செய்தி

கட்டுரை கார்பனின் சிறந்த இயற்பியல் பண்புகள், எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளைத் தேர்ந்தெடுப்பதற்கான குறிப்பிட்ட காரணங்கள் மற்றும் கார்பன் மீது எஸ்.ஐ.சி பூச்சு முறை மற்றும் கொள்கை ஆகியவற்றை விவரிக்கிறது. எஸ்.ஐ.சி பூச்சு கார்பனின் கட்ட கலவையை பகுப்பாய்வு செய்ய டி 8 அட்வான்ஸ் எக்ஸ்-ரே டிஃப்ராக்ரோமீட்டர் (எக்ஸ்ஆர்டி) பயன்பாட்டை இது குறிப்பாக பகுப்பாய்வு செய்கிறது.

வளர்ந்து வரும் எஸ்.ஐ.சி ஒற்றை படிகங்களுக்கான முக்கிய முறைகள்: உடல் நீராவி போக்குவரத்து (பி.வி.டி), உயர் வெப்பநிலை வேதியியல் நீராவி படிவு (எச்.டி.சி.வி.டி) மற்றும் உயர் வெப்பநிலை தீர்வு வளர்ச்சி (எச்.டி.எஸ்.ஜி).

சூரிய ஒளிமின்னழுத்த தொழில்துறையின் வளர்ச்சியுடன், சூரிய மின்கலங்களின் உற்பத்திக்கான பரவல் உலைகள் மற்றும் எல்பிசிவி உலைகள் ஆகியவை சூரிய மின்கலங்களின் திறமையான செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கின்றன. விரிவான தயாரிப்பு செயல்திறன் மற்றும் பயன்பாட்டு செலவின் அடிப்படையில், சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பொருட்கள் குவார்ட்ஸ் பொருட்களை விட சூரிய மின்கலங்களின் துறையில் அதிக நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன. ஒளிமின்னழுத்த துறையில் சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பொருட்களின் பயன்பாடு ஒளிமின்னழுத்த நிறுவனங்களுக்கு துணை பொருள் முதலீட்டு செலவுகளை குறைக்கவும், தயாரிப்பு தரம் மற்றும் போட்டித்தன்மையை மேம்படுத்தவும் உதவும். ஒளிமின்னழுத்த புலத்தில் சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பொருட்களின் எதிர்கால போக்கு முக்கியமாக அதிக தூய்மை, வலுவான சுமை தாங்கும் திறன், அதிக ஏற்றுதல் திறன் மற்றும் குறைந்த செலவு ஆகியவற்றை நோக்கி உள்ளது.

பொருள் ஆதாரம் மற்றும் தூய்மைக் கட்டுப்பாடு, செயல்முறை அளவுரு தேர்வுமுறை, பூச்சு ஒட்டுதல், உபகரணங்கள் பராமரிப்பு மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மை, சுற்றுச்சூழல் பாதுகாப்பு மற்றும் செலவுக் கட்டுப்பாடு போன்ற குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் போது SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான CVD TaC பூச்சு செயல்முறை எதிர்கொள்ளும் குறிப்பிட்ட சவால்களை கட்டுரை பகுப்பாய்வு செய்கிறது. அத்துடன் தொடர்புடைய தொழில் தீர்வுகள்.

SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சியின் பயன்பாட்டுக் கண்ணோட்டத்தில், இந்தக் கட்டுரை TaC பூச்சு மற்றும் SIC பூச்சு ஆகியவற்றின் அடிப்படை இயற்பியல் அளவுருக்களை ஒப்பிடுகிறது, மேலும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, வலுவான இரசாயன நிலைத்தன்மை, குறைக்கப்பட்ட அசுத்தங்கள் மற்றும் SiC பூச்சுக்கு மேல் TaC பூச்சுகளின் அடிப்படை நன்மைகளை விளக்குகிறது. குறைந்த செலவுகள்.

ஃபேப் தொழிற்சாலையில் பல வகையான அளவீட்டு உபகரணங்கள் உள்ளன. பொதுவான உபகரணங்களில் லித்தோகிராஃபி செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், பொறித்தல் செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், மெல்லிய திரைப்பட படிவு செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், ஊக்கமருந்து செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், சி.எம்.பி செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், செதில் துகள் கண்டறிதல் உபகரணங்கள் மற்றும் பிற அளவீட்டு உபகரணங்கள் அடங்கும்.