சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி

உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சி தயாரிப்பது மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் உபகரணங்கள் மற்றும் உபகரணங்களின் துணைப் பொருட்களைப் பொறுத்தது. தற்போது, ​​மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி முறை இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) ஆகும். இது எபிடாக்சியல் ஃபிலிம் தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு, குறைவான குறைபாடுகள், மிதமான வளர்ச்சி விகிதம், தானியங்கி செயல்முறை கட்டுப்பாடு போன்றவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது வணிக ரீதியாக வெற்றிகரமாகப் பயன்படுத்தப்பட்ட நம்பகமான தொழில்நுட்பமாகும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு CVD epitaxy பொதுவாக சூடான சுவர் அல்லது சூடான சுவர் CVD உபகரணங்களை ஏற்றுக்கொள்கிறது, இது உயர் வளர்ச்சி வெப்பநிலை நிலைகளின் கீழ் (1500 ~ 1700℃), சூடான சுவர் அல்லது சூடான சுவர் CVD இன் பல வருட வளர்ச்சியின் படி, எபிடாக்ஸி லேயர் 4H படிக SiC இன் தொடர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது. நுழைவாயில் காற்று ஓட்டம் திசை மற்றும் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பு இடையே உள்ள உறவு, எதிர்வினை அறையை கிடைமட்ட அமைப்பு உலை மற்றும் செங்குத்து அமைப்பு உலை என பிரிக்கலாம்.

SIC எபிடாக்சியல் உலையின் தரத்திற்கு மூன்று முக்கிய குறிகாட்டிகள் உள்ளன, முதலாவது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்திறன், தடிமன் சீரான தன்மை, ஊக்கமருந்து சீரான தன்மை, குறைபாடு விகிதம் மற்றும் வளர்ச்சி விகிதம் உட்பட; இரண்டாவது, வெப்பமூட்டும் / குளிரூட்டும் வீதம், அதிகபட்ச வெப்பநிலை, வெப்பநிலை சீரான தன்மை உள்ளிட்ட உபகரணங்களின் வெப்பநிலை செயல்திறன் ஆகும்; இறுதியாக, ஒரு யூனிட்டின் விலை மற்றும் திறன் உட்பட உபகரணங்களின் செலவு செயல்திறன்.

மூன்று வகையான சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலை மற்றும் முக்கிய பாகங்கள் வேறுபாடுகள்

ஹாட் வால் கிடைமட்ட CVD (LPE நிறுவனத்தின் வழக்கமான மாடல் PE1O6), வார்ம் வால் பிளானட்டரி CVD (வழக்கமான மாதிரி Aixtron G5WWC/G10) மற்றும் quasi-hot wall CVD (Nuflare நிறுவனத்தின் EPIREVOS6 பிரதிநிதித்துவம்) ஆகியவை முக்கிய எபிடாக்சியல் உபகரணங்களை உணரும் தொழில்நுட்ப தீர்வுகளாகும். இந்த கட்டத்தில் வணிக பயன்பாடுகளில். மூன்று தொழில்நுட்ப சாதனங்களும் அவற்றின் சொந்த குணாதிசயங்களைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் தேவைக்கு ஏற்ப தேர்ந்தெடுக்கப்படலாம். அவற்றின் அமைப்பு பின்வருமாறு காட்டப்பட்டுள்ளது:

தொடர்புடைய முக்கிய கூறுகள் பின்வருமாறு:

(அ) ​​சூடான சுவர் கிடைமட்ட வகை மையப் பகுதி- ஹாஃப்மூன் பாகங்கள் உள்ளன

கீழ்நிலை காப்பு

முக்கிய காப்பு மேல்

மேல் பாதி நிலவு

அப்ஸ்ட்ரீம் இன்சுலேஷன்

மாற்றம் துண்டு 2

மாற்றம் துண்டு 1

வெளிப்புற காற்று முனை

குறுகலான ஸ்நோர்கெல்

வெளிப்புற ஆர்கான் வாயு முனை

ஆர்கான் வாயு முனை

செதில் ஆதரவு தட்டு

மையப்படுத்தும் முள்

மத்திய காவலர்

கீழ்நிலை இடது பாதுகாப்பு உறை

கீழ்நிலை வலது பாதுகாப்பு உறை

அப்ஸ்ட்ரீம் இடது பாதுகாப்பு கவர்

அப்ஸ்ட்ரீம் வலது பாதுகாப்பு உறை

பக்க சுவர்

கிராஃபைட் வளையம்

பாதுகாப்பு உணரப்பட்டது

ஆதரவு உணர்ந்தேன்

தொடர்பு தொகுதி

எரிவாயு கடையின் சிலிண்டர்

(ஆ) சூடான சுவர் கிரக வகை

SiC பூச்சு கிரக வட்டு &TaC பூசப்பட்ட கிரக வட்டு

(c)அரை வெப்ப சுவர் நிற்கும் வகை

Nuflare (ஜப்பான்): இந்த நிறுவனம் இரட்டை அறை செங்குத்து உலைகளை வழங்குகிறது, இது உற்பத்தி விளைச்சலை அதிகரிக்க உதவுகிறது. உபகரணமானது நிமிடத்திற்கு 1000 புரட்சிகள் வரை அதிவேக சுழற்சியைக் கொண்டுள்ளது, இது எபிடாக்சியல் சீரான தன்மைக்கு மிகவும் நன்மை பயக்கும். கூடுதலாக, அதன் காற்றோட்ட திசையானது மற்ற உபகரணங்களிலிருந்து வேறுபடுகிறது, செங்குத்தாக கீழ்நோக்கி இருப்பதால், துகள்களின் உருவாக்கத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் துகள்களின் துளிகள் செதில்களின் மீது விழும் நிகழ்தகவைக் குறைக்கிறது. இந்த சாதனத்திற்கான கோர் SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.

SiC எபிடாக்சியல் உபகரணக் கூறுகளின் சப்ளையராக, VeTek செமிகண்டக்டர், SiC எபிடாக்சியை வெற்றிகரமாகச் செயல்படுத்துவதை ஆதரிக்கும் வகையில் வாடிக்கையாளர்களுக்கு உயர்தர பூச்சு கூறுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது.