SiC பூசப்பட்ட பீடம்

உற்பத்தி SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்களில் பல வருட அனுபவத்துடன், வெடெக் குறைக்கடத்தி பரந்த அளவிலான SIC பூசப்பட்ட பீடத்தை வழங்க முடியும். உயர் தரமான SIC பூசப்பட்ட பீடம் பல பயன்பாடுகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும், உங்களுக்குத் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து SIC பூசப்பட்ட பீடம் குறித்த எங்கள் ஆன்லைன் சரியான நேரத்தில் சேவையைப் பெறுங்கள். கீழேயுள்ள தயாரிப்பு பட்டியலுக்கு கூடுதலாக, உங்கள் குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப உங்கள் சொந்த தனித்துவமான SIC பூசப்பட்ட பீடத்தையும் தனிப்பயனாக்கலாம்.

MBE, LPE, PLD போன்ற பிற முறைகளுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​MOCVD முறையானது அதிக வளர்ச்சித் திறன், சிறந்த கட்டுப்பாட்டுத் துல்லியம் மற்றும் ஒப்பீட்டளவில் குறைந்த செலவு ஆகியவற்றின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது தற்போதைய தொழில்துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் பொருட்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருகிறது, குறிப்பாக ஒரு வைட்எல்டி மற்றும் எல்இடி போன்ற ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் எபிடாக்சியல் பொருட்களின் e வரம்பில், உற்பத்தி திறனை மேலும் அதிகரிக்கவும் செலவுகளைக் குறைக்கவும் புதிய உபகரண வடிவமைப்புகளைப் பின்பற்றுவது மிகவும் முக்கியம்.

அவற்றில், MOCVD எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் பயன்படுத்தப்படும் அடி மூலக்கூறுடன் ஏற்றப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டு MOCVD உபகரணங்களின் மிக முக்கியமான பகுதியாகும். குழு III நைட்ரைடுகளின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் பயன்படுத்தப்படும் கிராஃபைட் தட்டு, பொதுவாக கிராஃபைட்டில் உள்ள அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன் மற்றும் பிற வாயுக்களின் அரிப்பைத் தவிர்ப்பதற்காக, பொதுவாக கிராஃபைட் தட்டின் மேற்பரப்பில் மெல்லிய சீரான சிலிக்கான் கார்பைடு பாதுகாப்பு அடுக்குடன் பூசப்பட்டிருக்கும். 

பொருளின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில், சிலிக்கான் கார்பைடு பாதுகாப்பு அடுக்கின் சீரான தன்மை, நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் மிக அதிகமாக உள்ளன, மேலும் அதன் வாழ்க்கைக்கு சில தேவைகள் உள்ளன. வெடெக் செமிகண்டக்டரின் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட பீடம் கிராஃபைட் தட்டுகளின் உற்பத்தி செலவைக் குறைத்து, அவற்றின் சேவை வாழ்க்கையை மேம்படுத்துகிறது, இது MOCVD கருவிகளின் விலையைக் குறைப்பதில் பெரும் பங்கைக் கொண்டுள்ளது. SiC பூசப்பட்ட பீடம் MOCVD எதிர்வினை அறையின் ஒரு முக்கிய பகுதியாகும், இது உற்பத்தி செயல்திறனை திறம்பட மேம்படுத்துகிறது.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்