தொழில் செய்திகள்

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில், இரசாயன மெக்கானிக்கல் பிளானரைசேஷன் (சிஎம்பி) செயல்முறையானது செதில் மேற்பரப்புத் திட்டமிடலை அடைவதற்கான முக்கிய கட்டமாகும், இது அடுத்தடுத்த லித்தோகிராஃபி படிகளின் வெற்றி அல்லது தோல்வியை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது. CMP இல் முக்கியமான நுகர்வுப் பொருளாக, பாலிஷிங் ஸ்லரியின் செயல்திறன் நீக்குதல் வீதத்தைக் (RR) கட்டுப்படுத்துதல், குறைபாடுகளைக் குறைத்தல் மற்றும் ஒட்டுமொத்த விளைச்சலை மேம்படுத்துதல் ஆகியவற்றில் இறுதிக் காரணியாகும்.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் உயர்-பங்கு உலகில், துல்லியமான மற்றும் தீவிர சூழல்கள் இணைந்திருக்கும், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஃபோகஸ் வளையங்கள் இன்றியமையாதவை. அவற்றின் விதிவிலக்கான வெப்ப எதிர்ப்பு, இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றிற்கு அறியப்பட்ட இந்த கூறுகள் மேம்பட்ட பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்முறைகளுக்கு முக்கியமானவை. அவற்றின் உயர் செயல்திறனுக்குப் பின்னால் உள்ள ரகசியம் சாலிட் சிவிடி (ரசாயன நீராவி டெபாசிஷன்) தொழில்நுட்பத்தில் உள்ளது. இன்று, கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு முதல் ஃபேப்பின் உயர் துல்லியமான "கண்ணுக்கு தெரியாத ஹீரோ" வரையிலான கடுமையான உற்பத்திப் பயணத்தை ஆராய உங்களை திரைக்குப் பின்னால் அழைத்துச் செல்கிறோம்.

செமிகண்டக்டர் துறையில் உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் பொருட்கள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. அவற்றின் உயர்ந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் ஒளி பரிமாற்ற பண்புகள் அவற்றை முக்கியமான நுகர்பொருட்களாக ஆக்குகின்றன. குவார்ட்ஸ் தயாரிப்புகள் செதில் உற்பத்தியின் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை மண்டலங்களில் உள்ள கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இது உற்பத்தி செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது.

உலகளாவிய ஆற்றல் மாற்றம், AI புரட்சி மற்றும் புதிய தலைமுறை தகவல் தொழில்நுட்பங்களின் அலை ஆகியவற்றுடன், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அதன் விதிவிலக்கான இயற்பியல் பண்புகள் காரணமாக "சாத்தியமான பொருள்" என்பதிலிருந்து "மூலோபாய அடித்தளப் பொருள்" ஆக வேகமாக முன்னேறியுள்ளது.

குறைக்கடத்தி உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில், செதில்களின் கையாளுதல், துணைபுரிதல் மற்றும் வெப்ப சிகிச்சை ஆகியவை ஒரு சிறப்பு துணை கூறு-செதில் படகை சார்ந்துள்ளது. செயல்முறை வெப்பநிலை உயரும் மற்றும் தூய்மை மற்றும் துகள் கட்டுப்பாடு தேவைகள் அதிகரிக்கும் போது, ​​பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் செதில் படகுகள் படிப்படியாக குறுகிய சேவை வாழ்க்கை, அதிக சிதைவு விகிதங்கள் மற்றும் மோசமான அரிப்பு எதிர்ப்பு போன்ற சிக்கல்களை வெளிப்படுத்துகின்றன.

சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளின் தொழில்துறை அளவிலான உற்பத்திக்கு, ஒற்றை வளர்ச்சி ஓட்டத்தின் வெற்றி இறுதி இலக்கு அல்ல. வெவ்வேறு தொகுதிகள், கருவிகள் மற்றும் காலகட்டங்களில் வளர்க்கப்படும் படிகங்கள் உயர் நிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் தரத்தில் மீண்டும் மீண்டும் செயல்படுவதை உறுதி செய்வதில் உண்மையான சவால் உள்ளது. இந்த சூழலில், டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளின் பங்கு அடிப்படை பாதுகாப்பிற்கு அப்பாற்பட்டது - இது செயல்முறை சாளரத்தை உறுதிப்படுத்துவதிலும் தயாரிப்பு விளைச்சலைப் பாதுகாப்பதிலும் முக்கிய காரணியாகிறது.