AMAT 0200-03201 CVD SiC வேஃபர் லிஃப்ட் பின்

தயாரிப்பு அம்சங்கள்

 ● உயர் தூய்மை கிராஃபைட் கோர் + CVD SiC பூச்சு - உண்மையான குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்காக கட்டப்பட்டது.

 ● சுழற்சிக்குப் பிறகு இயந்திர நிலைப்புத்தன்மை சுழற்சியை இழக்காமல் உயர்-வெப்பநிலை எபிடாக்ஸி ரன்களைக் கையாளுகிறது.

 ● மெல்லிய சுவர் வடிவம் வெப்பத் திணிப்பைக் குறைத்து செதில் கையாளும் துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது.

 ● SiC அடுக்கு ஆக்கிரமிப்பு செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயன சுத்தம் செய்ய நிற்கிறது.

 ● மென்மையான, சீரான பூச்சு என்பது குறைவான துகள் உதிர்தல் மற்றும் அதிக நிலையான செயலாக்கத்தைக் குறிக்கிறது. முக்கியமான குறைக்கடத்தி பாகங்களுக்கு CNC எந்திரத்துடன் நாங்கள் இறுக்கமான சகிப்புத்தன்மையை வைத்திருக்கிறோம்.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்

விண்ணப்பங்கள்

 ● சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி (Si EPI) - 300மிமீ அணுஉலைகளுக்குள் செதில்களைத் தூக்குதல், பொருத்துதல் மற்றும் நகர்த்துதல்.

 ● பொது குறைக்கடத்தி செதில் செயலாக்கம் உங்களுக்கு வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு, குறைந்த துகள்கள் மற்றும் நீண்ட பகுதி ஆயுள் தேவைப்படும்.

 ● AMAT எபிடாக்ஸி அறைகள் மற்றும் இணக்கமான செதில் கையாளுதல் அமைப்புகள்.

VeTek செமிகண்டக்டரை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்

 ● செமிகண்டக்டர் பயன்பாட்டிற்கான உயர்-தூய்மை SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட்.

 ● வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு இரண்டும் திடமானவை.

 ● சகிப்புத்தன்மையை இறுக்கமாக வைத்திருங்கள் - துல்லியமான எந்திரம் எங்கள் விஷயம்.

 ● AMAT, ASM, Aixtron மற்றும் LPE ஆகியவற்றுடன் இணக்கமானது.