செய்தி

சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளின் தொழில்துறை அளவிலான உற்பத்திக்கு, ஒற்றை வளர்ச்சி ஓட்டத்தின் வெற்றி இறுதி இலக்கு அல்ல. வெவ்வேறு தொகுதிகள், கருவிகள் மற்றும் காலகட்டங்களில் வளர்க்கப்படும் படிகங்கள் உயர் நிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் தரத்தில் மீண்டும் மீண்டும் செயல்படுவதை உறுதி செய்வதில் உண்மையான சவால் உள்ளது. இந்த சூழலில், டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளின் பங்கு அடிப்படை பாதுகாப்பிற்கு அப்பாற்பட்டது - இது செயல்முறை சாளரத்தை உறுதிப்படுத்துவதிலும் தயாரிப்பு விளைச்சலைப் பாதுகாப்பதிலும் முக்கிய காரணியாகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) PVT வளர்ச்சியானது கடுமையான வெப்ப சுழற்சியை உள்ளடக்கியது (அறை வெப்பநிலை 2200 ℃ க்கு மேல்). வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகங்களில் (CTE) பொருந்தாததன் காரணமாக பூச்சுக்கும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையே உருவாகும் மிகப்பெரிய வெப்ப அழுத்தமானது பூச்சு வாழ்நாள் மற்றும் பயன்பாட்டின் நம்பகத்தன்மையை நிர்ணயிக்கும் முக்கிய சவாலாகும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) PVT படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டில், வெப்பப் புலத்தின் நிலைத்தன்மையும் சீரான தன்மையும் நேரடியாக படிக வளர்ச்சி விகிதம், குறைபாடு அடர்த்தி மற்றும் பொருள் சீரான தன்மையை தீர்மானிக்கிறது. அமைப்பின் எல்லையாக, வெப்ப-புல கூறுகள் மேற்பரப்பு தெர்மோபிசிகல் பண்புகளை வெளிப்படுத்துகின்றன, அதன் சிறிய ஏற்ற இறக்கங்கள் அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் வியத்தகு முறையில் பெருக்கப்படுகின்றன, இறுதியில் வளர்ச்சி இடைமுகத்தில் உறுதியற்ற தன்மைக்கு வழிவகுக்கும்.