தொழில் செய்திகள்

செமிகண்டக்டர் துறையில் உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் பொருட்கள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. அவற்றின் உயர்ந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் ஒளி பரிமாற்ற பண்புகள் அவற்றை முக்கியமான நுகர்பொருட்களாக ஆக்குகின்றன. குவார்ட்ஸ் தயாரிப்புகள் செதில் உற்பத்தியின் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை மண்டலங்களில் உள்ள கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இது உற்பத்தி செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது.

உலகளாவிய ஆற்றல் மாற்றம், AI புரட்சி மற்றும் புதிய தலைமுறை தகவல் தொழில்நுட்பங்களின் அலை ஆகியவற்றுடன், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அதன் விதிவிலக்கான இயற்பியல் பண்புகள் காரணமாக "சாத்தியமான பொருள்" என்பதிலிருந்து "மூலோபாய அடித்தளப் பொருள்" ஆக வேகமாக முன்னேறியுள்ளது.

குறைக்கடத்தி உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில், செதில்களின் கையாளுதல், துணைபுரிதல் மற்றும் வெப்ப சிகிச்சை ஆகியவை ஒரு சிறப்பு துணை கூறு-செதில் படகை சார்ந்துள்ளது. செயல்முறை வெப்பநிலை உயரும் மற்றும் தூய்மை மற்றும் துகள் கட்டுப்பாடு தேவைகள் அதிகரிக்கும் போது, ​​பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் செதில் படகுகள் படிப்படியாக குறுகிய சேவை வாழ்க்கை, அதிக சிதைவு விகிதங்கள் மற்றும் மோசமான அரிப்பு எதிர்ப்பு போன்ற சிக்கல்களை வெளிப்படுத்துகின்றன.

சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளின் தொழில்துறை அளவிலான உற்பத்திக்கு, ஒற்றை வளர்ச்சி ஓட்டத்தின் வெற்றி இறுதி இலக்கு அல்ல. வெவ்வேறு தொகுதிகள், கருவிகள் மற்றும் காலகட்டங்களில் வளர்க்கப்படும் படிகங்கள் உயர் நிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் தரத்தில் மீண்டும் மீண்டும் செயல்படுவதை உறுதி செய்வதில் உண்மையான சவால் உள்ளது. இந்த சூழலில், டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளின் பங்கு அடிப்படை பாதுகாப்பிற்கு அப்பாற்பட்டது - இது செயல்முறை சாளரத்தை உறுதிப்படுத்துவதிலும் தயாரிப்பு விளைச்சலைப் பாதுகாப்பதிலும் முக்கிய காரணியாகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) PVT வளர்ச்சியானது கடுமையான வெப்ப சுழற்சியை உள்ளடக்கியது (அறை வெப்பநிலை 2200 ℃ க்கு மேல்). வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகங்களில் (CTE) பொருந்தாததன் காரணமாக பூச்சுக்கும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையே உருவாகும் மிகப்பெரிய வெப்ப அழுத்தமானது பூச்சு வாழ்நாள் மற்றும் பயன்பாட்டின் நம்பகத்தன்மையை நிர்ணயிக்கும் முக்கிய சவாலாகும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) PVT படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டில், வெப்பப் புலத்தின் நிலைத்தன்மையும் சீரான தன்மையும் நேரடியாக படிக வளர்ச்சி விகிதம், குறைபாடு அடர்த்தி மற்றும் பொருள் சீரான தன்மையை தீர்மானிக்கிறது. அமைப்பின் எல்லையாக, வெப்ப-புல கூறுகள் மேற்பரப்பு தெர்மோபிசிகல் பண்புகளை வெளிப்படுத்துகின்றன, அதன் சிறிய ஏற்ற இறக்கங்கள் அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் வியத்தகு முறையில் பெருக்கப்படுகின்றன, இறுதியில் வளர்ச்சி இடைமுகத்தில் உறுதியற்ற தன்மைக்கு வழிவகுக்கும்.

இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT) முறையின் மூலம் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிகங்களை வளர்க்கும் செயல்பாட்டில், 2000-2500 °C என்ற தீவிர உயர் வெப்பநிலையானது "இரட்டை முனைகள் கொண்ட வாள்" ஆகும் - இது மூலப்பொருட்களின் பதங்கமாதல் மற்றும் போக்குவரத்துக்கு உந்துகிறது, இது வியத்தகு முறையில் தீவிரப்படுத்துகிறது வழக்கமான கிராஃபைட் வெப்ப மண்டல கூறுகள். இந்த அசுத்தங்கள் வளர்ச்சி இடைமுகத்தில் நுழைந்தவுடன், அவை நேரடியாக படிகத்தின் முக்கிய தரத்தை சேதப்படுத்தும். டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள் PVT படிக வளர்ச்சிக்கான "விருப்பத் தேர்வு" என்பதை விட "கட்டாய விருப்பமாக" மாறியதற்கு இதுவே அடிப்படைக் காரணம்.

Veteksemicon இல், நாங்கள் தினசரி இந்த சவால்களை வழிநடத்துகிறோம், மேம்பட்ட அலுமினியம் ஆக்சைடு பீங்கான்களை துல்லியமான விவரக்குறிப்புகளை பூர்த்தி செய்யும் தீர்வுகளாக மாற்றுவதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். சரியான எந்திரம் மற்றும் செயலாக்க முறைகளைப் புரிந்துகொள்வது மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் தவறான அணுகுமுறை விலையுயர்ந்த கழிவு மற்றும் கூறு தோல்விக்கு வழிவகுக்கும். இதை சாத்தியமாக்கும் தொழில் நுட்பங்களை ஆராய்வோம்.

செதில் வெட்டும் போது டைசிங் நீரில் CO₂ ஐ அறிமுகப்படுத்துவது நிலையான மின்னூட்டம் மற்றும் குறைந்த மாசுபாடு அபாயத்தை அடக்குவதற்கு ஒரு பயனுள்ள செயல்முறை நடவடிக்கையாகும், இதன் மூலம் டைசிங் விளைச்சல் மற்றும் நீண்ட கால சிப் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

சிலிக்கான் செதில்கள் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் அடித்தளமாகும். அவர்கள் ஒரு சுவாரஸ்யமான அம்சத்தைக் கொண்டுள்ளனர் - தட்டையான விளிம்புகள் அல்லது பக்கங்களில் சிறிய பள்ளங்கள் .இது ஒரு குறைபாடு அல்ல, ஆனால் வேண்டுமென்றே வடிவமைக்கப்பட்ட செயல்பாட்டு மார்க்கர். உண்மையில், இந்த உச்சநிலை முழு உற்பத்தி செயல்முறை முழுவதும் ஒரு திசைக் குறிப்பு மற்றும் அடையாளக் குறிப்பானாக செயல்படுகிறது.

இரசாயன மெக்கானிக்கல் பாலிஷ் (CMP) ரசாயன எதிர்வினைகள் மற்றும் இயந்திர சிராய்ப்பு ஆகியவற்றின் ஒருங்கிணைந்த செயல் மூலம் அதிகப்படியான பொருள் மற்றும் மேற்பரப்பு குறைபாடுகளை நீக்குகிறது. இது செதில் மேற்பரப்பின் உலகளாவிய திட்டமிடலை அடைவதற்கான ஒரு முக்கிய செயல்முறையாகும், மேலும் பல அடுக்கு தாமிர இணைப்புகள் மற்றும் குறைந்த-கே மின்கடத்தா கட்டமைப்புகளுக்கு இது இன்றியமையாதது. நடைமுறை உற்பத்தியில்

சிலிக்கான் வேஃபர் CMP (கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பிளானரைசேஷன்) பாலிஷ் ஸ்லரி என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகள் (ICs) மற்றும் மைக்ரோசிப்களை உருவாக்கப் பயன்படும் சிலிக்கான் செதில்கள் - உற்பத்தியின் அடுத்த கட்டங்களுக்குத் தேவையான மென்மையின் சரியான நிலைக்கு மெருகூட்டப்படுவதை உறுதி செய்வதில் இது முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பிளானரைசேஷன் (சிஎம்பி) முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. CMP செயல்முறை சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பை மென்மையாக்குவதற்கு இரசாயன மற்றும் இயந்திர நடவடிக்கைகளை ஒருங்கிணைக்கிறது, இது மெல்லிய-பட படிவு மற்றும் பொறித்தல் போன்ற அடுத்தடுத்த படிகளுக்கு ஒரு சீரான அடித்தளத்தை வழங்குகிறது. CMP மெருகூட்டல் குழம்பு, இந்த செயல்முறையின் முக்கிய அங்கமாக, பாலிஷ் செயல்திறன், மேற்பரப்பு தரம் மற்றும் உற்பத்தியின் இறுதி செயல்திறன் ஆகியவற்றை கணிசமாக பாதிக்கிறது.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் CMP செயல்முறையில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட திரவப் பொருளாகும். இது நீர், இரசாயன செதுக்கல்கள், உராய்வுகள் மற்றும் சர்பாக்டான்ட்களைக் கொண்டுள்ளது, இது இரசாயன பொறித்தல் மற்றும் இயந்திர மெருகூட்டல் இரண்டையும் செயல்படுத்துகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு உராய்வுகள் பொதுவாக குவார்ட்ஸ் மற்றும் பெட்ரோலியம் கோக்கை முதன்மை மூலப்பொருளாகப் பயன்படுத்தி உற்பத்தி செய்யப்படுகின்றன. ஆயத்த கட்டத்தில், இந்த பொருட்கள் வேதியியல் ரீதியாக உலைக் கட்டணத்தில் விகிதாச்சாரத்திற்கு முன் விரும்பிய துகள் அளவை அடைய இயந்திர செயலாக்கத்திற்கு உட்படுகின்றன.

கடந்த சில ஆண்டுகளில், பேக்கேஜிங் தொழில்நுட்பத்தின் மைய நிலை படிப்படியாக "பழைய தொழில்நுட்பம்" - CMP (கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷிங்) க்கு ஒப்படைக்கப்பட்டது. ஹைப்ரிட் பாண்டிங் புதிய தலைமுறை மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்கின் முன்னணி பாத்திரமாக மாறும் போது, ​​CMP படிப்படியாக திரைக்குப் பின்னால் இருந்து கவனத்தை ஈர்க்கிறது.