செய்தி

வெற்றிட பூச்சுகளில் திரைப்பட பொருள் ஆவியாதல், வெற்றிட போக்குவரத்து மற்றும் மெல்லிய திரைப்பட வளர்ச்சி ஆகியவை அடங்கும். வெவ்வேறு திரைப்பட பொருள் ஆவியாதல் முறைகள் மற்றும் போக்குவரத்து செயல்முறைகளின்படி, வெற்றிட பூச்சு பி.வி.டி மற்றும் சி.வி.டி ஆகிய இரண்டு பிரிவுகளாக பிரிக்கப்படலாம்.

இந்த கட்டுரை VeTek செமிகண்டக்டரின் போரஸ் கிராஃபைட்டின் இயற்பியல் அளவுருக்கள் மற்றும் தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் அதன் குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளை விவரிக்கிறது.

இந்த கட்டுரை டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு ஆகியவற்றின் தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் பயன்பாட்டு காட்சிகளை பல கோணங்களில் பகுப்பாய்வு செய்கிறது.

சிஐபி உற்பத்தியில் மெல்லிய திரைப்பட படிவு மிக முக்கியமானது, சி.வி.டி, ஏ.எல்.டி அல்லது பி.வி.டி வழியாக 1 மைக்ரான் தடிமன் கொண்ட படங்களை வைப்பதன் மூலம் மைக்ரோ சாதனங்களை உருவாக்குகிறது. இந்த செயல்முறைகள் மாற்று கடத்தும் மற்றும் இன்சுலேடிங் திரைப்படங்கள் மூலம் குறைக்கடத்தி கூறுகளை உருவாக்குகின்றன.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறை எட்டு படிகளை உள்ளடக்கியது: செதில் செயலாக்கம், ஆக்சிஜனேற்றம், லித்தோகிராபி, பொறித்தல், மெல்லிய திரைப்பட படிவு, ஒன்றோடொன்று சோதனை, சோதனை மற்றும் பேக்கேஜிங். மணலில் இருந்து சிலிக்கான் செதில்களாக பதப்படுத்தப்பட்டு, ஆக்ஸிஜனேற்றப்பட்ட, வடிவமைக்கப்பட்ட மற்றும் அதிக துல்லியமான சுற்றுகளுக்கு பொறிக்கப்படுகிறது.

இந்த கட்டுரை எல்.ஈ.டி அடி மூலக்கூறு சபையரின் மிகப்பெரிய பயன்பாடு, அத்துடன் சபையர் படிகங்களைத் தயாரிப்பதற்கான முக்கிய முறைகள் என்று விவரிக்கிறது: செசோக்ரால்கி முறையால் சபையர் படிகங்களை வளர்ப்பது, கைரோப ou லோஸ் முறையால் சபையர் படிகங்களை வளர்ப்பது, வழிகாட்டப்பட்ட அச்சு முறையால் சபையர் படிகங்களை வளர்ப்பது மற்றும் வெப்ப பரிமாற்ற முறையால் திருட்டு படிகங்களை வளர்ப்பது.

ஒற்றை-படிக உலையில் வெப்பநிலை சாய்வை கட்டுரை விளக்குகிறது. இது படிக வளர்ச்சி, திட-திரவ இடைமுகம் மற்றும் திடப்படுத்துவதில் வெப்பநிலை சாய்வின் பங்கு ஆகியவற்றின் போது நிலையான மற்றும் மாறும் வெப்ப புலங்களை உள்ளடக்கியது.

டைகோ செயல்முறை அதன் கொள்கைகள், தொழில்நுட்ப நன்மைகள் மற்றும் செயல்முறை தோற்றம் ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்தி சிலிக்கான் செதில்களைக் குறைக்கிறது.

8 அங்குல எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் உலை மற்றும் ஹோமோபிடாக்சியல் செயல்முறை ஆராய்ச்சி

கட்டுரை சிலிக்கான், GaAs, SiC மற்றும் GaN போன்ற குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறு செதில்களின் பொருள் பண்புகளை பகுப்பாய்வு செய்கிறது.

இந்த கட்டுரை முக்கியமாக GAN- அடிப்படையிலான குறைந்த வெப்பநிலை எபிடாக்சியல் தொழில்நுட்பத்தை விவரிக்கிறது, இதில் GAN- அடிப்படையிலான பொருட்களின் படிக அமைப்பு, 3.

இந்த கட்டுரை முதலில் TAC இன் மூலக்கூறு கட்டமைப்பு மற்றும் இயற்பியல் பண்புகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது, மேலும் சின்டர் செய்யப்பட்ட டான்டலம் கார்பைடு மற்றும் சி.வி.டி டான்டலம் கார்பைடு ஆகியவற்றின் வேறுபாடுகள் மற்றும் பயன்பாடுகள் மற்றும் வெக் செமிகண்டக்டரின் பிரபலமான டிஏசி பூச்சு தயாரிப்புகள் ஆகியவற்றில் கவனம் செலுத்துகிறது.

இந்த கட்டுரை சி.வி.டி டிஏசி பூச்சுகளின் தயாரிப்பு பண்புகள், சி.வி.டி முறையைப் பயன்படுத்தி சி.வி.டி டிஏசி பூச்சு தயாரிக்கும் செயல்முறை மற்றும் தயாரிக்கப்பட்ட சி.வி.டி டிஏசி பூச்சு மேற்பரப்பு உருவவியல் கண்டறிதலுக்கான அடிப்படை முறை ஆகியவற்றை அறிமுகப்படுத்துகிறது.

இந்த கட்டுரை TaC பூச்சுகளின் தயாரிப்பு பண்புகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது, CVD தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி TaC பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதற்கான குறிப்பிட்ட செயல்முறை, Veteksemicon இன் மிகவும் பிரபலமான TaC பூச்சுகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது மற்றும் Veteksemicon ஐ தேர்வு செய்வதற்கான காரணங்களை சுருக்கமாக பகுப்பாய்வு செய்கிறது.

இந்த கட்டுரை எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான ஒரு முக்கிய முக்கிய பொருளை எஸ்.ஐ.சி பூசுவதற்கான காரணங்களை பகுப்பாய்வு செய்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி துறையில் எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் குறிப்பிட்ட நன்மைகளில் கவனம் செலுத்துகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு நானோ பொருட்களின் (sic) நானோமீட்டர் அளவில் (1-100nm) குறைந்தது ஒரு பரிமாணத்தைக் கொண்ட பொருட்கள். இந்த பொருட்கள் பூஜ்ஜியமாக இருக்கலாம், ஒன்று, இரண்டு-, அல்லது முப்பரிமாணமாக இருக்கலாம் மற்றும் மாறுபட்ட பயன்பாடுகளைக் கொண்டிருக்கலாம்.