செய்தி

பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் உலகில், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மற்றும் காலியம் நைட்ரைடு (GaN) ஆகியவை மின்சார வாகனங்கள் (EVகள்) முதல் புதுப்பிக்கத்தக்க ஆற்றல் உள்கட்டமைப்பு வரை ஒரு புரட்சியை முன்னெடுத்து வருகின்றன. இருப்பினும், இந்த பொருட்களின் பழம்பெரும் கடினத்தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஒரு வலிமையான உற்பத்தி இடையூறாக உள்ளது.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில், இரசாயன மெக்கானிக்கல் பிளானரைசேஷன் (சிஎம்பி) செயல்முறையானது செதில் மேற்பரப்புத் திட்டமிடலை அடைவதற்கான முக்கிய கட்டமாகும், இது அடுத்தடுத்த லித்தோகிராஃபி படிகளின் வெற்றி அல்லது தோல்வியை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது. CMP இல் முக்கியமான நுகர்வுப் பொருளாக, பாலிஷிங் ஸ்லரியின் செயல்திறன் நீக்குதல் வீதத்தைக் (RR) கட்டுப்படுத்துதல், குறைபாடுகளைக் குறைத்தல் மற்றும் ஒட்டுமொத்த விளைச்சலை மேம்படுத்துதல் ஆகியவற்றில் இறுதிக் காரணியாகும்.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் உயர்-பங்கு உலகில், துல்லியமான மற்றும் தீவிர சூழல்கள் இணைந்திருக்கும், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஃபோகஸ் வளையங்கள் இன்றியமையாதவை. அவற்றின் விதிவிலக்கான வெப்ப எதிர்ப்பு, இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றிற்கு அறியப்பட்ட இந்த கூறுகள் மேம்பட்ட பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்முறைகளுக்கு முக்கியமானவை. அவற்றின் உயர் செயல்திறனுக்குப் பின்னால் உள்ள ரகசியம் சாலிட் சிவிடி (ரசாயன நீராவி டெபாசிஷன்) தொழில்நுட்பத்தில் உள்ளது. இன்று, கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு முதல் ஃபேப்பின் உயர் துல்லியமான "கண்ணுக்கு தெரியாத ஹீரோ" வரையிலான கடுமையான உற்பத்திப் பயணத்தை ஆராய உங்களை திரைக்குப் பின்னால் அழைத்துச் செல்கிறோம்.