தயாரிப்புகள்

Aixtron G10-SiC இயங்குதளத்திற்கான VeTek செமிகண்டக்டரின் சாலிட் SiC பாகங்கள், SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் கோரும் வெப்ப மற்றும் இரசாயன சூழலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை, முழு அடர்த்தியான சிலிக்கான் கார்பைடு கூறுகளாகும். இந்த பாகங்கள் சிறந்த உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் அதி-குறைந்த துகள் உருவாக்கம் ஆகியவற்றை வழங்குகின்றன, இது சக்தி சாதன உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் உயர்-செயல்திறன் 9×150 மிமீ / 6×200 மிமீ கிரக உலை உள்ளமைவை ஆதரிக்கிறது.

CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்களுக்கான VETEK நிபுணத்துவ துப்புரவு சேவை என்பது Aixtron / Veeco MOCVD உபகரண சஸ்பெப்டர்கள் மற்றும் GaN / AlN / AlGaN எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் கிராஃபைட் கூறுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு சிறப்பு தொழில்நுட்ப சேவையாகும். எங்கள் தனியுரிம துப்புரவு செயல்முறை மேற்பரப்பு நினைவக விளைவை முற்றிலும் நீக்குகிறது, உலையில் நிலையான வாயு ஓட்டத்தை மீட்டெடுக்கிறது, மேலும் 100 µm CVD SiC பூச்சு முழுமையான பூஜ்ஜிய தடிமன் இழப்பு மற்றும் பூஜ்ஜிய உலோக எச்சத்துடன் கண்டிப்பாகப் பாதுகாக்கிறது.

வேஃபர் கேரியருக்கான VETEK CVD SiC கோடட் கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட செதில் ஆதரவு கூறு ஆகும். தயாரிப்பு உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டை அடி மூலக்கூறாகப் பயன்படுத்துகிறது மற்றும் சீரான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடுக்குடன் பூசப்பட்டு, சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் துகள் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. ஒரு முக்கியமான கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் பாகமாக, இது எதிர்வினை அறைக்குள் செதில்களை நேரடியாக ஆதரிக்கிறது மற்றும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் நிலையான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி நிலைகளை பராமரிக்க உதவுகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டர் பிரீமியம் தர உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) தூள் குறிப்பாக உயர் விளைச்சல் SiC படிக வளர்ச்சி (PVT செயல்முறை), குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறு உற்பத்தி மற்றும் மேம்பட்ட செயல்பாட்டு மட்பாண்டங்களை வழங்குகிறது. அல்ட்ரா-க்ளீன் சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் செயலாக்கப்பட்ட, எங்கள் உயர் தூய்மையான SiC மூலப்பொருள் விதிவிலக்காக குறைந்த சுவடு உலோக நிலைகள், மறுஉருவாக்கம் செய்யக்கூடிய பதங்கமாதல் செயல்திறன் மற்றும் கடுமையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய மிகவும் நிலையான தொகுதி-க்கு-தொகுதி தரம் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.

TEL குறைக்கடத்தி உபகரணங்களுக்கான VETEK உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகு குறைக்கடத்தி-தர குவார்ட்ஸ் பொருட்களிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டது மற்றும் பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம், அனீலிங் மற்றும் CVD போன்ற உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் செதில் கையாளுதலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த மாசுபாடு பண்புகளுடன், இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி பயன்பாடுகளுக்கு நம்பகமான செதில் ஆதரவை வழங்குகிறது.

VETEK போரஸ் TaC கோடட் கிராஃபைட் ரிங் என்பது PVT (உடல் நீராவி போக்குவரத்து) செயல்முறை மூலம் SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு வெப்ப புல கூறு ஆகும். இது உயர்-தூய்மை நுண்துளை கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது மற்றும் CVD தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூசப்பட்டது. வடிவமைப்பு உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, இரசாயன மீள்தன்மை மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெப்ப புல செயல்திறன் ஆகியவற்றை இலக்காகக் கொண்டுள்ளது. மாசுபாட்டைக் குறைப்பதன் மூலம் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை ஆதரிப்பதன் மூலம், இந்த கூறு மீண்டும் உருவாக்கக்கூடிய SiC படிக வளர்ச்சி விளைவுகளுக்கு பங்களிக்கிறது.