சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி

உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி தயாரிப்பது மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் உபகரணங்கள் மற்றும் உபகரணங்கள் பாகங்கள் ஆகியவற்றைப் பொறுத்தது. தற்போது, மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி முறை வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) ஆகும். இது எபிடாக்சியல் திரைப்பட தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு, குறைவான குறைபாடுகள், மிதமான வளர்ச்சி விகிதம், தானியங்கி செயல்முறை கட்டுப்பாடு போன்றவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது வணிக ரீதியாக வெற்றிகரமாக பயன்படுத்தப்பட்ட நம்பகமான தொழில்நுட்பமாகும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு சி.வி.டி எபிடாக்ஸி பொதுவாக சூடான சுவர் அல்லது சூடான சுவர் சி.வி.டி கருவிகளை ஏற்றுக்கொள்கிறது, இது அதிக வளர்ச்சி வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் (1500 ~ 1700 ℃) எபிடாக்ஸி லேயர் 4 எச் படிக எஸ்.ஐ.சி, பல ஆண்டுகளுக்குப் பிறகு சூடான சுவர் அல்லது சூடான சுவர் சி.வி.டி ஆகியவற்றின் கீழ் தொடர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது, இது காற்று ஓட்டம் திசை மற்றும் மூலக்கூறு கட்டமைப்பு எதிர்வினைக்கு இடையேயான எதிர்விளைவுக்கு இடையிலான உறவின் படி.

எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் உலையின் தரத்திற்கு மூன்று முக்கிய குறிகாட்டிகள் உள்ளன, முதலாவது தடிமன் சீரான தன்மை, ஊக்கமருந்து சீரான தன்மை, குறைபாடு வீதம் மற்றும் வளர்ச்சி விகிதம் உள்ளிட்ட எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்திறன்; இரண்டாவது வெப்பநிலை/குளிரூட்டும் வீதம், அதிகபட்ச வெப்பநிலை, வெப்பநிலை சீரான தன்மை உள்ளிட்ட சாதனங்களின் வெப்பநிலை செயல்திறன்; இறுதியாக, ஒரு யூனிட்டின் விலை மற்றும் திறன் உட்பட சாதனங்களின் செலவு செயல்திறன்.

மூன்று வகையான சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலை மற்றும் முக்கிய பாகங்கள் வேறுபாடுகள்

சூடான சுவர் கிடைமட்ட சி.வி.டி (எல்.பி.இ நிறுவனத்தின் வழக்கமான மாதிரி PE1O6), சூடான சுவர் கிரக சி.வி.டி (வழக்கமான மாடல் Aixtron G5WWC/G10) மற்றும் அரை-சூடான சுவர் CVD (நுஃப்லேர் நிறுவனத்தின் EPIREVOS6 ஆல் குறிப்பிடப்படுகிறது) ஆகியவை இந்த வணிக ரீதியான நிறுவனங்களில் மெயின்ஸ்ட்ரீம் எபிடாக்சியல் உபகரணங்கள் தொழில்நுட்ப தீர்வுகள் ஆகும். மூன்று தொழில்நுட்ப சாதனங்களும் அவற்றின் சொந்த குணாதிசயங்களைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் தேவைக்கு ஏற்ப தேர்ந்தெடுக்கப்படலாம். அவற்றின் அமைப்பு பின்வருமாறு காட்டப்பட்டுள்ளது:

தொடர்புடைய முக்கிய கூறுகள் பின்வருமாறு:

(அ) சூடான சுவர் கிடைமட்ட வகை கோர் பகுதி- அரைமூன் பாகங்கள் உள்ளன

கீழ்நிலை காப்பு

பிரதான காப்பு மேல்

மேல் அரைமூன்

அப்ஸ்ட்ரீம் காப்பு

மாற்றம் துண்டு 2

மாற்றம் துண்டு 1

வெளிப்புற காற்று முனை

குறுகலான ஸ்நோர்கெல்

வெளிப்புற ஆர்கான் வாயு முனை

ஆர்கான் வாயு முனை

செதில் ஆதரவு தட்டு

மையப்படுத்தும் முள்

மைய காவலர்

கீழ்நிலை இடது பாதுகாப்பு அட்டை

கீழ்நிலை வலது பாதுகாப்பு கவர்

அப்ஸ்ட்ரீம் இடது பாதுகாப்பு அட்டை

அப்ஸ்ட்ரீம் வலது பாதுகாப்பு கவர்

பக்க சுவர்

கிராஃபைட் வளையம்

பாதுகாப்பு உணர்ந்தது

துணை உணர்ந்தது

தொடர்பு தொகுதி

எரிவாயு கடையின் சிலிண்டர்

(ஆ) சூடான சுவர் கிரக வகை

SIC பூச்சு கிரக வட்டு மற்றும் TAC பூசப்பட்ட கிரக வட்டு

(இ) அரை-தெர்மல் சுவர் நிற்கும் வகை

நுஃப்லேர் (ஜப்பான்): இந்த நிறுவனம் இரட்டை அறை செங்குத்து உலைகளை வழங்குகிறது, இது உற்பத்தி விளைச்சலுக்கு பங்களிக்கிறது. உபகரணங்கள் நிமிடத்திற்கு 1000 புரட்சிகள் வரை அதிவேக சுழற்சியைக் கொண்டுள்ளன, இது எபிடாக்சியல் சீரான தன்மைக்கு மிகவும் பயனளிக்கிறது. கூடுதலாக, அதன் காற்றோட்ட திசை மற்ற உபகரணங்களிலிருந்து வேறுபடுகிறது, செங்குத்தாக கீழ்நோக்கி உள்ளது, இதனால் துகள்களின் தலைமுறையை குறைக்கிறது மற்றும் துகள் நீர்த்துளிகளின் நிகழ்தகவைக் குறைக்கிறது. இந்த கருவிக்கு முக்கிய SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.

எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் கருவி கூறுகளின் சப்ளையராக, எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்ஸியை வெற்றிகரமாக செயல்படுத்துவதற்கு ஆதரவாக வாடிக்கையாளர்களுக்கு உயர்தர பூச்சு கூறுகளை வழங்க வெடெக் குறைக்கடத்தி உறுதிபூண்டுள்ளது.

View as

Aixtron G5 MOCVD SUSSCEPTORS

Aixtron G5 MOCVD அமைப்பு கிராஃபைட் பொருள், சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட், குவார்ட்ஸ், கடினமான உணரப்பட்ட பொருள் போன்றவற்றைக் கொண்டுள்ளது. வெடெக் குறைக்கடத்தி இந்த அமைப்பிற்கான முழு கூறுகளையும் தனிப்பயனாக்கலாம் மற்றும் உற்பத்தி செய்யலாம். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக செமிகண்டக்டர் கிராஃபைட் மற்றும் குவார்ட்ஸ் பாகங்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றிருக்கிறோம். இந்த அக்ஸ்ட்ரான் ஜி 5 மோக்விடி சசெப்டர்ஸ் கிட் அதன் உகந்த அளவு, பொருந்தக்கூடிய தன்மை மற்றும் அதிக உற்பத்தித்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு பல்துறை மற்றும் திறமையான தீர்வாகும்.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

G5 க்கான GAN EPITAXIAL கிராஃபைட் ஆதரவு

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆகும், இது G5 க்கு உயர்தர GaN எபிடாக்சியல் கிராஃபைட் சஸ்செப்டரை வழங்க அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது. உள்நாட்டிலும் வெளிநாட்டிலும் பல பிரபலமான நிறுவனங்களுடன் நீண்ட கால மற்றும் நிலையான கூட்டாண்மைகளை நாங்கள் நிறுவியுள்ளோம், எங்கள் வாடிக்கையாளர்களின் நம்பிக்கையையும் மரியாதையையும் பெறுகிறோம்.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

அல்ட்ரா தூய கிராஃபைட் கீழ் அரைமூன்

வெடெக் செமிகண்டக்டர் சீனாவில் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட அல்ட்ரா தூய கிராஃபைட் லோயர் ஹாஃப்மூனின் முன்னணி சப்ளையர், பல ஆண்டுகளாக மேம்பட்ட பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றது. எங்கள் அல்ட்ரா தூய கிராஃபைட் லோயர் ஹாஃப்மூன் குறிப்பாக எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் கருவிகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது சிறந்த செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. அல்ட்ரா-ப்யூர் இறக்குமதி செய்யப்பட்ட கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, இது நம்பகத்தன்மை மற்றும் ஆயுள் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. எங்கள் உயர்தர அல்ட்ரா தூய கிராஃபைட் லோயர் ஹாஃப்மூன் நேரடியானதை ஆராய சீனாவில் உள்ள எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிடவும். எந்த நேரத்திலும் ஆலோசிக்க.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

மேல் ஹாஃப்மூன் பகுதி SIC பூசப்பட்ட

வெடெக் செமிகண்டக்டர் சீனாவில் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட மேல் அரைவாசி பகுதி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட ஒரு முன்னணி சப்ளையர், 20 ஆண்டுகளுக்கும் மேலாக மேம்பட்ட பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றது. வெடெக் செமிகண்டக்டர் மேல் ஹாஃப்மூன் பகுதி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்டது குறிப்பாக எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் கருவிகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது எதிர்வினை அறையில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக செயல்படுகிறது. அதி-தூய்மையான, குறைக்கடத்தி-தர கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, இது சிறந்த செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. சீனாவில் உள்ள எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை அழைக்கிறோம். எந்த நேரத்திலும் ஆலோசிக்க.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியர்

வெடெக் செமிகண்டக்டர் சீனாவில் ஒரு முன்னணி தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியர் சப்ளையர் ஆகும். நாங்கள் 20 ஆண்டுகளுக்கும் மேலாக மேம்பட்ட பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றிருக்கிறோம். எஸ்.ஐ.சி அடி மூலக்கூறைச் சுமந்து, எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் ரியாக்டரில் எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்ஸி லேயரை வளர்ப்பதற்கு சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியரை நாங்கள் வழங்குகிறோம். இந்த சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியர் என்பது ஹாஃப்மூன் பகுதியின் ஒரு முக்கியமான SIC பூசப்பட்ட பகுதியாகும், அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, உடைகள் எதிர்ப்பு. சீனாவில் உள்ள எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை வரவேற்கிறோம். எந்த நேரத்திலும் ஆலோசிக்க.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

LPE ரியாக்டருக்கான 8 இன்ச் ஹாஃப்மூன் பகுதி

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் ஒரு முன்னணி குறைக்கடத்தி உபகரண உற்பத்தியாளர் ஆகும், இது R&D மற்றும் LPE ரியாக்டருக்கான 8 இன்ச் ஹாஃப்மூன் பார்ட் தயாரிப்பில் கவனம் செலுத்துகிறது. பல ஆண்டுகளாக, குறிப்பாக SiC பூச்சுப் பொருட்களில் சிறந்த அனுபவத்தை நாங்கள் குவித்துள்ளோம், மேலும் LPE எபிடாக்சியல் ரியாக்டர்களுக்கு ஏற்ப திறமையான தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளோம். எல்பிஇ ரியாக்டருக்கான எங்களின் 8 இன்ச் ஹாஃப்மூன் பகுதி சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் இணக்கத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது எபிடாக்சியல் உற்பத்தியில் தவிர்க்க முடியாத முக்கிய அங்கமாகும். எங்கள் தயாரிப்புகளைப் பற்றி மேலும் அறிய உங்கள் விசாரணையை வரவேற்கிறோம்.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.

Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.

Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs, IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.

Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.

To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.

சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையராக, எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய உங்களுக்கு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த {77 bep வாங்க விரும்பினாலும், நீங்கள் எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை அனுப்பலாம்.

க்யு ஆர் குறியீடு

எங்களை பற்றி

தயாரிப்புகள்

எங்களை தொடர்பு கொள்ள

தொலைபேசி
+86-18069220752
தொலைநகல்
+86-579-87223657
மின்னஞ்சல்
anny@veteksemi.com
முகவரி
வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுய் கவுண்டி, ஜின்ஹுவா சிட்டி, ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

இணைய மெனு

தயாரிப்பு தேடல்

மொழி

வெளியேறு மெனு

சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி