தொழில் செய்திகள்

MOCVD எபிடாக்ஸி கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்களில் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளின் விளிம்பு மஞ்சள் மற்றும் உரிக்கப்படுவதற்கான காரணங்கள் பற்றிய ஆழமான பகுப்பாய்வு. ஆரம்ப சிவிடி படிவு வீதம் மற்றும் ஓட்டப் புலத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தி, பூச்சு விளைச்சலை 50% முதல் 90% வரை அதிகரிப்பதன் மூலம் மற்றும் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் பாகங்களின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிப்பதன் மூலம் VeTek நுண்ணிய அழுத்தத்தை நீக்கியது.

மல்டி-பாக்கெட் சிலிக்கான் எபிடாக்சி கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்களில் 1.4% பாக்கெட்-டு-பாக்கெட் தடிமன் மாறுபாட்டை நிவர்த்தி செய்து, VeTek Semi susceptor flatness ஐ <0.08mmக்கு மேம்படுத்தியது மற்றும் CVD ஃப்ளோ ஃபீல்ட் சிமுலேஷன் மற்றும் அதி-துல்லியமான விளைச்சல் மூலம் 0.69% மாறுபாட்டைக் குறைத்தது.

பெரிய அளவிலான MOCVD SiC-கோடட் கிராஃபைட் சஸ்பெக்டர்களில் உள்ள ரேடியல் கிராக்கிங்கை Vetek எப்படி நீக்கியது என்பதை அறிக. கட்டமைப்பு அழுத்த இடையக மறுவடிவமைப்பு & CTE பொருத்தம் சேவை வாழ்க்கையை 300%+ அதிகரித்துள்ளது.