தயாரிப்புகள்

If you’ve ever dealt with uneven gas flow or particle contamination in a deposition chamber, the VETEK CVD SiC Coated Graphite Shower Head is designed to solve that. It starts with high‑purity isostatic graphite for thermal stability and easy machining, then gets a dense CVD Silicon Carbide (SiC) coating that seals the surface, resists corrosive gases (like HCl or NF₃), and prevents outgassing. The result is a gas distribution plate that delivers uniform flow across the wafer, handles high‑temperature epitaxy, and lasts far longer than bare graphite or quartz – making it a trusted component for CVD, PECVD, MOCVD, silicon epitaxy, and SiC epitaxy processes. தனிப்பயன் துளை வடிவங்கள் மற்றும் அளவுகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், ஏனெனில் எந்த இரண்டு அணு உலைகளும் சரியாக இல்லை.

VeTek செமிகண்டக்டர் உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) தூள் SiC படிக வளர்ச்சி, குறைக்கடத்தி பொருட்கள் மற்றும் மேம்பட்ட செராமிக் பயன்பாடுகளுக்காக சிறப்பாக உருவாக்கப்பட்டது. மேம்பட்ட சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்பம் மற்றும் கடுமையான தரக் கட்டுப்பாடு மூலம், எங்கள் SiC தூள் மிகக் குறைந்த தூய்மையற்ற நிலைகள், நிலையான துகள் விநியோகம் மற்றும் உற்பத்தி செயல்முறைகளை கோருவதற்கான சிறந்த நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது.

SiC PVT படிக வளர்ச்சி அமைப்புகளில், கிராஃபைட் பாகங்கள் மிக அதிக வெப்பநிலையில் நீண்ட காலத்திற்கு இயக்கப்படுகின்றன. VeTek இன் PyC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையம் அந்த வகையான கடமைக்காக கட்டப்பட்டுள்ளது. ஒரு பைரோலிடிக் கார்பன் அடுக்கு CVD வழியாக உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டில் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது. இது பகுதிக்கு சிறந்த மேற்பரப்பு நிலைத்தன்மையை அளிக்கிறது மற்றும் செயல்பாட்டின் போது குறைவான துகள்கள் வெளியேறும். நீராவி ஓட்டம் மற்றும் உலைக்குள் வெப்பம் எவ்வாறு பரவுகிறது என்பதை நிர்வகிக்க உதவுவதற்காக நீங்கள் வழக்கமாக வெப்பப் புலப் பகுதியில் வைப்பீர்கள். பொருள்கள் 2200°C க்கு மேல் செல்லும் போது பூச்சு கிராஃபைட் பதங்கமாதலை மெதுவாக்குகிறது, இது முழு கூறுகளையும் நீண்ட காலம் நீடிக்கும்.

வேஃபர் டிராக்கிங் மண்டலத்தைச் சுற்றி வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, சாலிட் SiC ஃபோகஸ் ரிங் நேரியல் பிளாஸ்மா விநியோகம் மற்றும் சரியான விளிம்பில் இருந்து மையத்தில் உள்ள எட்ச் சுயவிவரங்களை உறுதி செய்கிறது. இந்த பிரீமியம் β-SiC கூறுகள் Vetek செமிகண்டக்டரால் (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) உருவாக்கப்பட்டுள்ளது. மூலப்பொருட்களை ஒரு அடர்த்தியான, பைண்டர்லெஸ் மேட்ரிக்ஸில் ஆவியாக்குவதன் மூலம், பழைய பொருட்களில் உள்ள நுண்ணிய நுண் இடைவெளிகளை Vetek நீக்குகிறது. நிலையான குவார்ட்ஸ் அல்லது சிலிக்கான் கவசத்துடன் ஒப்பிடும்போது, ​​எங்கள் CVD SiC கூறுகள் அரிக்கும் ஆலசன் வாயுக்களுக்கு மிகவும் சிறப்பாக நிற்கின்றன, ஆழமான சப்-7nm லாஜிக் மற்றும் அடர்த்தியான மெமரி சிப் உற்பத்தியில் செதில்களை பாதுகாக்கின்றன. உங்களின் மேலான விசாரணையை எதிர்நோக்குகிறோம்.

VeTek இலிருந்து இந்த AMAT 0200-03201 Wafer Lift Pin ஆனது உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டுடன் தொடங்குகிறது, பின்னர் நாம் அடர்த்தியான CVD SiC பூச்சு ஒன்றை மேலே சேர்க்கிறோம். இது 300மிமீ எபிடாக்ஸி சிஸ்டம் மற்றும் அப்ளைடு மெட்டீரியல்ஸ் இபிஐ ரியாக்டர்களுக்காக உருவாக்கப்பட்டது. ஏன் கிராஃபைட் மற்றும் SiC? கிராஃபைட் வெப்பத்தை நன்றாக கையாளுகிறது. SiC அடுக்கு அரிக்கும் வாயுக்களை எடுத்துக்கொள்கிறது மற்றும் வேகமாக தேய்ந்து போகாது. மெல்லிய சுவர் வடிவமைப்பு? இது சுத்தமான செதில் தூக்குதல் மற்றும் பொருத்துதல், குறைவான துகள்கள் மற்றும் அதிக வெப்பநிலையின் கீழ் நீண்ட பகுதி ஆயுளுக்கானது. ASM, Aixtron மற்றும் LPE அமைப்புகளுக்கு ஒத்த SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்களையும் நாங்கள் உருவாக்குகிறோம். உங்கள் விசாரணைக்காக காத்திருக்கிறேன்.

Vetek செமிகண்டக்டர் VEECO MOCVD அமைப்புகளுக்கான வேஃபர் கேரியர்களை உருவாக்குகிறது, குறிப்பாக GaN LEDகள், நீல-பச்சை LEDகள் மற்றும் ஆழமான UV LED வளர்ச்சி போன்ற LED எபிடாக்ஸி வேலைகளுக்காக உருவாக்கப்பட்டது. இந்த கேரியர்கள் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டுடன் தொடங்கி அடர்த்தியான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுகளைப் பெறுகின்றன. MOCVD இல் நீங்கள் காணும் அதிக வெப்பநிலையின் கீழ் அந்த கலவை நன்றாக உள்ளது - நல்ல வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் பூச்சு நீடிக்கும்.