VEECO MOCVD க்கான வேஃபர் கேரியர் (LED Epitaxy)

தயாரிப்பு அம்சங்கள்:

1. அடர்த்தியான CVD SiC அடுக்குடன் கூடிய உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் தளம்
2. நிலையான LED எபிடாக்ஸிக்கு நல்ல வெப்ப சீரான தன்மை
3. செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் NH₃, HCl மற்றும் பிற அரிக்கும் வாயுக்கள் வரை நிற்கிறது
4. குறைந்த துகள் உதிர்தல் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை
5. பாக்கெட் வடிவமைப்புகளை வெவ்வேறு செதில் அளவுகள் மற்றும் உலை தளங்களுக்கு தனிப்பயனாக்கலாம்
6. நீண்ட கால, உயர் வெப்பநிலை MOCVD செயல்பாட்டிற்கு நன்றாக வேலை செய்கிறது

பயன்பாடுகள்:
இந்த செதில் கேரியர்கள் LED மற்றும் கலவை செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன:

• GaN LED எபிடாக்ஸி
• நீல-பச்சை LED எபிடாக்ஸி
• ஆழமான UV LED வளர்ச்சி
• Si- அடிப்படையிலான GaN எபிடாக்ஸி
• பொது கலவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி

தனிப்பயன் கேரியர் தீர்வுகள் பல LED MOCVD இயங்குதளங்களுக்கு பொருந்தும், அவை:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

தொழில்நுட்ப நன்மைகள்:

1. CVD SiC பூச்சுஉங்களுக்கு நல்ல அடர்த்தியையும் தூய்மையையும் தரும் தொழில்நுட்பம்
2. பூச்சு தடிமன் மாறுபாடு ±10 μm - வெப்ப செயல்திறன் நிலையாக இருக்க உதவுகிறது
3. நல்ல செதில் பொருத்தம் மற்றும் சுழற்சி நிலைத்தன்மைக்கு CNC இயந்திரம் 3 μm துல்லியம்
4. பூச்சு நன்றாக ஒட்டிக்கொள்கிறது மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் அதிக வெப்பநிலை MOCVD சுழற்சிகளுக்குப் பிறகு விரிசல்களைத் தடுக்கிறது
5. NH₃, HCl மற்றும் பிற கடுமையான எபிடாக்ஸி சூழல்களை பிரச்சனையின்றி கையாளுகிறது
6. குறைந்த துகள் உருவாக்கம் மற்றும் அதிக மகசூலை ஆதரிக்கும் சுத்தமான மேற்பரப்புLED epitaxy
7. வெவ்வேறு உலை தளங்கள் மற்றும் செதில் அமைப்புகளுக்கு பெரிய அல்லது தனிப்பயன் அளவுகளை பூசலாம்
8. உடன் நீண்ட அனுபவம்தனிப்பயன் கிராஃபைட் மற்றும் SiC-பூசப்பட்ட பாகங்கள்LED மற்றும் கலவை குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸிக்கு

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்:
1. ஒரு வேஃபர் கேரியர் என்ன செய்கிறதுMOCVDLED epitaxy?

A: இது MOCVD உலைக்குள் செதில்களைப் பிடித்து சுழற்றுகிறது, மேலும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது வெப்பநிலையை சீராக வைத்திருக்க உதவுகிறது.

2. எம்ஓசிவிடிக்கு SiC-கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர்களை ஏன் பயன்படுத்த வேண்டும்?

ப: திCVD SiC பூச்சுசிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் ஆயுள் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. இது உயர் வெப்பநிலை எபிடாக்ஸியில் துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்க உதவுகிறது.

3. Vetek செமிகண்டக்டர் தனிப்பயன் செதில் கேரியர்களை உருவாக்குகிறதா?
ப: ஆம். உங்கள் உலை இயங்குதளம், செதில் அளவு, பாக்கெட் தளவமைப்பு மற்றும் பிற செயல்முறைத் தேவைகளின் அடிப்படையில் தனிப்பயன் கேரியர்களை நாங்கள் வடிவமைக்க முடியும்.