தயாரிப்புகள்

Veteksemicon SiC கோடட் எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் சேம்பர் என்பது குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளை கோருவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். மேம்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) ஐப் பயன்படுத்தி, இந்த தயாரிப்பு அதிக வலிமை கொண்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறில் அடர்த்தியான, உயர்-தூய்மை SiC பூச்சுகளை உருவாக்குகிறது, இதன் விளைவாக உயர்ந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு உள்ளது. இது உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை சூழல்களில் எதிர்வினை வாயுக்களின் அரிக்கும் விளைவுகளை திறம்பட எதிர்க்கிறது, துகள் மாசுபாட்டை கணிசமாக அடக்குகிறது, நிலையான எபிடாக்சியல் பொருள் தரம் மற்றும் அதிக மகசூலை உறுதி செய்கிறது, மேலும் எதிர்வினை அறையின் பராமரிப்பு சுழற்சி மற்றும் ஆயுட்காலம் ஆகியவற்றை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது. SiC மற்றும் GaN போன்ற பரந்த-பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தி திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்த இது ஒரு முக்கிய தேர்வாகும்.

Veteksemicon இலிருந்து சிலிக்கான் கேசட் படகு என்பது ஒரு துல்லியமான-பொறியியல் செதில் கேரியர் ஆகும், இது குறிப்பாக ஆக்ஸிஜனேற்றம், பரவல், இயக்கி மற்றும் அனீலிங் உள்ளிட்ட உயர்-வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி உலை பயன்பாடுகளுக்காக உருவாக்கப்பட்டது. அதி-உயர்-தூய்மை சிலிக்கானில் இருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, மேம்பட்ட மாசுபடுத்தல்-கட்டுப்பாட்டு தரநிலைகளுக்கு முடிக்கப்பட்டது, இது சிலிக்கான் செதில்களின் பண்புகளுடன் நெருக்கமாக பொருந்தக்கூடிய வெப்ப நிலைத்தன்மையான, இரசாயன மந்த தளத்தை வழங்குகிறது. இந்த சீரமைப்பு வெப்ப அழுத்தத்தை குறைக்கிறது, சறுக்கல் மற்றும் குறைபாடு உருவாவதை குறைக்கிறது மற்றும் தொகுதி முழுவதும் விதிவிலக்காக சீரான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது

சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் முக்கிய செயல்பாட்டில், எபிடாக்சியல் லேயரின் தரம் மற்றும் உற்பத்தித் திறனை சஸ்பெப்டர் செயல்திறன் நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது என்பதை Veteksemicon புரிந்துகொள்கிறது. எங்கள் உயர்-தூய்மை EPI susceptors, குறிப்பாக SiC புலத்திற்காக வடிவமைக்கப்பட்டது, ஒரு சிறப்பு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் அடர்த்தியான CVD SiC பூச்சு ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்துகிறது. அவற்றின் உயர்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் மிகக் குறைந்த துகள் உற்பத்தி விகிதம் ஆகியவற்றுடன், கடுமையான உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை சூழல்களிலும் வாடிக்கையாளர்களுக்கு இணையற்ற தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து சீரான தன்மையை உறுதி செய்கின்றன. Veteksemicon ஐத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது உங்கள் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கான நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனின் மூலக்கல்லைத் தேர்ந்தெடுப்பதாகும்.

ASM க்கான Veteksemicon SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் ஒரு முக்கிய கேரியர் அங்கமாகும். இந்தத் தயாரிப்பு எங்களின் தனியுரிம பைரோலிடிக் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பம் மற்றும் துல்லியமான எந்திர செயல்முறைகளைப் பயன்படுத்தி, உயர்ந்த செயல்திறன் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் செயல்முறை சூழல்களில் மிக நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்கிறது. அடி மூலக்கூறு தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றில் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளின் கடுமையான தேவைகளை நாங்கள் ஆழமாகப் புரிந்துகொள்கிறோம், மேலும் ஒட்டுமொத்த சாதன செயல்திறனை மேம்படுத்தும் நிலையான, நம்பகமான தீர்வுகளை வாடிக்கையாளர்களுக்கு வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளோம்.

Veteksemicon குறைக்கடத்தி-தர குவார்ட்ஸ் சிலுவைகள் Czochralski ஒற்றை படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் முக்கிய நுகர்வு ஆகும். அதீத தூய்மை மற்றும் உயர்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையை எங்களின் முக்கிய மையமாக கொண்டு, உயர் வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்த சூழல்களில் நிலையான செயல்திறன் மற்றும் படிகமயமாக்கலுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்தும் உயர்தர தயாரிப்புகளை வாடிக்கையாளர்களுக்கு வழங்க நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம். இது மூலத்திலிருந்து படிக கம்பிகளின் தரத்தை உறுதி செய்கிறது, குறைக்கடத்தி சிலிக்கான் செதில் உற்பத்தி அதிக மகசூல் மற்றும் சிறந்த செலவு-செயல்திறனை அடைய உதவுகிறது.

Veteksemicon ஃபோகஸ் ரிங் என்பது செமிகண்டக்டர் பொறித்தல் கருவிகளுக்காக குறிப்பாக SiC பொறித்தல் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. மின்னியல் சக் (ESC) சுற்றி பொருத்தப்பட்டிருக்கும், செதில்க்கு அருகாமையில், அதன் முதன்மை செயல்பாடு எதிர்வினை அறைக்குள் மின்காந்த புல விநியோகத்தை மேம்படுத்துவதாகும், இது முழு செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் ஒரே மாதிரியான மற்றும் கவனம் செலுத்தப்பட்ட பிளாஸ்மா செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. உயர்-செயல்திறன் கொண்ட ஃபோகஸ் ரிங், எட்ச் ரேட் சீரான தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது மற்றும் விளிம்பு விளைவுகளை குறைக்கிறது, நேரடியாக தயாரிப்பு மகசூல் மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.