சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு பாதுகாப்பான்

தயாரிப்பு பொருத்துதல் மற்றும் முக்கிய செயல்பாடுகள்

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு பாதுகாப்பான் எல்.பி.இ சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் கருவிகளில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது முக்கியமாக எதிர்வினை அறையின் உள் கட்டமைப்பைப் பாதுகாக்கவும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதன் முக்கிய செயல்பாடுகளில் பின்வருவன அடங்கும்:

அரிப்பு பாதுகாப்பு: வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) செயல்முறையால் உருவாகும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு குளோரின்/ஃப்ளோரின் பிளாஸ்மாவின் வேதியியல் அரிப்பை எதிர்க்கும் மற்றும் உபகரணங்கள் போன்ற கடுமையான சூழல்களுக்கு ஏற்றது;

வெப்ப மேலாண்மை: சிலிக்கான் கார்பைடு பொருளின் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் எதிர்வினை அறையில் வெப்பநிலை சீரான தன்மையை மேம்படுத்தலாம் மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரத்தை மேம்படுத்தலாம்;

மாசுபாட்டைக் குறைத்தல்: ஒரு புறணி கூறுகளாக, இது எதிர்வினை துணை தயாரிப்புகளை நேரடியாக அறையைத் தொடர்புகொள்வதைத் தடுக்கலாம் மற்றும் உபகரணங்கள் பராமரிப்பு சுழற்சியை நீட்டிக்க முடியும்.

தொழில்நுட்ப பண்புகள் மற்றும் வடிவமைப்பு

கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு:

வழக்கமாக மேல் மற்றும் கீழ் அரை நிலவு பகுதிகளாகப் பிரிக்கப்படுகிறது, தட்டில் சமச்சீராக நிறுவப்பட்டு வளைய வடிவ பாதுகாப்பு கட்டமைப்பை உருவாக்குகிறது;

காற்றோட்ட விநியோகம் மற்றும் பிளாஸ்மா கவனம் செலுத்தும் விளைவுகளை மேம்படுத்த தட்டுகள் மற்றும் எரிவாயு ஷவர் தலைகள் போன்ற கூறுகளுடன் ஒத்துழைத்தல்.

பூச்சு செயல்முறை:

சி.வி.டி முறை உயர் தூய்மை எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளை டெபாசிட் செய்யப் பயன்படுகிறது, பட தடிமன் சீரான தன்மை ± 5% மற்றும் ஒரு மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை ராா 0.5μm வரை குறைவாக உள்ளது;

வழக்கமான பூச்சு தடிமன் 100-300μm ஆகும், மேலும் இது 1600 of அதிக வெப்பநிலை சூழலைத் தாங்கும்.

பயன்பாட்டு காட்சிகள் மற்றும் செயல்திறன் நன்மைகள்

பொருந்தக்கூடிய உபகரணங்கள்:

முக்கியமாக எல்.பி.இ.யின் 6 அங்குல 8 அங்குல சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் உலைக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது எஸ்.ஐ.சி ஹோமோபிடாக்ஸியல் வளர்ச்சியை ஆதரிக்கிறது;

உபகரணங்கள், MOCVD உபகரணங்கள் மற்றும் அதிக அரிப்பு எதிர்ப்பு தேவைப்படும் பிற காட்சிகளுக்கு ஏற்றது.

முக்கிய குறிகாட்டிகள்:

வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: 4.5 × 10⁻⁶/K (வெப்ப அழுத்தத்தைக் குறைக்க கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுடன் பொருந்துகிறது);

எதிர்ப்பு: 0.1-10Ω · செ.மீ (கடத்துத்திறன் தேவைகளை பூர்த்தி செய்தல்);

சேவை வாழ்க்கை: பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ்/சிலிக்கான் பொருட்களை விட 3-5 மடங்கு நீளமானது.

தொழில்நுட்ப தடைகள் மற்றும் சவால்கள்

இந்த தயாரிப்பு பூச்சு சீரான கட்டுப்பாடு (விளிம்பு தடிமன் இழப்பீடு போன்றவை) மற்றும் அடி மூலக்கூறு-பூச்சு இடைமுக பிணைப்பு உகப்பாக்கம் (≥30MPA) போன்ற செயல்முறை சிக்கல்களை சமாளிக்க வேண்டும், அதே நேரத்தில் எல்பிஇ கருவிகளின் அதிவேக சுழற்சி (1000 ஆர்.பி.எம்) மற்றும் வெப்பநிலை சாய்வு தேவைகளுடன் பொருந்த வேண்டும்.