செய்தி

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி என்பது வேதியியல் நீராவி படிவு மூலம் தயாரிக்கப்படும் உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள். இது முக்கியமாக குறைக்கடத்தி செயலாக்க கருவிகளில் பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் பூச்சுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது. பின்வரும் உள்ளடக்கம் CVD SIC இன் தயாரிப்பு வகைப்பாடு மற்றும் முக்கிய செயல்பாடுகளின் அறிமுகமாகும்

இந்த கட்டுரை முக்கியமாக தயாரிப்பு வகைகள், தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் TAC பூச்சின் முக்கிய செயல்பாடுகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது, மேலும் TAC பூச்சு தயாரிப்புகளின் ஒட்டுமொத்தமாக ஒரு விரிவான பகுப்பாய்வு மற்றும் விளக்கத்தை உருவாக்குகிறது.

இந்த கட்டுரை முக்கியமாக குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் MOCVD SUSSCECTOR இன் தயாரிப்பு வகைகள், தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் முக்கிய செயல்பாடுகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது, மேலும் MOCVD SUSCECEPTOR தயாரிப்புகளின் விரிவான பகுப்பாய்வு மற்றும் விளக்கத்தை உருவாக்குகிறது.

SiC படிக வளர்ச்சி உலைக்குள் PVT எவ்வாறு செயல்படுகிறது என்பதைக் கண்டறியவும். WuYi TianYao நியூ மெட்டீரியல் Tech.Co.,Ltd இலிருந்து பதங்கமாதல், வெகுஜன போக்குவரத்து மற்றும் படிக வளர்ச்சியின் தொழில்நுட்ப பகுப்பாய்வு.

போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ரிங் என்பது இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT) SiC ஒற்றை-படிக வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு சிறப்பு வெப்ப-புல கூறு ஆகும். அடர்த்தியான CVD டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுடன் உயர்-தூய்மை நுண்துளை கிராஃபைட்டை இணைப்பதன் மூலம், இது உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, அரிப்பு பாதுகாப்பு, கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெப்ப விநியோகம் மற்றும் குறைந்த மாசுபாட்டை வழங்குகிறது. இந்தக் கட்டுரை அதன் கட்டமைப்பு, தொழில்நுட்ப நன்மைகள், பயன்பாடுகள், விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி மற்றும் SiC படிக-வளர்ச்சி உபகரணங்களுக்கான தேர்வு பரிசீலனைகளை விளக்குகிறது.

GTMS/CTMS ஹெர்மீடிக் சீல் செயல்முறைகளை இலக்காகக் கொண்டு, VeTek தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சிறப்பு கிராஃபைட் பொருத்துதல் தீர்வுகளை 0.01 ㎡க்கு 1,500 அடர்த்தியாக வரிசைப்படுத்தப்பட்ட மைக்ரோ-ஹோல்களுடன் வழங்குகிறது. கோவார் அலாய் CTEஐத் துல்லியமாகப் பொருத்துதல், 10 மாதங்களில் மல்டி-ஹோல் மைக்ரோமச்சினிங் சவாலை முறியடித்து, மைக்ரான்-நிலை பூஜ்ஜிய-குறைபாடு கட்டுப்பாடு மற்றும் ஒரு நிறுத்தப் பொறியியல் விநியோகத்தை அடைதல்.

வேகமாக வளரும் குறைக்கடத்தி துறையில், துல்லியமான பொருட்கள் நேரடியாக செதில் செயலாக்க தரம் மற்றும் உற்பத்தி திறன் தீர்மானிக்கிறது. மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட TEL தீர்வுகளுக்காக VETEK உயர் செயல்திறன் கொண்ட உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகை வழங்குகிறது, சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் மாசுக்கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றைக் கோருகிறது.

ஒரு கிளாஸி கார்பன் கோடட் கிராஃபைட் க்ரூசிபிள் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி, படிக வளர்ச்சி, வெற்றிட வெப்ப சிகிச்சை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை பொருள் ஆராய்ச்சி போன்ற தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட மேம்பட்ட வெப்ப செயலாக்க கூறு ஆகும். இந்த கட்டுரை அதன் கட்டமைப்பு, நன்மைகள், பயன்பாடுகள் மற்றும் தேர்வு பரிசீலனைகளை விளக்குகிறது. VeTek செமிகண்டக்டர் உயர் செயல்திறன் க்ரூசிபிள் தீர்வுகளை வழங்குகிறது, இது கண்ணாடி கார்பன் பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை துல்லியமான கிராஃபைட் உற்பத்தியுடன் நவீன தொழில்களின் கடுமையான தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி பெருகிய முறையில் மேம்பட்ட செயல்முறை முனைகளை நோக்கி நகரும் போது, ​​பொருள் தூய்மை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவை முன்னெப்போதையும் விட மிகவும் முக்கியமானதாகிவிட்டன. படிக வளர்ச்சி உலைகள், எபிடாக்சியல் உலைகள், சிலிக்கான் கார்பைடு உற்பத்தி அமைப்புகள் மற்றும் பிற உயர்-வெப்பநிலைப் பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் நம்பகமான காப்புப் பொருட்களில் ஒன்றாக ஹைப்பர்ப்யூர் கிராஃபைட் ரிஜிட் ஃபீல் உருவாகியுள்ளது.

SiC பரவல் உலை குழாய் அதன் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை ஆகியவற்றின் காரணமாக நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக மாறியுள்ளது. பரவல் உலை செயல்திறனை மேம்படுத்தும், செதில் தரத்தை மேம்படுத்தும் மற்றும் ஒட்டுமொத்த உற்பத்திச் செலவுகளைக் குறைக்கும் மேம்பட்ட SiC தீர்வுகளை VeTek எவ்வாறு வழங்குகிறது என்பதை இந்தக் கட்டுரை ஆராய்கிறது. அதன் அமைப்பு, நன்மைகள், பயன்பாடுகள், தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் மற்றும் அலுமினா குழாய்களை ஏன் அதிகளவில் மாற்றுகிறது என்பதை நீங்கள் அறிந்து கொள்வீர்கள்.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, படிக வளர்ச்சி தொழில்நுட்பம் மற்றும் மேம்பட்ட பொருள் செயலாக்கம் தொடர்ந்து உருவாகி வருவதால், அதி-சுத்தமான மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை கொண்ட கூறுகளுக்கான தேவை கணிசமாக அதிகரித்துள்ளது. இந்த முக்கியமான கூறுகளில், கிளாஸி கார்பன் கோடட் கிராஃபைட் க்ரூசிபிள் உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் உயர்-தூய்மை சூழல்களுக்கு மிகவும் நம்பகமான தீர்வுகளில் ஒன்றாக வெளிப்பட்டுள்ளது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி அதிக துல்லியம், தூய்மை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை நோக்கி தொடர்ந்து உருவாகி வருவதால், மேம்பட்ட பூச்சு பொருட்கள் செயல்முறை உபகரணங்களில் முக்கியமான கூறுகளாக மாறியுள்ளன. அவற்றில், டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம் அதிக வெப்பநிலை, அரிப்பு, பிளாஸ்மா அரிப்பு மற்றும் துகள் மாசுபாட்டிற்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பிற்காக தனித்து நிற்கிறது.

கிடைக்கக்கூடிய தொழில்நுட்பங்களில், பெரிய அளவிலான எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் SiC படிக வளர்ச்சி உலை மேம்பட்ட நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனுடன் பெரிய விட்டம், குறைந்த குறைபாடுள்ள SiC படிகங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கான ஒரு முக்கியமான தீர்வாக வெளிப்பட்டுள்ளது. இந்தத் தொழில்நுட்பம் எவ்வாறு செயல்படுகிறது, அதன் நன்மைகள், பயன்பாடுகள் மற்றும் தொழில்துறை தலைவர்கள் Veteksemi இன் புதுமையான தீர்வுகளை ஏன் நம்புகிறார்கள் என்பதை இந்தக் கட்டுரை ஆராய்கிறது.

ASMக்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் என்பது எபிடாக்ஸி அமைப்பினுள் ஒரு மாற்றுப் பகுதி மட்டுமல்ல. இது ஒரு செயல்முறை-முக்கியமான கேரியர் ஆகும், இது வெப்ப சீரான தன்மை, செதில் தூய்மை, பூச்சு ஆயுள், அறை நிலைத்தன்மை மற்றும் நீண்ட கால உற்பத்தி செலவு ஆகியவற்றை பாதிக்கிறது.

ஒரு CVD TaC பூச்சு கவர் என்பது ஒரு பாதுகாப்பு மூடி அல்லது பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறு மட்டுமல்ல. உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில், இது அறையின் தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை, பகுதி வாழ்நாள் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை பாதிக்கலாம்.

PECVD உற்பத்தியில், பல பூச்சு மற்றும் படிவு சிக்கல்கள் பிளாஸ்மா சக்தி அல்லது வாயு வேதியியலில் தொடங்குவதில்லை. அவை செதில்களை வைத்திருக்கும் கேரியரில் தொடங்குகின்றன.