தயாரிப்புகள்

ஹாஃப்மூன் என்பது LPE SiC உலைகளுக்குள் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு கிராஃபைட் கூறு ஆகும், முக்கியமாக அறை வெப்ப மண்டலத்தைச் சுற்றி நிறுவப்பட்டுள்ளது. இது செதில்களை நேரடியாகத் தொடர்பு கொள்ளாவிட்டாலும், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது வாயு ஓட்ட நிலைத்தன்மை மற்றும் அணு உலை செயல்பாட்டில் இது இன்னும் பங்கு வகிக்கிறது. அதிக வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை செயல்முறை நிலைமைகளைக் கையாள, கூறு பொதுவாக CVD SiC பூச்சுடன் பாதுகாக்கப்படுகிறது, அதே நேரத்தில் TaC பூச்சு சில பயன்பாடுகளுக்கு கிடைக்கிறது. VETEK ஆனது SiC எபிடாக்ஸி அமைப்புகளுக்கு கிராஃபைட் ஃபீல்ட் இன்சுலேஷன் மற்றும் பிற பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்களையும் வழங்குகிறது.

8 அங்குல SiC எபி டாப் ரிங் என்பது குறைக்கடத்தி உலைகளுக்கான வன்பொருள் பகுதியாகும். இது Si/SiC எபிடாக்ஸி மற்றும் MOCVD/CVD அமைப்புகளுக்குள் வேலை செய்கிறது. இந்த வளையம் அறைக்குள் வெப்பத்தை நிலைப்படுத்துகிறது. இது வாயுக்களின் ஓட்டத்தையும் கட்டுப்படுத்துகிறது. பொருள் உயர் தூய்மை CVD சிலிக்கான் கார்பைடு ஆகும். கிராஃபைட்டின் வாயுவை வெளியேற்றும் சிக்கல்கள் இதில் இல்லை. உற்பத்தியின் போது துகள்கள் மாசுபடுவதையும் குறைக்கிறது. உங்கள் விசாரணைகளை வரவேற்கிறோம்.

VETEK ஆனது துல்லியமான கார்டிங் மற்றும் ஏர்-ஜெட் தொழில்நுட்பத்தின் கலவையைப் பயன்படுத்தி எங்கள் கார்பன் ஃபைபர் மென்மையான உணர்வை உருவாக்கியுள்ளது. பொருள் முழுவதும் மிகவும் சீரான ஃபைபர் கட்டமைப்பை நாங்கள் உத்தரவாதம் செய்யலாம். இது தொழில்துறை உலைகளின் கடுமையான வெப்பத்தைத் தாங்கும் வகையில் கட்டப்பட்டுள்ளது, அதே நேரத்தில் நம்பமுடியாத அளவிற்கு இலகுரக உள்ளது. குறைந்த வெப்ப நிறை மற்றும் ஒரு நெகிழ்வான அமைப்பு மூலம், அதை நிறுவ எளிதானது மற்றும் உலை மூலைகளில் இறுக்கமாக பொருந்துகிறது, ஒவ்வொரு சுழற்சியிலும் ஆற்றல் செயல்திறனை அதிகரிக்க உதவுகிறது.

ஆரம்ப மூலப்பொருளின் தரமானது SiC ஒற்றைப் படிகங்களின் உற்பத்தியில் செதில் விளைச்சலைக் கட்டுப்படுத்தும் முதன்மைக் காரணியாகும். VETEK இன் 7N உயர்-தூய்மை CVD SiC பல்க் பாரம்பரிய பொடிகளுக்கு உயர் அடர்த்தி கொண்ட பாலிகிரிஸ்டலின் மாற்றீட்டை வழங்குகிறது, குறிப்பாக இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்துக்காக (PVT) வடிவமைக்கப்பட்டது. மொத்த CVD படிவத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், பொதுவான வளர்ச்சி குறைபாடுகளை நீக்கி, உலை செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறோம். உங்கள் விசாரணைக்காக காத்திருக்கிறேன்.

டிஃப்யூஷன், ஆக்சிடேஷன் அல்லது எல்பிசிவிடி போன்ற மேம்பட்ட புனைகதைகளில், செதில் படகு ஒரு ஹோல்டர் மட்டுமல்ல - இது வெப்ப சூழலின் முக்கியமான பகுதியாகும். 1000 டிகிரி செல்சியஸ் முதல் 1400 டிகிரி செல்சியஸ் வரையிலான வெப்பநிலையில், வார்ப்பிங் அல்லது வாயு வெளியேற்றம் காரணமாக நிலையான பொருட்கள் பெரும்பாலும் தோல்வியடைகின்றன. VETEK இன் SiC-on-SiC தீர்வு (அடர்த்தியான CVD பூச்சுடன் கூடிய உயர்-தூய்மை அடி மூலக்கூறு) இந்த உயர்-வெப்ப மாறிகளை நிலைப்படுத்த குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

MOCVD இன் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் வேதியியல் எதிர்வினை சூழல்கள், எதிர்வினை அறையின் பாதுகாப்பு மற்றும் செயல்முறை கட்டுப்பாட்டின் துல்லியம் ஆகியவை மிக முக்கியமானவை. VETEK பிரீமியம் ஒளிபுகா (மில்க்கி ஒயிட்) குவார்ட்ஸ் கூறுகளை வழங்குகிறது, குறிப்பாக உங்கள் செமிகண்டக்டர் கருவிகளுக்குள் "சுத்தமான அறை" மற்றும் "துல்லியமான வாயில்" செயல்பட வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த கூறுகள் வெப்பக் கதிர்வீச்சை நிர்வகிப்பதற்கும் மாசுபடுவதைத் தடுப்பதற்கும் செலவு குறைந்த ஆனால் உயர் செயல்திறன் தீர்வை வழங்குகின்றன.