மன அழுத்தம் மற்றும் குறைபாடுகளுடன் பதிலளிக்கிறது.

· மெதுவாக மாசுபடுதல். 8 அங்குல பிரச்சாரங்கள் சூடாகவும் நீண்டதாகவும் இருக்கும். பாதுகாக்கப்படாத கிராஃபைட் பகுதி வெளியிடும் ஒவ்வொரு மைக்ரோகிராம் தூய்மையற்றது மைக்ரோ பைப்புகள், எட்ச் பிட்கள் மற்றும் இடப்பெயர்வுகளாக மாறுகிறது - விற்கக்கூடிய பவுல் மற்றும் ஸ்கிராப்புக்கு இடையேயான வித்தியாசம்.

இவை எதுவும் செதில் ஆய்வு அறிக்கையில் "ஃபிக்சர் தோல்வி" எனக் காட்டப்படவில்லை. அவை வெளிப்படையான காரணமின்றி மகசூல் இழப்பாகக் காட்டப்படுகின்றன, இதுவே அவற்றை விலை உயர்ந்ததாக ஆக்குகிறது.

TaC பூச்சு எதிராக SiC பூச்சு: 1,600°Cக்கு மேல் என்ன மாற்றங்கள்

முக்கியமுடிவுகள்: 1,600°Cக்கு மேல், TaC ஆனது SiC பூச்சுக்கு மேல் மேம்படுத்தப்பட்டதல்ல - முழு 8-அங்குல பிரச்சாரத்திற்கான தூய்மை மற்றும் பரிமாண நிலைப்புத்தன்மையின் வரியைக் கொண்டிருக்கும் ஒரே பூச்சு வேதியியல் இதுவாகும்.

கிராஃபைட்டில் உள்ள SiC பூச்சுகள் சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி மற்றும் மிதமான வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் தங்கள் இடத்தைப் பெற்றுள்ளன. ஆனால் 2,200–2,400°C இல் PVT வளர்ச்சி மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை MOCVD ஆனது SiC பூச்சு வேதியியல் உங்களுக்கு எதிராக செயல்படும் ஆட்சியில் பொருத்துதல்களை தள்ளுகிறது:

· தோராயமாக 1,600°Cக்கு மேல், SiC பூச்சுகள் ஹைட்ரஜனுடன் வினைபுரிந்து, கிராஃபைட் வெளியேற்றம் மற்றும் கீழ்நிலை குறைபாடுகளை உண்டாக்குகிறது

· TaC அரிப்பு விகிதங்கள் சுமார் இயங்கும்உயர் வெப்பநிலை அம்மோனியாவில் SiC பூச்சுகளை விட 6× குறைவாகவும், உயர் வெப்பநிலை ஹைட்ரஜனில் 10×க்கு மேல் குறைவாகவும்- நவீன வளர்ச்சி அறைகளில் ஆதிக்கம் செலுத்தும் இரண்டு வளிமண்டலங்கள்

SiC பூச்சு டஜன் கணக்கான வெப்ப சுழற்சிகளுக்கு உயிர்வாழும் பாகங்கள், TaC பூச்சு நூற்றுக்கணக்கான உயிர்வாழ்கிறது

டான்டலம் கார்பைடு மட்டுமே இவை அனைத்தையும் ஒரே நேரத்தில் அட்டவணைக்குக் கொண்டுவரும் ஒரே நடைமுறை பொருள்

PVT வளர்ச்சியில் TaC-கோடட் கிராஃபைட் பாகங்கள் எவ்வாறு பணம் செலுத்துகின்றன

முக்கிய முடிவுகள்: நீண்ட கால வெப்ப மண்டலம் பராமரிப்புச் சேமிப்பு அல்ல - இது உலை இயக்க நேரம், மீட்டெடுக்கப்பட்ட படிகங்கள் மற்றும் உலைகள் திறந்திருக்கும் போது உங்கள் போட்டியாளர்கள் இழக்க நேரிடும்.

பண வாதம் அப்பட்டமானது. பராமரிப்புக்காக உலையை முன்கூட்டியே திறப்பது, ஃபிக்ஸ்ச்சர், ரேம்ப்-அப் நேரம், மறு-நிலைப்படுத்தப்பட்ட வெப்பப் புலம் மற்றும் எந்த படிக வளர்ச்சியின் நடுப்பகுதியில் இருந்தாலும் செலவாகும். தொழில்துறை பகுப்பாய்வுகள் ஒவ்வொரு 50-200 வளர்ச்சி சுழற்சிகளிலும் ஃபிக்சர் மாற்றீட்டை வைக்கின்றன, மேலும் 10 க்கும் குறைவான தகுதிவாய்ந்த TaC பூச்சு வழங்குநர்கள் உலகளவில் இருப்பதைக் கவனிக்கவும் - செதில் உற்பத்தியாளர்கள் இரண்டாவது ஆதாரங்களைத் தீவிரமாகத் தகுதி பெறுவதற்கு ஒரு காரணம்.

ஒரு வலுவான TaC அமைப்பு என்ன வழங்குகிறது என்பதை களத் தரவு காட்டுகிறது:

SiCrystal (Rohm Group) இல் PVT சேவையில், CVD TaC-கோடட் கிராஃபைட் பாகங்கள் மற்றும் பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சுகள் பூஜ்ஜிய உயர் வெப்பநிலை எடை இழப்பு மற்றும் அளவிடக்கூடிய அளவு குறைக்கப்பட்ட மைக்ரோபைப் மற்றும் எட்ச்-பிட் அடர்த்தியுடன் க்ரூசிபிள் மறுபயன்பாட்டை 200 மணிநேரத்திற்கு நீட்டித்தது.

GaN/SiC எபிடாக்ஸியில், TaC-பூசப்பட்ட சாதனங்கள் SiC-பூசப்பட்ட சமமான ஆயுட்காலம் 2-3× வழங்கப்பட்டுள்ளன.

· சீன நிரல்கள் இப்போது TaC-பூசப்பட்ட பாகங்களை 600 மணிநேர சேவை வாழ்க்கைக்கு மேலாக நிரூபித்துள்ளன - விநியோக தளம் ஆய்வக ஆர்வத்தை கடந்துவிட்டது.

முறை சீரானது: வெப்ப மண்டலம் நிலையாக இருக்கும் போது, ​​விளைச்சல் பின்வருமாறு. அது இல்லாதபோது, ​​எந்த அளவு கீழ்நிலை டியூனிங் செய்தாலும் இழப்பை மீட்டெடுக்க முடியாது.

8-இன்ச் SiC Epitaxyக்கான TaC பூச்சு சப்ளையரைத் தகுதி பெறுவது எப்படி

முக்கிய முடிவுகள்: தணிக்கை செய்யக்கூடிய சான்றுகளின் மீது தகுதி பெறுங்கள் - நிறைய அளவிலான தூய்மை அறிக்கைகள், பிணைப்பு தரவு மற்றும் பெயரிடப்பட்ட உபகரண தளங்கள் - ஒரு தரவுத்தாள் மட்டும் அல்ல.

8-இன்ச் சஸ்செப்டர் என்பது 6-இன்ச் அளவுள்ள பகுதி அல்ல. பெரிய பூச்சு பகுதி தடிமன் சீரான தன்மை, ஒட்டுதல், வெப்ப அழுத்தம், போர்ப்பக்கம் மற்றும் துகள் வெளியீடு ஆகியவற்றில் ஒவ்வொரு சவாலையும் பெரிதாக்குகிறது. ஒரு சப்ளையருக்கு உற்பத்தி வரியை வழங்குவதற்கு முன், ஐந்து புள்ளிகளை அழுத்தவும்:

1. பெரிய வடிவ திறன்இது, திட்டமிடப்படவில்லை என நிரூபிக்கப்பட்டுள்ளது. அவர்கள் உற்பத்தியில் எந்த விட்டம் பூசுகிறார்கள் என்று கேளுங்கள், கொள்கையளவில் அல்ல. Ø750 மிமீ வரை பூச்சு வசதிகள் 8 அங்குல வன்பொருளை செயல்முறை சாளரத்தின் உள்ளே நன்றாக வைத்திருக்கின்றன; Ø200 மிமீ பாகங்கள் சப்ளையரின் திறனின் விளிம்பில் இருந்தால், நீங்கள் பின்னர் செலுத்த வேண்டிய ஆபத்து.

2. நீங்கள் ஆட் செய்யக்கூடிய தூய்மை தரவுஅது. உண்மையான நிறையில் GDMS மற்றும் D-SIMS அறிக்கைகளைக் கோரவும். சிறந்த-இன்-கிளாஸ் CVD TaC ஆனது 99.99953% தூய்மையில் இயங்குகிறது, 1 ppm க்குக் கீழே மாறுதல் கூறுகளுடன் (Fe, Ni, Cu) இயங்குகிறது.

3. ஒட்டுதல் என்ஜிநெருடல். 3 MPa க்கு மேல் பிணைப்பு வலிமையுடன் கூடிய இடையக-அடுக்கு தொழில்நுட்பம் மற்றும் கிராஃபைட்டுடன் பொருந்திய CTE ஆகியவை நூற்றுக்கணக்கான சுற்றுப்புறத்திலிருந்து 2,300 டிகிரி செல்சியஸ் சுழற்சிகளில் டிலாமினேஷனை நிறுத்துகிறது. 40 ஓட்டத்தில் உரிக்கப்படும் பூச்சு பூச்சு இல்லாததை விட மோசமானது.

4. உண்மையான வடிவவியலில் முறையான கவரேஜ். ஒரே மாதிரியான 30-40 மைக்ரான் அடுக்கு கோள்கள், கவர்கள், திசை திருப்பும் வளையங்கள் மற்றும் அரை நிலவு பாகங்கள் முழுவதும் இருக்க வேண்டும் - தட்டையான சோதனை கூப்பன்கள் மட்டுமல்ல.

5. உற்பத்தி வரலாறுமீது yஉங்கள் கருவிகள். AIXTRON G5/G10, LPE, ASM மற்றும் முன்னணி PVT இயங்குதளங்களில், 3 μm-கிளாஸ் மெஷினிங் மற்றும் இன்-ஹவுஸ் GDMS, SEM, XRD மற்றும் ஸ்கிராட்ச் சோதனை ஆகியவற்றின் மூலம் நீங்கள் சந்திக்கவிருக்கும் பிரச்சனைகளை சப்ளையர் ஏற்கனவே தீர்த்துவிட்டதாகக் கூறுகிறது.

முடிவுகள்

8-அங்குல மாற்றம் வெப்ப-புலப் பொருட்களை மூலோபாயமாகக் கருதும் நிறுவனங்களுக்கு வெகுமதி அளிக்கிறது. அடி மூலக்கூறு தயாரிப்பாளர்கள் விளைச்சலைத் தெரிவிக்கிறார்கள், அது அவர்களின் கேபெக்ஸை நியாயப்படுத்துகிறது, அவர்களின் வெப்ப மண்டலங்கள் நூற்றுக்கணக்கான மணிநேரங்களுக்கு நிலையானதாக இருக்கும்; பூசப்பட்ட வன்பொருளை வாங்கும் வரிசைப் பொருளாகக் கருதுபவர்கள் விளிம்பு-குறைபாடுள்ள வரைபடங்களை உற்று நோக்குகின்றனர்.

VeTek செமிகண்டக்டரில், நாங்கள் உற்பத்தி செய்கிறோம்CVD TaC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள்— 99.99953% பூச்சுத் தூய்மை, > 3 MPa பிணைப்பு வலிமை, 30-40 μm கன்பார்மல் கவரேஜ் மற்றும் Ø750 மிமீ வரை பூச்சு திறன் - கிரக மற்றும் வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள், சஸ்செப்டர் கவர்கள், க்ரூசிபிள்கள் மற்றும் நுண்ணிய TaC. எங்கள் உதிரிபாகங்கள் AIXTRON, LPE மற்றும் ASM இயங்குதளங்களில் உற்பத்தி செய்யப்படுகின்றன, மேலும் Rohm Group சப்ஸ்ட்ரேட் நிறுவனத்தில் உயர் அரிப்பு PVT சேவையில் 200 மணிநேர க்ரூசிபிள் மறுபயன்பாட்டை வழங்குகின்றன. R&D முதலீடு ஆண்டு வருவாயில் 30% அதிகமாக இருக்கும் இரட்டை R&D மையங்களில் இருந்து ஒவ்வொரு பகுதியும் GDMS/D-SIMS டிரேசபிலிட்டியுடன் அனுப்பப்படுகிறது.

8-அங்குல சரிவுப் பாதைக்கான உதிரிபாகங்களைத் தகுதிபெறச்செய்கிறதா அல்லது உங்கள் ஹாட்-ஜோன் சப்ளை செயினின் அபாயத்தைக் குறைக்க இரண்டாவது மூலத்தைத் தேடுகிறீர்களா?எங்கள் பொறியியல் குழுவைத் தொடர்பு கொள்ளவும்உங்கள் உலை மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்கள் பற்றிய மாதிரி மதிப்பீட்டிற்கு. ஸ்டாண்டர்ட் பாகங்கள் கையிருப்பில் இருந்து கப்பல்; தனிப்பயன் பாகங்கள் பொதுவாக 3-6 வாரங்களில் வழங்கப்படுகின்றன.

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்

Q1:TaC பூச்சு எந்த வெப்பநிலையைத் தாங்கும்?

டான்டலம் கார்பைடு தோராயமாக 3,880°C இல் உருகும் - அனைத்து பைனரி கார்பைடுகளிலும் மிக உயர்ந்தது. உற்பத்தியில், TaC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள் அரிக்கும் H₂ மற்றும் NH₃ வளிமண்டலங்களில் 2,300–2,600°C இல் தொடர்ந்து சேவை செய்கின்றன.

Q2:HPVT வளர்ச்சியில் TaC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் க்ரூசிபிள் நீண்ட காலம் நீடிக்குமா?

ஆவணப்படுத்தப்பட்ட கள முடிவுகள் பூஜ்ஜிய உயர் வெப்பநிலை எடை இழப்புடன் 200 மணிநேர க்ரூசிபிள் மறுபயன்பாட்டை அடைகின்றன, மேலும் முன்னணி திட்டங்கள் பூச்சு சேவையின் 600 மணிநேரத்தை தாண்டிவிட்டன. வழக்கமான மாற்று இடைவெளிகள் செயல்முறையைப் பொறுத்து 50-200 வளர்ச்சி சுழற்சிகளை இயக்குகின்றன.

Q3:SiC பூச்சுக்கு மேல் TaC ஐ எப்போது தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

~1,600°Cக்கு கீழே, SiC பூச்சு ஒரு நல்ல, சிக்கனமான தேர்வாக உள்ளது. SiC PVT படிக வளர்ச்சி மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை MOCVD எபிடாக்ஸிக்கு - அங்கு ஹைட்ரஜன் மற்றும் அம்மோனியா ஃபிக்ஸ்ச்சரைத் தாக்கும் - TaC இன் 6-10× குறைந்த அரிப்பு விகிதம் மற்றும் நீண்ட வெப்ப-சுழற்சி வாழ்க்கை அதை பாதுகாப்பான பொறியியல் முடிவாக மாற்றுகிறது.

குறிப்புகள்:

1. ஓநாய் வேகம். "2025 நிதியாண்டு அறிக்கை - சீனா சந்தை 8-இன்ச் சாதன வருவாய் வளர்ச்சி." 2025.

2. TrendForce. "உலகளாவிய SiC பவர் சாதன சந்தை பகுப்பாய்வு அறிக்கை 2026." அறிக்கை எண். RP260401AC, 2026.

3. மொமென்டிவ் டெக்னாலஜிஸ். "உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கான TaC பூச்சுகள்." தொழில்நுட்ப தரவு தாள், 2025.

பொறியாளர் Nickwu CVD பூச்சுகள் மற்றும் கார்பன் அடிப்படையிலான சூடான-மண்டலப் பொருட்களின் R&D இல் 15 வருட அனுபவம் கொண்டவர். 8 அங்குல SiC எபிடாக்ஸியில் பயன்படுத்தப்படும் சீனாவின் முதல் TaC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்களுக்கு வெகுஜன உற்பத்தியை அறிமுகப்படுத்தும் திட்டத்தை அவர் வழிநடத்தினார். அவர் SiC படிக வளர்ச்சிக்கான பல சூடான-மண்டல வடிவமைப்பு மற்றும் தோல்வி பகுப்பாய்வு திட்டங்களில் பங்கேற்றுள்ளார் மற்றும் சூடான மண்டல பொருட்கள் தொடர்பான ஏழு கண்டுபிடிப்பு காப்புரிமைகளை பெற்றுள்ளார்.