எல்பிஇ ரியாக்ஷன் சேம்பருக்கான ஹாஃப்மூன்

LPE ரியாக்ஷன் சேம்பரில் ஹாஃப்மூன் என்றால் என்ன?

பல எல்பிஇ கிடைமட்ட உலைகளில், ஹாஃப்மூன் உள் அறை கூட்டத்தின் ஒரு பகுதியாகும். வெவ்வேறு உபகரண உற்பத்தியாளர்கள் சற்று வித்தியாசமான கட்டமைப்புகளைப் பயன்படுத்தலாம், ஆனால் செயல்பாடு பொதுவாக ஒத்ததாக இருக்கும். கூறு பொதுவாக மேல் மற்றும் கீழ் பிரிவுகளாக பிரிக்கப்படுகிறது:

• அப்பர் ஹாஃப்மூன்:மேல் பகுதி முக்கியமாக அணு உலைக்குள் ஒரு ஆதரவு அமைப்பாக செயல்படுகிறது. இது நீண்ட காலத்திற்கு அதிக வெப்பநிலை செயல்முறை மண்டலத்திற்கு அருகில் இருப்பதால், மீண்டும் மீண்டும் வெப்ப சுழற்சிகளுக்குப் பிறகு வெளிப்படையான சிதைவு இல்லாமல் பொருள் நிலையானதாக இருக்க வேண்டும். மற்றொரு முக்கியமான புள்ளி இரசாயன நிலைத்தன்மை. SiC எபிடாக்ஸியின் போது, ​​அறை சூழலில் எதிர்வினை வாயுக்கள் உள்ளன, எனவே கிராஃபைட் மேற்பரப்பு சரியாக பாதுகாக்கப்பட வேண்டும்.
• லோயர் ஹாஃப்மூன்:கீழ் பகுதி குவார்ட்ஸ் குழாய் பகுதி மற்றும் சுழலும் சட்டசபைக்கு அருகில் இணைக்கப்பட்டுள்ளது. இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது வாயு அறிமுகம் மற்றும் இயந்திர ஆதரவில் ஈடுபட்டுள்ளது. சாதாரண கிராஃபைட் கட்டமைப்பு பகுதிகளுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​உலை செயல்பாட்டின் போது தொடர்ச்சியான வெப்பம் மற்றும் குளிரூட்டல் காரணமாக குறைந்த ஹாஃப்மூன் பொதுவாக ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி நிலைத்தன்மைக்கு அதிக தேவைகளை எதிர்கொள்கிறது.

LPE ரியாக்ஷன் சேம்பருக்கான VETEK ஹாஃப்மூனின் முக்கிய அம்சங்கள்

1. உயர் தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு

அடிப்படை பொருள் உயர் தூய்மை கிராஃபைட் குறைக்கடத்தி செயல்முறை சூழல்களுக்கு ஏற்றது. SiC எபிடாக்ஸியில் பொருள் தூய்மை முக்கியமானது, ஏனெனில் உலோக மாசு படிக வளர்ச்சி நிலைத்தன்மை மற்றும் படத் தரத்தை பாதிக்கலாம். VETEK இந்த பயன்பாட்டிற்கு கட்டுப்படுத்தப்பட்ட தூய்மையற்ற நிலைகளுடன் சுத்திகரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட் பொருட்களைப் பயன்படுத்துகிறது.

2. மேம்பட்ட CVD SiC & TaC பூச்சு

பெரும்பாலான ஹாஃப்மூன் கூறுகள் உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ் மேற்பரப்பு பாதுகாப்பை மேம்படுத்த CVD SiC உடன் பூசப்பட்டிருக்கும். அதிக தேவைப்படும் சூழல்களுக்கு, TaC பூச்சும் கிடைக்கிறது. பூசப்பட்ட கட்டமைப்புகளின் பொதுவான நன்மைகள் பின்வருமாறு:

• அரிக்கும் செயல்முறை வாயுக்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பு
• குறைந்த துகள் உருவாக்கம்
• மேம்படுத்தப்பட்ட மேற்பரப்பு ஆயுள்
• வெப்ப சுழற்சியின் போது சிறந்த நிலைப்புத்தன்மை

நடைமுறை பயன்பாட்டில், பூச்சு தேர்வு பொதுவாக உலை வெப்பநிலை, செயல்முறை வேதியியல் மற்றும் எதிர்பார்க்கப்படும் சேவை வாழ்நாள் ஆகியவற்றை சார்ந்துள்ளது.

3. சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை

உயர்-வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயலாக்க சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட, VETEK ஹாஃப்மூன், நீண்ட கால எபிடாக்சியல் சுழற்சிகளின் போது பரிமாண நிலைத்தன்மை மற்றும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது, இது LPE மற்றும் MOCVD உபகரணங்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது.

4. துல்லியமான CNC எந்திரம்

VETEK ஆனது மைக்ரான்-நிலை பரிமாணக் கட்டுப்பாட்டுடன் மேம்பட்ட CNC துல்லிய இயந்திர திறன்களைக் கொண்டுள்ளது, இது சிக்கலான LPE உலை கட்டமைப்புகள் மற்றும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட உபகரணத் தேவைகளுடன் சிறந்த இணக்கத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

5. நீண்ட சேவை வாழ்க்கை

உகந்த பூச்சு ஒட்டுதல் தொழில்நுட்பம் மற்றும் உயர்-தூய்மை பொருள் செயலாக்கம் மூலம், VETEK ஹாஃப்மூன் கூறுகள் மீண்டும் மீண்டும் வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதல் மற்றும் அரிக்கும் செயல்முறை வாயுக்களின் கீழ் சிறந்த ஆயுளைக் காட்டுகின்றன, பராமரிப்பு அதிர்வெண் மற்றும் மொத்த இயக்கச் செலவுகளைக் குறைக்கின்றன.

தொழில்நுட்ப நன்மைகள்

விண்ணப்பங்கள்

LPE ரியாக்ஷன் சேம்பருக்கான VETEK ஹாஃப்மூன் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

• சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) எபிடாக்ஸி அமைப்புகள்
• LPE கிடைமட்ட உலைகள்
• செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உபகரணங்கள்
• உயர் வெப்பநிலை CVD செயல்முறை அறைகள்
• மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி வெப்ப புல அமைப்புகள்
• SiC படிக வளர்ச்சி அமைப்புகள்
• மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி

எங்கள் தயாரிப்புகள் பல தொழில்துறை முக்கிய உபகரண தளங்களுடன் இணக்கமாக உள்ளன மற்றும் வாடிக்கையாளர் வரைபடங்கள் அல்லது உலை விவரக்குறிப்புகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கலாம்.

VETEK செமிகண்டக்டரை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

VETEK செமிகண்டக்டர் பல ஆண்டுகளாக குறைக்கடத்தி கிராஃபைட் கூறுகள் மற்றும் பூச்சு தொழில்நுட்பங்களில் கவனம் செலுத்துகிறது. 2016 முதல், நிறுவனம் சுத்திகரிப்பு செயலாக்கம், துல்லியமான கிராஃபைட் எந்திரம் மற்றும் குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கான CVD பூச்சு உற்பத்தி ஆகியவற்றில் அதன் திறன்களை தொடர்ந்து வளர்த்து வருகிறது.

VETEK திறன்கள்:

• SiC எபிடாக்சி கூறுகள் மற்றும் அணு உலை பாகங்களுடன் அனுபவம்
• உட்புற CVD SiC மற்றும் TaC பூச்சு உற்பத்தி
• குறைக்கடத்தி நிலை பொருள் சுத்திகரிப்பு கட்டுப்பாடு
• வரைபடங்கள் அல்லது மாதிரிகள் அடிப்படையில் தனிப்பயன் உற்பத்தி
• தொகுதி ஆர்டர்களுக்கான நிலையான உற்பத்தி திறன்
• கிராஃபைட் ஃபீல்ட் மற்றும் தெர்மல் ஃபீல்ட் பொருட்களின் வழங்கல்
• ISO9001 தர மேலாண்மை அமைப்பு
• வெளிநாட்டு வாடிக்கையாளர்களுக்கு தொழில்நுட்ப ஆதரவு

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்

(1) LPE அணுஉலையில் ஹாஃப்மூனின் செயல்பாடு என்ன?

ஹாஃப்மூன் கூறு வாயு ஓட்ட வழிகாட்டுதல், அறை கட்டமைப்பு ஒருங்கிணைப்பு, வெப்பநிலை மேலாண்மை மற்றும் எபிடாக்சியல் எதிர்வினை அறைக்குள் சஸ்பெப்டர் சுழற்சி ஆகியவற்றை ஆதரிக்கிறது.

(2) அரை நிலவு வேஃபருடன் நேரடி தொடர்பில் உள்ளதா?

பொதுவாக இல்லை. பெரும்பாலான எல்பிஇ அணுஉலை கட்டமைப்புகளில், ஹாஃப்மூன் நேரடியாக செதில்களைத் தொடுவதை விட, சேம்பர் அசெம்பிளியைச் சுற்றியே இருக்கும்.

(3) மேற்பரப்பில் ஏன் SiC அல்லது TaC பூச்சு பயன்படுத்த வேண்டும்?

பூச்சு முக்கியமாக பாதுகாப்பிற்காக உள்ளது. SiC எபிடாக்ஸியின் போது, ​​கிராஃபைட் பாகங்கள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களுக்கு நீண்ட காலத்திற்கு வெளிப்படும். பூச்சு ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பை மேம்படுத்த உதவுகிறது மற்றும் மேற்பரப்பு தேய்மானம் மற்றும் துகள் உருவாக்கத்தை குறைக்கிறது.

(4) பகுதியை தனிப்பயனாக்க முடியுமா?

ஆம். பெரும்பாலான ஹாஃப்மூன் பாகங்கள் உண்மையில் உலை அமைப்பு மற்றும் வாடிக்கையாளர் வரைபடங்களின்படி செய்யப்படுகின்றன, ஏனெனில் பரிமாணங்கள் மற்றும் நிறுவல் விவரங்கள் பெரும்பாலும் உபகரணங்கள் தளங்களுக்கு இடையில் வேறுபடுகின்றன.