சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி

உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி தயாரிப்பது மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் உபகரணங்கள் மற்றும் உபகரணங்கள் பாகங்கள் ஆகியவற்றைப் பொறுத்தது. தற்போது, மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி முறை வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) ஆகும். இது எபிடாக்சியல் திரைப்பட தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு, குறைவான குறைபாடுகள், மிதமான வளர்ச்சி விகிதம், தானியங்கி செயல்முறை கட்டுப்பாடு போன்றவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது வணிக ரீதியாக வெற்றிகரமாக பயன்படுத்தப்பட்ட நம்பகமான தொழில்நுட்பமாகும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு சி.வி.டி எபிடாக்ஸி பொதுவாக சூடான சுவர் அல்லது சூடான சுவர் சி.வி.டி கருவிகளை ஏற்றுக்கொள்கிறது, இது அதிக வளர்ச்சி வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் (1500 ~ 1700 ℃) எபிடாக்ஸி லேயர் 4 எச் படிக எஸ்.ஐ.சி, பல ஆண்டுகளுக்குப் பிறகு சூடான சுவர் அல்லது சூடான சுவர் சி.வி.டி ஆகியவற்றின் கீழ் தொடர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது, இது காற்று ஓட்டம் திசை மற்றும் மூலக்கூறு கட்டமைப்பு எதிர்வினைக்கு இடையேயான எதிர்விளைவுக்கு இடையிலான உறவின் படி.

எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் உலையின் தரத்திற்கு மூன்று முக்கிய குறிகாட்டிகள் உள்ளன, முதலாவது தடிமன் சீரான தன்மை, ஊக்கமருந்து சீரான தன்மை, குறைபாடு வீதம் மற்றும் வளர்ச்சி விகிதம் உள்ளிட்ட எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்திறன்; இரண்டாவது வெப்பநிலை/குளிரூட்டும் வீதம், அதிகபட்ச வெப்பநிலை, வெப்பநிலை சீரான தன்மை உள்ளிட்ட சாதனங்களின் வெப்பநிலை செயல்திறன்; இறுதியாக, ஒரு யூனிட்டின் விலை மற்றும் திறன் உட்பட சாதனங்களின் செலவு செயல்திறன்.

மூன்று வகையான சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலை மற்றும் முக்கிய பாகங்கள் வேறுபாடுகள்

சூடான சுவர் கிடைமட்ட சி.வி.டி (எல்.பி.இ நிறுவனத்தின் வழக்கமான மாதிரி PE1O6), சூடான சுவர் கிரக சி.வி.டி (வழக்கமான மாடல் Aixtron G5WWC/G10) மற்றும் அரை-சூடான சுவர் CVD (நுஃப்லேர் நிறுவனத்தின் EPIREVOS6 ஆல் குறிப்பிடப்படுகிறது) ஆகியவை இந்த வணிக ரீதியான நிறுவனங்களில் மெயின்ஸ்ட்ரீம் எபிடாக்சியல் உபகரணங்கள் தொழில்நுட்ப தீர்வுகள் ஆகும். மூன்று தொழில்நுட்ப சாதனங்களும் அவற்றின் சொந்த குணாதிசயங்களைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் தேவைக்கு ஏற்ப தேர்ந்தெடுக்கப்படலாம். அவற்றின் அமைப்பு பின்வருமாறு காட்டப்பட்டுள்ளது:

தொடர்புடைய முக்கிய கூறுகள் பின்வருமாறு:

(அ) சூடான சுவர் கிடைமட்ட வகை கோர் பகுதி- அரைமூன் பாகங்கள் உள்ளன

கீழ்நிலை காப்பு

பிரதான காப்பு மேல்

மேல் அரைமூன்

அப்ஸ்ட்ரீம் காப்பு

மாற்றம் துண்டு 2

மாற்றம் துண்டு 1

வெளிப்புற காற்று முனை

குறுகலான ஸ்நோர்கெல்

வெளிப்புற ஆர்கான் வாயு முனை

ஆர்கான் வாயு முனை

செதில் ஆதரவு தட்டு

மையப்படுத்தும் முள்

மைய காவலர்

கீழ்நிலை இடது பாதுகாப்பு அட்டை

கீழ்நிலை வலது பாதுகாப்பு கவர்

அப்ஸ்ட்ரீம் இடது பாதுகாப்பு அட்டை

அப்ஸ்ட்ரீம் வலது பாதுகாப்பு கவர்

பக்க சுவர்

கிராஃபைட் வளையம்

பாதுகாப்பு உணர்ந்தது

துணை உணர்ந்தது

தொடர்பு தொகுதி

எரிவாயு கடையின் சிலிண்டர்

(ஆ) சூடான சுவர் கிரக வகை

SIC பூச்சு கிரக வட்டு மற்றும் TAC பூசப்பட்ட கிரக வட்டு

(இ) அரை-தெர்மல் சுவர் நிற்கும் வகை

நுஃப்லேர் (ஜப்பான்): இந்த நிறுவனம் இரட்டை அறை செங்குத்து உலைகளை வழங்குகிறது, இது உற்பத்தி விளைச்சலுக்கு பங்களிக்கிறது. உபகரணங்கள் நிமிடத்திற்கு 1000 புரட்சிகள் வரை அதிவேக சுழற்சியைக் கொண்டுள்ளன, இது எபிடாக்சியல் சீரான தன்மைக்கு மிகவும் பயனளிக்கிறது. கூடுதலாக, அதன் காற்றோட்ட திசை மற்ற உபகரணங்களிலிருந்து வேறுபடுகிறது, செங்குத்தாக கீழ்நோக்கி உள்ளது, இதனால் துகள்களின் தலைமுறையை குறைக்கிறது மற்றும் துகள் நீர்த்துளிகளின் நிகழ்தகவைக் குறைக்கிறது. இந்த கருவிக்கு முக்கிய SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.

எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் கருவி கூறுகளின் சப்ளையராக, எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்ஸியை வெற்றிகரமாக செயல்படுத்துவதற்கு ஆதரவாக வாடிக்கையாளர்களுக்கு உயர்தர பூச்சு கூறுகளை வழங்க வெடெக் குறைக்கடத்தி உறுதிபூண்டுள்ளது.

View as

MOCVD எபிடாக்சியல் வேஃபர் வழங்குதல்

வெடெக் செமிகண்டக்டர் நீண்ட காலமாக குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சித் தொழிலில் ஈடுபட்டுள்ளது, மேலும் MOCVD எபிடாக்சியல் வேஃபர் சசெப்டர் தயாரிப்புகளில் பணக்கார அனுபவம் மற்றும் செயல்முறை திறன்களைக் கொண்டுள்ளது. இன்று, வெடெக் செமிகண்டக்டர் சீனாவின் முன்னணி MOCVD எபிடாக்சியல் வேஃபர் சேஸ்செப்டர் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையராக மாறியுள்ளது, மேலும் இது வழங்கும் செதில் சசெப்டர்கள் GAN எபிடாக்சியல் செதில்கள் மற்றும் பிற தயாரிப்புகளின் உற்பத்தியில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

செங்குத்து உலை SIC பூசப்பட்ட வளையம்

செங்குத்து உலை SIC பூசப்பட்ட வளையம் என்பது செங்குத்து உலைக்கு சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு அங்கமாகும். பொருட்கள் மற்றும் உற்பத்தி செயல்முறைகள் இரண்டிலும் வெடெக் குறைக்கடத்தி உங்களுக்கு சிறந்ததைச் செய்ய முடியும். சீனாவில் செங்குத்து உலை எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட வளையத்தின் முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையராக, வெடெக் செமிகண்டக்டர் நாங்கள் உங்களுக்கு சிறந்த தயாரிப்புகள் மற்றும் சேவைகளை வழங்க முடியும் என்று நம்புகிறார்.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

Sic பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்

சீனாவில் ஒரு முன்னணி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட செதில் கேரியர் சப்ளையர் மற்றும் உற்பத்தியாளராக, வெடெக் குறைக்கடத்தியின் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட செதில் கேரியர் உயர்தர கிராஃபைட் மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளால் ஆனது, இது சூப்பர் ஸ்திரத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பெரும்பாலான எபிடாக்சியல் உலைகளில் நீண்ட நேரம் வேலை செய்ய முடியும். வெடெக் செமிகண்டக்டர் தொழில்துறை முன்னணி செயலாக்க திறன்களைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்களுக்கான வாடிக்கையாளர்களின் பல்வேறு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும். வெடெக் குறைக்கடத்தி உங்களுடன் ஒரு நீண்டகால கூட்டுறவு உறவை நிறுவுவதற்கும் ஒன்றாக வளரவும் எதிர்நோக்குகிறது.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு எபிடாக்ஸி சுசெப்டர்

வெடெக் செமிகண்டக்டரின் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு எபிடாக்ஸி சுசெப்டர் என்பது குறைக்கடத்தி செதில் கையாளுதல் மற்றும் செயலாக்கத்திற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு துல்லிய-வடிவமைக்கப்பட்ட கருவியாகும். இந்த SIC பூச்சு எபிடாக்ஸி சசெப்டர் மெல்லிய திரைப்படங்கள், எபிலேயர்கள் மற்றும் பிற பூச்சுகளின் வளர்ச்சியை மேம்படுத்துவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, மேலும் வெப்பநிலை மற்றும் பொருள் பண்புகளை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த முடியும். உங்கள் மேலதிக விசாரணைகளை வரவேற்கிறோம்.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

CVD SiC பூச்சு வளையம்

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு வளையம் ஹாஃப்மூன் பகுதிகளின் முக்கியமான பகுதிகளில் ஒன்றாகும். மற்ற பகுதிகளுடன் சேர்ந்து, இது SIC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி எதிர்வினை அறையை உருவாக்குகிறது. வெடெக் செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு வளைய உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர். வாடிக்கையாளரின் வடிவமைப்பு தேவைகளின்படி, அதனுடன் தொடர்புடைய சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு வளையத்தை மிகவும் போட்டி விலையில் வழங்க முடியும். வெடெக் செமிகண்டக்டர் சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக மாற எதிர்பார்க்கிறது.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

Sic பூச்சு ஹாஃப்மூன் கிராஃபைட் பாகங்கள்

ஒரு தொழில்முறை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையராக, வெடெக் குறைக்கடத்தி எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி அமைப்புகளுக்குத் தேவையான பல்வேறு கிராஃபைட் கூறுகளை வழங்க முடியும். இந்த எஸ்.ஐ.சி பூச்சு ஹாஃப் மெூன் கிராஃபைட் பாகங்கள் எபிடாக்சியல் உலையின் வாயு நுழைவு பிரிவுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையை மேம்படுத்துவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. வெடெக் குறைக்கடத்தி எப்போதும் வாடிக்கையாளர்களுக்கு சிறந்த தரமான தயாரிப்புகளை மிகவும் போட்டி விலையில் வழங்க முயற்சிக்கிறது. வெடெக் செமிகண்டக்டர் சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக மாற எதிர்பார்க்கிறது.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.

Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.

Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs, IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.

Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.

To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.

சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையராக, எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய உங்களுக்கு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த {77 bep வாங்க விரும்பினாலும், நீங்கள் எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை அனுப்பலாம்.

க்யு ஆர் குறியீடு

எங்களை பற்றி

தயாரிப்புகள்

எங்களை தொடர்பு கொள்ள

தொலைபேசி
+86-18069220752
தொலைநகல்
+86-579-87223657
மின்னஞ்சல்
anny@veteksemi.com
முகவரி
வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுய் கவுண்டி, ஜின்ஹுவா சிட்டி, ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

இணைய மெனு

தயாரிப்பு தேடல்

மொழி

வெளியேறு மெனு

சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி