செய்தி

சரியான செமிகண்டக்டர் குவார்ட்ஸ் க்ரூசிபிளைத் தேர்ந்தெடுப்பது சிறிய கொள்முதல் விவரம் அல்ல. இது நேரடியாக உருகும் தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை, படிக இழுக்கும் நிலைத்தன்மை, மகசூல் கட்டுப்பாடு மற்றும் முழு வளர்ச்சிக் கோட்டின் சேவை தாளத்தையும் பாதிக்கிறது.

உயர் தூய்மை கிராஃபைட் தூள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்தி, மேம்பட்ட மட்பாண்டங்கள் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை தொழில்துறை செயல்முறைகள் முழுவதும் ஒரு முக்கியமான பொருளாக மாறியுள்ளது. ஆனால் உயர் தூய்மையான கிராஃபைட் பொடியை சரியாக என்ன வரையறுக்கிறது, மேலும் அது ஏன் கோரும் சூழல்களில் நிலையான கிராஃபைட் பொருட்களை விட சிறப்பாக செயல்படுகிறது?

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி அதிக துல்லியம், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக ஆக்கிரமிப்பு பிளாஸ்மா சூழல்களை நோக்கி முன்னேறும்போது, ​​முக்கியமான கூறுகளுக்கான பொருள் தேர்வு பெருகிய முறையில் முக்கியத்துவம் பெறுகிறது. டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம் அதன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக பிளாஸ்மா-முகம் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கான முக்கிய தீர்வாக வெளிப்பட்டுள்ளது. டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம் என்றால் என்ன, அது எப்படி வேலை செய்கிறது, பாரம்பரிய பொருட்களை விட இது ஏன் சிறப்பாக செயல்படுகிறது மற்றும் முன்னணி உற்பத்தியாளர்கள் VeTek குறைக்கடத்தியின் தீர்வுகளை ஏன் நம்புகிறார்கள் என்பது பற்றிய விரிவான, ஆழமான ஆய்வை இந்தக் கட்டுரை வழங்குகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மட்பாண்ட செதில் படகுகள் நவீன குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த புனையமைப்பு சூழல்களில் தவிர்க்க முடியாத கருவிகளாக வெளிவந்துள்ளன. இந்த மேம்பட்ட கூறுகள் ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு போன்ற செதில் செயலாக்க படிகளில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.

TaC (டாண்டலம் கார்பைடு) பூச்சு வளையங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒருங்கிணைந்த கூறுகளாகும், குறிப்பாக கடுமையான சூழல்களுக்கு வெளிப்படும் உபகரணங்களுக்கு. இந்த வலைப்பதிவு TaC பூச்சு வளையங்களைப் பயன்படுத்துவதன் நன்மைகள், குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் அவற்றின் பயன்பாடு மற்றும் ஏன் VeTek இன் TaC பூச்சு தீர்வுகள் தொழில் வல்லுநர்களுக்கு சிறந்த தேர்வாகும். அவற்றின் செயல்திறன், செலவு-செயல்திறன் மற்றும் ஆயுள் ஆகியவற்றில் மூழ்கி, குறைக்கடத்தி சாதனத்தின் தரத்தை மேம்படுத்துவதில் இந்த மேம்பட்ட பூச்சுகள் வகிக்கும் பங்கை இந்தக் கட்டுரை எடுத்துக்காட்டுகிறது.

செமிகண்டக்டர், சோலார் செல் மற்றும் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் உற்பத்தி, செதில் சுத்தம் செய்தல், பொறித்தல், மற்றும் மேற்பரப்பு தயாரிப்பு போன்ற துல்லியமான ஈரமான செயலாக்கத்தில் அதிக தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை உறுதி செய்யும் பொருட்கள் மற்றும் உபகரணங்கள் தேவை. உயர்-தூய்மை குவார்ட்ஸ் குளியல் இந்த பண்புகளை செயற்கை ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸ் கட்டுமானத்துடன் வழங்குகிறது, இது நவீன ஃபேப்ரிகேஷன் சூழல்களுக்கு ஒரு மூலக்கல்லாக அமைகிறது.

இரண்டு தசாப்தங்களாக தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்புகளின் முன்னணியில், கூறுகள் வந்து செல்வதை நான் பார்த்திருக்கிறேன். ஆனால் சிலர் உயர் தூய்மையான SiC பவுடர் போன்ற ஒரு சலசலப்பை உருவாக்கியுள்ளனர். இது மற்றொரு பொருள் மட்டுமல்ல; இது மின்சார வாகனங்களில் சாத்தியமானவற்றின் எல்லைகளைத் தள்ளுவதற்கான அடிப்படை உறுப்பு.

ஜெர்மனியின் முனிச் நகரில் SEMICON Europa குறைக்கடத்தி கண்காட்சி நவம்பர் மாதம் ஐரோப்பாவில் நடைபெறும். SEMI (செமிகண்டக்டர் எக்யூப்மென்ட் அண்ட் மெட்டீரியல்ஸ் இன்டர்நேஷனல்) ஆல் நடத்தப்பட்டது, இது மிகவும் செல்வாக்கு மிக்க உலகளாவிய குறைக்கடத்தி தொழில்துறை உபகரண கண்காட்சிகளில் ஒன்றாக மாறியுள்ளது மற்றும் ஐரோப்பாவின் மிகப்பெரிய மற்றும் மிக முக்கியமான நிகழ்வுகளில் ஒன்றாகும்.

VeTek செமிகண்டக்டரில், மேம்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் மூலம் சாத்தியமானவற்றின் எல்லைகளைத் தள்ளுவதில் நாங்கள் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம், மற்ற பொருட்கள் குறையும் இடங்களில் செழிக்க வடிவமைக்கப்பட்ட தரங்களை உருவாக்குகிறோம்.

பீதியின் அந்த தருணத்தை நாம் அனைவரும் உணர்ந்தோம். உங்கள் தொலைபேசி பேட்டரி 5%ஆக உள்ளது, நீங்கள் மிச்சப்படுத்த சில நிமிடங்கள் உள்ளன, மேலும் ஒவ்வொரு நொடியும் செருகப்படுவது ஒரு நித்தியம் போல் உணர்கிறது. இந்த கவலையை முடிவுக்குக் கொண்டுவருவதற்கான ரகசியம் முற்றிலும் புதிய வேதியியலில் அல்ல, மாறாக பேட்டரியுக்குள்ளேயே ஒரு அடிப்படை பொருளை மறுவடிவமைப்பதில் என்ன செய்தால் என்ன செய்வது? இரண்டு தசாப்தங்களாக தொழில்நுட்பத்தின் முன்னணியில், போக்குகள் வந்து செல்வதை நான் கண்டிருக்கிறேன். ஆனால் நுண்ணிய கிராஃபைட்டைச் சுற்றியுள்ள சலசலப்பு வித்தியாசமாக உணர்கிறது. இது ஒரு அதிகரிக்கும் படி அல்ல; ஆற்றல் சேமிப்பு வடிவமைப்பை நாம் எவ்வாறு அணுகுகிறோம் என்பதில் இது ஒரு அடிப்படை மாற்றத்தைக் குறிக்கிறது.

வெடெக்கில், வெப்பநிலையில் நம்பகத்தன்மையைக் கோரும் தொழில்களுக்கான எங்கள் ஐசோட்ரோபிக் கிராஃபைட் தீர்வுகளைச் செம்மைப்படுத்த பல தசாப்தங்களாக செலவிட்டோம். இந்த பொருள் ஏன் ஒரு சிறந்த தேர்வாக இருக்கிறது என்பதையும், எங்கள் தயாரிப்புகள் போட்டியை எவ்வாறு சிறப்பாகச் செய்கின்றன என்பதையும் நாம் டைவ் செய்வோம்.

ஒரு தசாப்தத்திற்கும் மேலாக குறைக்கடத்தி துறையில் பணியாற்றிய நான், அதிக வெப்பநிலை, உயர் சக்தி சூழல்களில் பொருள் தேர்வு எவ்வளவு சவாலாக இருக்க முடியும் என்பதை நான் நேரில் புரிந்துகொள்கிறேன். வெடெக்கின் எஸ்.ஐ.சி தொகுதியை நான் சந்திக்கும் வரை நான் இறுதியாக நம்பகமான தீர்வைக் கண்டேன்.

Veteksemicon 2025 ஷாங்காய் SEMICON சர்வதேச கண்காட்சியில் பிரகாசிக்கிறது, புதுமையான தொழில்நுட்பங்களுடன் குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் எதிர்காலத்தை வழிநடத்துகிறது

குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில், சாதன அளவு தொடர்ந்து சுருங்கி வருவதால், மெல்லிய திரைப்படப் பொருட்களின் படிவு தொழில்நுட்பம் முன்னோடியில்லாத சவால்களை ஏற்படுத்தியுள்ளது. அணு மட்டத்தில் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை அடையக்கூடிய மெல்லிய திரைப்பட படிவு தொழில்நுட்பமாக அணு அடுக்கு படிவு (ALD), குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் இன்றியமையாத பகுதியாக மாறியுள்ளது. மேம்பட்ட சிப் உற்பத்தியில் அதன் முக்கிய பங்கைப் புரிந்துகொள்ள உதவும் வகையில் ALD இன் செயல்முறை ஓட்டம் மற்றும் கொள்கைகளை அறிமுகப்படுத்துவதை இந்த கட்டுரை நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளது.

ஒரு சரியான படிக அடிப்படை அடுக்கில் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் அல்லது குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உருவாக்குவது சிறந்தது. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் எபிடாக்சி (epi) செயல்முறையானது, ஒரு ஒற்றை-படிக அடி மூலக்கூறில் பொதுவாக சுமார் 0.5 முதல் 20 மைக்ரான் வரையிலான ஒரு சிறந்த ஒற்றை-படிக அடுக்கை வைப்பதை நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளது. எபிடாக்ஸி செயல்முறையானது குறைக்கடத்தி சாதனங்களை தயாரிப்பதில் ஒரு முக்கியமான படியாகும், குறிப்பாக சிலிக்கான் செதில் உற்பத்தியில்.

எபிடாக்ஸி மற்றும் அணு அடுக்கு படிவு (ALD) ஆகியவற்றுக்கு இடையிலான முக்கிய வேறுபாடு அவற்றின் திரைப்பட வளர்ச்சி வழிமுறைகள் மற்றும் இயக்க நிலைமைகளில் உள்ளது. எபிடாக்ஸி என்பது ஒரு குறிப்பிட்ட நோக்குநிலை உறவைக் கொண்ட படிக அடி மூலக்கூறில் ஒரு படிக மெல்லிய திரைப்படத்தை வளர்க்கும் செயல்முறையை குறிக்கிறது, அதே அல்லது ஒத்த படிக கட்டமைப்பைப் பராமரிக்கிறது. இதற்கு நேர்மாறாக, ALD என்பது ஒரு படிவு நுட்பமாகும், இது வெவ்வேறு வேதியியல் முன்னோடிகளுக்கு ஒரு அடி மூலக்கூறை வெளிப்படுத்துவதை உள்ளடக்கியது, இது ஒரு நேரத்தில் ஒரு மெல்லிய திரைப்படத்தை உருவாக்கும்.