CVD டான்டலம் கார்பைடு(TaC) பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்

முக்கிய அம்சங்கள்

விண்ணப்பங்கள்

வழக்கமான பயன்பாடுகள் அடங்கும்:

• SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி

• GaN MOCVD எபிடாக்ஸி

• AlN எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி

• மூன்றாம் தலைமுறை செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி

• உயர்-பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ்

• RF சாதனங்கள்

• மைக்ரோஎல்இடி உற்பத்தி

• ஆராய்ச்சி மற்றும் பைலட் உற்பத்தி அமைப்புகள்

இணக்கமான உபகரணங்கள்

இணக்கமான தளங்களில் பின்வருவன அடங்கும்:

• Aixtron

• LPE

• வீகோ

• AMEC

• NuFlare

• தனிப்பயன் CVD & MOCVD உலைகள்

மேலும் கிடைக்கும்:

• வேஃபர் கேரியர்கள்

• கிரக சஸ்பெப்டர்கள்

• பேரல் சஸ்செப்டர்கள்

• சுழற்சி வட்டுகள்

• அரை நிலவு பாகங்கள்

• கவர் தகடுகள்

• கிராஃபைட் கூட்டங்கள்

• தனிப்பயன் வெப்ப புல கூறுகள்

தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்

1. CVD TaC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் என்றால் என்ன?

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது செதில் கேரியராகப் பயன்படுத்தப்படும் அடர்த்தியான CVD TaC பூச்சினால் பாதுகாக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் கூறு.

2. ஏன் TaC coa பயன்படுத்த வேண்டும்SiC பூச்சுக்கு பதிலாக ting?

TaC அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.

3.எந்த குறைக்கடத்தி செயல்முறைகள் TaC-c ஐப் பயன்படுத்துகின்றனஓட்டட் சஸ்பெப்டர்கள்?

SiC epitaxy, GaN MOCVD, AlN எபிடாக்ஸி மற்றும் பிற உயர் வெப்பநிலை படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகள்.

4. VETEK தனிப்பயனாக்கப்பட்ட susceptors தயாரிக்க முடியுமா?

ஆம். வாடிக்கையாளர் வரைபடங்கள் மற்றும் செயல்முறை தேவைகளின் அடிப்படையில் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட வடிவமைப்புகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.

5. எந்த உலை பிராண்டுகள் ஆதரிக்கப்படுகின்றன?

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare மற்றும் பிற முக்கிய அமைப்புகள்.