CMP செயல்பாட்டில் டிஷிங் மற்றும் அரிப்பு என்றால் என்ன?

இரசாயன மெக்கானிக்கல் பாலிஷ் (CMP) ரசாயன எதிர்வினைகள் மற்றும் இயந்திர சிராய்ப்பு ஆகியவற்றின் ஒருங்கிணைந்த செயல் மூலம் அதிகப்படியான பொருள் மற்றும் மேற்பரப்பு குறைபாடுகளை நீக்குகிறது. இது செதில் மேற்பரப்பின் உலகளாவிய திட்டமிடலை அடைவதற்கான ஒரு முக்கிய செயல்முறையாகும், மேலும் பல அடுக்கு தாமிர இணைப்புகள் மற்றும் குறைந்த-கே மின்கடத்தா கட்டமைப்புகளுக்கு இது இன்றியமையாதது. நடைமுறை உற்பத்தியில், CMP ஒரு முழுமையான சீரான அகற்றும் செயல்முறை அல்ல; இது வழக்கமான மாதிரி சார்ந்த குறைபாடுகளை உருவாக்குகிறது, அவற்றுள் டிஷிங் மற்றும் அரிப்பு மிகவும் முக்கியமானது. இந்த குறைபாடுகள் நேரடியாக ஒன்றோடொன்று இணைக்கப்பட்ட அடுக்குகளின் வடிவவியலையும் அவற்றின் மின் பண்புகளையும் பாதிக்கின்றன.

டிஷிங் என்பது CMP இன் போது ஒப்பீட்டளவில் மென்மையான கடத்தும் பொருட்களை (தாமிரம் போன்றவை) அதிகமாக அகற்றுவதைக் குறிக்கிறது, இது ஒரு உலோகக் கோடு அல்லது ஒரு பெரிய உலோகப் பகுதிக்குள் டிஷ் வடிவ குழிவான சுயவிவரத்திற்கு வழிவகுக்கிறது. குறுக்குவெட்டில், உலோகக் கோட்டின் மையம் அதன் இரண்டு விளிம்புகள் மற்றும் சுற்றியுள்ள மின்கடத்தா மேற்பரப்பை விட குறைவாக உள்ளது. பரந்த கோடுகள், பட்டைகள் அல்லது பிளாக் வகை உலோகப் பகுதிகளில் இந்த நிகழ்வு அடிக்கடி காணப்படுகிறது. அதன் உருவாக்கம் பொறிமுறையானது, பொருள் கடினத்தன்மை மற்றும் பரந்த உலோக அம்சங்களில் பாலிஷ் பேடின் சிதைவு ஆகியவற்றுடன் முக்கியமாக தொடர்புடையது: மென்மையான உலோகங்கள் ரசாயன கூறுகள் மற்றும் உராய்வுகளுக்கு அதிக உணர்திறன் கொண்டவை, மேலும் திண்டின் உள்ளூர் தொடர்பு அழுத்தம் பரந்த அம்சங்களில் அதிகரிக்கிறது, இதனால் உலோகத்தின் மையத்தில் அகற்றும் விகிதம் விளிம்புகளில் அதை விட அதிகமாகிறது. இதன் விளைவாக, டிஷிங்கின் ஆழம் வழக்கமாக வரி அகலம் மற்றும் அதிக பாலிஷ் நேரத்துடன் அதிகரிக்கிறது.

சிஎம்பிக்குப் பிறகு சுற்றியுள்ள சிதறிய பகுதிகளில் உள்ளதை விட அதிக வடிவ-அடர்வுப் பகுதிகளில் (அடர்த்தியான உலோகக் கோடு வரிசைகள் அல்லது அடர்த்தியான போலி நிரப்பப்பட்ட பகுதிகள் போன்றவை) ஒட்டுமொத்த மேற்பரப்பு உயரத்தால் அரிப்பு வகைப்படுத்தப்படுகிறது. சாராம்சத்தில், இது ஒரு முறை-அடர்வு-உந்துதல், பிராந்திய அளவிலான பொருளை அதிகமாக அகற்றுவது. அடர்த்தியான பகுதிகளில், உலோகம் மற்றும் மின்கடத்தா ஆகியவை ஒரு பெரிய பயனுள்ள தொடர்புப் பகுதியை வழங்குகின்றன, மேலும் திண்டு மற்றும் குழம்பு ஆகியவற்றின் இயந்திர உராய்வு மற்றும் இரசாயன நடவடிக்கை வலுவானது. இதன் விளைவாக, உலோகம் மற்றும் மின்கடத்தா இரண்டின் சராசரி அகற்றும் விகிதங்கள் குறைந்த அடர்த்தி கொண்ட பகுதிகளை விட அதிகமாக உள்ளது. மெருகூட்டல் மற்றும் அதிக மெருகூட்டல் தொடரும்போது, ​​அடர்த்தியான பகுதிகளில் உள்ள உலோக-மின்கடத்தா அடுக்கு ஒட்டுமொத்தமாக மெல்லியதாகி, அளவிடக்கூடிய உயரப் படியை உருவாக்குகிறது, மேலும் உள்ளூர் வடிவ அடர்த்தி மற்றும் செயல்முறை ஏற்றுதலுடன் அரிப்பின் அளவு அதிகரிக்கிறது.

சாதனம் மற்றும் செயல்முறை செயல்திறன் ஆகியவற்றின் கண்ணோட்டத்தில், டிஷிங் மற்றும் அரிப்பு ஆகியவை குறைக்கடத்தி தயாரிப்புகளில் பல பாதகமான தாக்கங்களை ஏற்படுத்துகின்றன. டிஷிங் என்பது உலோகத்தின் பயனுள்ள குறுக்குவெட்டுப் பகுதியைக் குறைக்கிறது, இது அதிக இன்டர்கனெக்ட் ரெசிஸ்டன்ஸ் மற்றும் ஐஆர் டிராப் ஆகியவற்றிற்கு வழிவகுக்கிறது, இது சிக்னல் தாமதத்தை ஏற்படுத்துகிறது மற்றும் முக்கியமான பாதைகளில் நேர வரம்பைக் குறைக்கிறது. அரிப்பினால் ஏற்படும் மின்கடத்தா தடிமன் மாறுபாடுகள் உலோகக் கோடுகளுக்கு இடையே உள்ள ஒட்டுண்ணி கொள்ளளவை மாற்றுகிறது மற்றும் RC தாமதத்தின் விநியோகம், சிப் முழுவதும் மின் பண்புகளின் சீரான தன்மையைக் குறைமதிப்பிற்கு உட்படுத்துகிறது. கூடுதலாக, உள்ளூர் மின்கடத்தா மெலிவு மற்றும் மின்சார புலம் செறிவு முறிவு நடத்தை மற்றும் இடை-உலோக மின்கடத்தாக்களின் நீண்ட கால நம்பகத்தன்மையை பாதிக்கிறது. ஒருங்கிணைப்பு மட்டத்தில், அதிகப்படியான மேற்பரப்பு நிலப்பரப்பு லித்தோகிராஃபி கவனம் மற்றும் சீரமைப்பின் சிரமத்தை அதிகரிக்கிறது, அடுத்தடுத்த ஃபிலிம் படிவு மற்றும் செதுக்கலின் சீரான தன்மையைக் குறைக்கிறது, மேலும் உலோக எச்சம் போன்ற குறைபாடுகளைத் தூண்டலாம். இந்த சிக்கல்கள் இறுதியில் மகசூல் ஏற்ற இறக்கம் மற்றும் சுருங்கி வரும் செயல்முறை சாளரமாக வெளிப்படுகிறது. எனவே, நடைமுறைப் பொறியியலில், தளவமைப்பு அடர்த்தி சமநிலை, மேம்படுத்துதல் ஆகியவற்றின் மூலம் குறிப்பிட்ட வரம்புகளுக்குள் பாத்திரங்கள் மற்றும் அரிப்பைக் கட்டுப்படுத்துவது அவசியம்.மெருகூட்டல் கள்கவர்ச்சிதேர்வுத்திறன், மற்றும் CMP செயல்முறை அளவுருக்கள் நன்றாக ட்யூனிங், இதன் மூலம் ஒன்றோடொன்று இணைக்கப்பட்ட கட்டமைப்புகள், நிலையான மின் செயல்திறன் மற்றும் வலுவான அதிக அளவு உற்பத்தி ஆகியவற்றை உறுதிப்படுத்துகிறது.